• 제목/요약/키워드: 휨형상 측정

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실리콘 웨이퍼 휨형상 측정 정밀도 향상을 위한 시스템변수 보정법 (System calibration method for Silicon wafer warpage measurement)

  • 김병창
    • 한국기계가공학회지
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    • 제13권6호
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    • pp.139-144
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    • 2014
  • As a result of a