• 제목/요약/키워드: 2차원 6방향

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2D Fluid Modeling of Ar Plasma in a 450 mm CCP Reactor

  • 양원균;김대웅;유신재;주정훈
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.267-267
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    • 2012
  • 최근 국내 반도체 장비 업체들에 의해서 차세대 반도체용 450 mm 웨이퍼 공정용 장비 개발이 진행 중에 있다. 반도체 산업은 계속해서 반도체 칩의 크기를 작게 하고, 웨이퍼 크기를 늘리면서 웨이퍼 당 칩수를 증가시켜 생산성을 향상해오고 있다. 현재 300 mm 웨이퍼에서 450 mm 웨이퍼를 도입하게 되면, 생산성 뿐만 아니라 30%의 비용절감과 50%의 cycle-time 단축이 기대되고 있다. 장비에 대한 이해와 공정에 대한 해석 능력을 위해 비용과 시간이 많이 들기 때문에 최근 컴퓨터를 활용한 수치 모델링이 진행되고 있다. 또한, 수치 모델링은 실험 결과와의 비교가 필수적이다. 본 연구에서는 450 mm 웨이퍼 공정용 장비의 전자밀도를 cut off probe를 통해 100 mTorr에 서 Ar 플라즈마를 파워에 따라 측정했다. 13.56 MHz 200 W, 500 W, 1,000 W로 입력 파워가 증가하면서 웨이퍼 중심에서 $6.0{\times}10^9#/cm^3$, $1.35{\times}10^{10}#/cm^3$, $2.4{\times}10^{10}#/cm^3$로 증가했다. 450 mm 웨이퍼 영역에서 전자 밀도의 불균일도는 각각 10.31%, 3.24%, 4.81% 였다. 또한, 이 450 mm 웨이퍼용 CCP 장비를 축대칭 2차원으로 형상화하고, 전극에 13.56 MHz를 직렬로 연결된 blocking capacitor ($1{\times}10^{-6}$ F/$m^2$)를 통해 인가할 수 있도록 상용 유체 모델 소프트웨어(CFD-ACE+, EXI corp)를 이용하여 계산하였다. 주요 전자-중성 충돌 반응으로 momentum transfer, ionization, excitation, two-step ionization을 고려했고, $Ar^+$$Ar^*$의 표면 재결합 반응은 sticking coefficient를 1로 가정했다. CFD-ACE+의 CCP 모델을 통해 Poisson 방정식을 풀어서 sheath와 wave effect를 고려하였다. Stochastic heating을 고려하지 않았을 때, 플라즈마 흡수 파워가 80 W, 160 W, 240 W에서 실험 투입 전력 200 W, 500 W, 1,000 W일 때와 유사한 반경 방향의 플라즈마 밀도 분포를 보였다. 200 W, 500 W, 1,000 W일 때의 전자밀도 분포는 수치 모델링과 전 범위에서 각각 10%, 3%, 2%의 오차를 보였다. 450 mm의 전극에 13.56 MHz의 전력을 인가할 때, 파워가 증가할수록 전자밀도의 최대값의 위치가 웨이퍼 edge에서 중심으로 이동하고 있음을 실험과 모델링을 통해 확인할 수 있었다.

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전전-전후 일본 교육의 연속성 : 시민교육의 맥락에서 (Continuity of Japanese National Education between pre and post war in the context of Citizenship Education)

  • 박성인
    • 비교교육연구
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    • 제27권3호
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    • pp.1-22
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    • 2017
  • 본 논문은 일본 교육 정책에 큰 전환점이 되었던 두시기의 교육개혁의 지향성과 과정을 검토하여, 전전-전후 일본의 국가교육의 연속성을 국가주의와 시민교육의 맥락에서 조명하는데 목적이 있다. 학제를 공포하고 근대교육제도의 효시를 이룬 메이지 개혁(1868)을 제 1교육개혁, 패전이후 민주주의 헌법과 교육기본법, 학교교육법(1947)에 의하여 재건된 6-3-3-4제의 교육개혁을 제 2의 교육개혁(고전, 2014: 98)으로 보고, 일본 교육 정책에 큰 방향 전환이 되었던 각 시기의 국가교육이 지향하는 바와 체계를 갖추어 가는 과정을 간략하게 살펴본 후, 규범적 내용적 차원, 제도적 절차적 차원에서 전전-전후의 국가교육이 갖는 연속성과 교육개혁의 한계를 탐구하고자 한다. 메이지 일본은 근대화된 사회를 지탱할 결속된 구성원을 형성해야 할 필요성과 동시에 천황제를 뒷받침할 순종적 신민을 양성할 필요성이 있었고, 근대적 교육 체제는 이러한 과업을 달성하는데 큰 역할을 하였다. 패전 후 일본은 민주화, 비군사화라는 목표를 달성하기 위해 교육 개혁을 통해 일본적 전통 속에 내재하고 있는 권위적 국가주의의 틀을 변화시키고자 하였다. 전후 교육개혁으로 인해 교육 구조의 변형은 이루었지만 민주주의와 평화 지향의 내적 뿌리내림에 이르지 못하였으며, 냉전이라는 배경 하에 다시 교육의 보수화, 역코스로 회귀하였다.

메타버스(Metaverse)와 방송 미디어

  • 정상섭
    • 방송과미디어
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    • 제27권1호
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    • pp.59-70
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    • 2022
  • 메타버스 서비스란 '가상', '초월' 등을 뜻하는 영어 단어 '메타(Meta)'와 우주를 뜻하는 '유니버스(Universe)'의 합성어다. 현실세계와 같은 사회.경제.문화 활동이 이루어지는 3차원의 가상세계를 의미한다. 코로나 상황 속에서 비대면 소통의 수단 중 하나로 주목받으며 업무, 친목, 각종 행사 등 다양한 분야에서 활용되고 있다. 2022년 신년 사업 계획에서 메타버스 단어가 들어가지 않은 곳이 없다고 한다. 그만큼 핵심 키워드로 떠오르고 있다. 즉, 메타버스는 현실을 초월한 가상의 세계로 스마트폰, 컴퓨터 등 디지털 미디어에 담긴 세계를 뜻한다. 세상은 점차 바뀌어 가고 있다. 글로벌 통계 전문 업체 스태티스타는 2021년 307억 달러(약 35조 3265억 원) 규모이던 메타버스 시장 규모가 2025년에는 약 2969억 달러(약 341조 6428억 원)까지 커질 것으로 예측하였다. 현재 시장에서 통용되고 있는 메타버스에 대한 정의는, '현실세계의 사회·경제·문화적 활동이 유사하게 실현되거나, 현실에서 제공하지 못하는 경험을 제공하는 3차원 디지털 가상공간'으로 요약된다. 2021년의 메타버스는 더 이상 상상의 영역이 아니며, 현실세계 영역으로 침투하고 있는 것이다. 현실세계와 연결되는 가상세계, 실재감을 느낄 수 있는 가상공간이 점점 현실이 되어가고 있다. 1990년대 처음으로 등장한 메타버스 개념이 2020년대에 재부상 하였는데, 과거의 메타버스보다 몰입감과 실재감 있는 경험을 제공할 수 있는 XR 기술의 결합에 대한 기대감 때문이다. 지나온 30여 년간 메타버스가 뜨거운 주목을 받게 된 이유는 기술의 발전에 있다. 초고속인터넷 5G 상용화와 더불어 6G 출현, 가상현실, 증강현실이 일상에 스며들었기 때문이다. 이러한 기술 발달은 현실세계의 물리적 객체와 가상의 객체가 상호 작용할 수 있는 혼합현실까지 발전시키는 촉매제가 되었다. 여기에 지난 2년 동안 전 세계를 강타한 코로나19로 인해 비대면, 온라인 서비스가 확산되면서 메타버스는 개념이 아닌, 우리 일상의 한 부분으로 인정받게 되었다. 현재 우리 사회는 과거에는 불가능하다고 생각했던 사회적 거리두기, 재택근무, 온라인 수업 등을 진행하면서 이렇게도 사회가 돌아갈 수 있다는 것을 점차 느껴가고 있다. 더불어 현재 코로나로 인해 멀게만 느껴졌던 메타버스 세계를 반강제적으로 경험하고 있기도 하다. 이처럼 본 고에서는 최근에 나타난 메타버스를 이해하고 방송미디어(계)와 접목된 유형과 기술적, 서비스 사례를 파악하고, 주요 기업들의 추진 방향, 주요 시사점 및 결론으로 도출해보았다.

지형공간정보취득기술과 토목BIM을 활용한 부지선정 연구 (The Application of Geospatial Information Acquisition Technique and Civil-BIM for Site Selection)

  • 문수정;편무욱;박홍기;지장훈;조준호
    • 한국측량학회지
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    • 제28권6호
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    • pp.579-586
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    • 2010
  • 최근 측량기술과 3D프로그램의 개발로 인하여 다양한 공간정보 자료를 획득할 수 있게 되었다. 본 연구는 기존의 경험적, 통계적 DB를 활용한 2차원 정보와 3차원 공간정보 취득기술을 활용하였다. 공간정보 취득기술로 얻어진 데이터를 토목 BIM과 연계하여 대상지역 지형에 대해 모델링하고 절 성토량을 이용하여 부지 선정시 최적의 입지 조건을 선정 하는 연구이다. 대상지는 전라도 장흥군 탐진강 일대이며 이 지형에 대하여 항공사진을 이용한 시갛화 한다. 연구 대상지를 Civil3D 프로그램을 활용하여 대지에 관한 지형분석을 시각적으로 표현하고 관련 데이터를 얻어 분석한다. 토목 BIM을 활용한 방식은 기존의 방법에서 극복하지 못했던 부지선정시 문제점에 대하여 객체의 다양하고 정확한 정보를 얻어 대응방향을 모색하고 향후 그 활용방향에 대한 제안에 그 목적이 있다.

디지털화재구성사진(Digitally Reconstructed Radiograph)을 이용한 정위방사선수술 및 치료의 치료위치 확인 (Setup Verification in Stereotactic Radiotherapy Using Digitally Reconstructed Radiograph (DRR))

  • 조병철;오도훈;배훈식
    • Radiation Oncology Journal
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    • 제17권1호
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    • pp.84-88
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    • 1999
  • 목적 : 정위방사선치료에서 디지털화재구성사진(Digitally Reconstructed Radiograph, DRR)과 조사문사진을 비교함으로써 환자의 치료위치를 직접 확인할 수 있는 방법을 개발킨 1명의 하고자 한다. 대상 및 방법 : 분할정위방사선치료를 위해 thermoplastic mask 틀에 고정시환자를 대상으로 4회 촬영한 전후 방향(AP) 및 측면 방향(lateral)에 대한 조사문사진과 DRR을 비교하였다. 치료위치 setup 후에, 혈관조영용 표적조준기와 같은 fiducial marker가 부착된 표적조준기를 정위수술용 틀에 부착한 후 치료용 원형 콜리메이터의 설치 전과 후에 겹조사 방식으로 촬영하여 전후방향 및 측면 방향의 조사문사진을 얻었다. 병변 및 중요 장기와 fiducial marker의 위치를 합성시킨 DRR 영상을 만들어 조사문사진과 동일한 확대율 및 크기로 투명 필름에 인쇄하여 비교하였다. 이로부터 DRR과 조사문사진상에 표시된 해부학적 구조와 치료중심점의 거리 오차(전체 치료 오차), 해부학적 구조와 fiducial marker간의 오차(환자고정 오차), 그리고 치료중심점과 fiducial marker간의 오차(치료조준 오차)를 각각 구하였다. 결과 : 치료조준 오차는 각각 1.5$\pm$0.3mm(AP), 0.9$\pm$0.3mm(lateral) 이었고, 환자고정 오차는 1.9$\pm$0.5mm(AP), 1.9$\pm$0.4mm(lateral), 그리고 전체 치료 오차는 AP 상에서 1.6$\pm$0.9mm, lateral 상에서 1.3$\pm$0.4mm 이었다. 또한 AP와 lateral 오차로 인해 발생될 수 있는 3차원 공간상의 최대 가능 오차($\sqrt{(\DeltaAP)^{2}+ (\Delta$Lat)^{2}$)는 치료조준 오차가 1.7$\pm$0.4mm, 환자고정 오차가 2.6$\pm$0.6mm, 그리고 전체 치료 오차는 $2.3\pm0.7mm$로 나타났다. 결론 : DRR 영상을 재구성하는 프로그램을 개발하였으며, DRR 영상을 조사문사진과 비교함으로써 정위방사선치료에서 직접적인 치료위치 확인이 가능하였다.

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PRT시스템 도입시 편익산정 연구; 난곡노선을 중심으로 (PRT Benefit Estimation Study; Focused on Nan-Gok line)

  • 이진선
    • 한국철도학회논문집
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    • 제14권4호
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    • pp.370-375
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    • 2011
  • 본 논문은 <이진선-김경태[2]>의 후속연구로서 대중교통시스템 차원에서 PRT의 실제 적용시의 편익 등을 검토하여 경제성을 검토하고자 하였다. 기존 연구에서 산정된 수요를 바탕으로 실제 운영시 필요한 PRT 소요차량수와 편익을 검토하였다. 대상지역은 난곡지구로 선정하여 적용성을 검토하였으며, 기종점별로 소요차량 수를 산정한 결과, 요금수준이 800원일 때, 합승을 허용하지 않을 경우 160대가 필요하고, 최대 175대가 필요한 것으로 분석되었다. 또한 PRT 수송수요와 역간 통행시간을 근거로 한 편익 산정 결과를 보면 요금수준이 800원일 때 2011년 6,444백만원, 2016년 6,408백만원, 2021년 6,354백만원으로 나타났다. 도출된 편익을 기준으로 하여 분석기간을 30년으로 할 경우 운임수준 800원, ${\alpha}$값이 1.0일 때의 2005년 기준 편익의 현재가치는 47,185백만 원인 것으로 분석되었으며, PRT 시스템의 구축비가 km당 80억원 수준일 때 운영비는 연간 시스템 구축비의 약 4.63% 수준이 되어야 경제적 타당성을 확보할 수 있는 것으로 분석되었다. 결과적으로 PRT 사업의 경제적 타당성은 시스템 구축비를 얼마만큼 줄일 수 있느냐에 따라 결정된다고 할 수 있다. 따라서 PRT 기술개발사업은 최대한 경량화를 목표로 하여 인프라 구축과 차량비에 소요되는 비용을 최대한 줄일 수 있는 방향으로 연구가 진행되어야 할 것으로 본다.

2차원 유효응력 해석에 의한 지진시 포항 안벽구조물의 변형 사례 분석 (A Case Study on Earthquake-induced Deformation of Quay Wall and Backfill in Pohang by 2D-Effective Stress Analysis)

  • 김승종;황웅기;김태형;강기천
    • 한국지반공학회논문집
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    • 제35권7호
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    • pp.15-27
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    • 2019
  • 본 연구는 2017년 11월 15일에 발생한 규모 5.4의 포항지진을 대상으로 영일만항 안벽 및 배면에서 발생한 피해의 메커니즘을 규명하는 것이 목적이다. 현장조사 등에 의해 영일만항은 케이슨이 5cm~15cm 정도의 수평변위가 발생하였고, 뒤채움 지반에서는 10cm 이상의 침하가 발생하였다. 이에 대한 원인을 규명하기 위해 2차원 유효응력해석을 수행하였다. 입력 지진하중은 포항구항의 기반암에서 계측된 지진가속도($3.25m/s^2$)를 이용하였다. 수치해석 결과 배후지의 뒤채움 지반내 국부적으로 과잉간극수압이 증가하여 유효응력이 감소한 것으로 밝혀졌다. 이로 인해 케이슨의 경우 수평방향으로 약 14cm의 변위가 발생하였고, 3cm 정도 침하하였다. 뒤채움 지반의 경우 6cm~9cm 정도 침하한 것으로 나타났다. 이는 현장조사와도 유사한 결과임이 밝혀졌다. 또한, 뒤채움 지반내 유효응력 경로 및 응력-변형률 거동으로부터 반복적 하중에 의해 지반이 Mohr-Coulomb의 파괴선에 근접하는 것으로 나타났고, 이는 과잉간극수압의 증가에 따른 유효응력의 소실에 의한 지지력의 감소로 판단된다.

포천화강암의 결에 따른 간접인장강도 특성에 대한 실험 및 개별요소 수치해석 (Cleavage Dependent Indirect Tensile Strength of Pocheon Granite Based on Experiments and DEM Simulation)

  • 장리;멜빈 디아즈;정성규;김광염
    • 터널과지하공간
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    • 제26권4호
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    • pp.316-326
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    • 2016
  • 본 연구는 화강암에 존재하는 결 이방성이 간접인장강도에 미치는 영향을 평가하였다. 표준 간접인장시험 및 3개의 서로다른 중공 크기에 대한 중공 간접인장시험을 수행하였다. 2차원 개별요소 수치해석을 통해 간접인장시험에서의 파괴 과정 및 메커니즘을 고찰하였다. 간접인장강도는 화강암의 결에 따라 하드웨이, 그레인, 리프트 면의 순으로 감소하였다. 중공 간접인장강도는 일반 간접인장강도에 비해 2.5~6.4배 정도 크게 나타났으며, 중공 크기가 클수록 크게 나타났다. 중공 시편에 대한 간접인장 파괴 유형은 중공 크기 및 결과 하중방향 각도에 영향을 받는 것으로 나타났다.

LIDAR를 활용한 지하광산의 안정성 분석에 관한 연구 (A Study on the Stability Analysis of Underground Mine using LIDAR)

  • 이승중;김병렬;진연호;최성웅
    • 터널과지하공간
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    • 제27권6호
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    • pp.406-421
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    • 2017
  • 본 연구에서는 LIDAR를 이용하여 채굴적의 형상을 수치적으로 정확히 측량하고 이때 획득된 점군 데이터를 3차원 전산해석에 직접 반영함으로써 구조물의 실제 형상을 전산해석에 그대로 반영하는 과정을 모사하고 있다. 해석 대상은 채수율 향상을 목적으로 개발된 주방식 하이브리드 채광법이 적용되고 있는 지하 석회석광산의 일부 구역이다. 연구대상 구역에 대한 LIDAR 측정을 통해, 상하부 수직 안전광주의 중심축은 NW 방향으로 치우쳐 있고 특히 하부 수직 안전광주의 경우 설계단면인 $100m^2$ 보다 약 $34m^2$ 만큼 작은 것으로 확인되었다. 또한 LIDAR 측량 결과를 바탕으로 전산해석을 실시한 결과, 하부 수직보안광주의 하단부에 응력집중이 발생하면서 수직 안전광주 전체에 전단파괴양상이 나타나는 것으로 확인되어 보강작업이 제안된 바 있다. 따라서 LIDAR에 의한 채굴적의 측정은 안전광주의 기하학적 구조 및 현상을 정량적으로 정확히 분석할 수 있으며 이를 통한 채굴적의 안정성 분석은 보다 높은 신뢰도를 제시할 수 있다는 점에서 매우 효과적인 채굴적 형상 계측 기법의 하나로 제안될 수 있을 것이다.

치과용 Cone-beam CT를 이용한 상악 정중과잉치의 3차원적 특성에 관한 후향적 연구 (Retrospective study on three-dimensional characteristics of mesiodens using CBCT in pediatric dentistry)

  • 유지연;송지수;신터전;현홍근;김정욱;장기택;이상훈;김영재
    • 대한소아치과학회지
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    • 제48권1호
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    • pp.77-94
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    • 2021
  • 이 연구의 목적은 Cone-beam형 전산화 단층촬영술 영상을 이용하여 정중과잉치의 3차원적인 특성들에 대해 조사하고 이 특성들과 발거 시 마취 방법 및 합병증에 영향을 미치는 요인들에 대해 분석하는 것이다. 이를 위해 2017년부터 2019년까지 서울대학교 치과병원 소아치과에서 과잉치를 발거한 환자 452명의 총 602개의 정중과잉치를 평가하였다. 지난 20년간 연도별 전체 환자 중 정중과잉치 환자수의 비율이 점차 증가하는 경향을 보였다. 정중과잉치 방향 중 순-구개 방향의 수평위가 근원심 방향의 수평위보다 약 3.2배 많이 관찰되었으며 순-구개 방향의 수평위 중 치근이 순측을 향하는 경우가 전체 수평위 중에서 가장 높게 나타났다. 정중과잉치의 시상면에의 상하 위치는 대부분이 인접 영구치의 치경부 측(37.0%)에서 가장 많이 관찰되었고 순-구개측의 매복 정도를 관찰한 결과 근-구개측이 원-구개측의 약 3.83배 정도 더 높게 관찰되었다. 대부분의 정중과잉치(98.5%)가 CBCT상에서 인접 영구치와 접촉해 있는 것으로 나타났다. 정중과잉치 중 46.2%에서 만곡된 치근이 관찰되었고, 치근이 만곡된 정중과잉치 중 치근의 치근단측 에서의 만곡이 치근의 치경부측에 비해 약 1.83배 높게 나타났다. 소아환자의 정중과잉치 발거 시 사용한 마취 방법 중에서는 전신마취(72.6%)를 시행하여 정중과잉치를 발거한 경우가 가장 많았다. 환아의 연령, 시상면에서의 상하 위치, 부작용 유무가 전신마취 시행 여부에 유의한 영향을 미치는 요인으로 확인되었고 정중과잉치의 방향 및 시상면에서의 상하 위치가 합병증에 영향을 미치는 것으로 나타났다. 이번 연구의 결과는 정중과잉치에 대한 이해를 도와 정확한 진단 및 적절한 치료계획을 수립하는데 유용한 정보를 제공할 수 있을 것으로 사료된다.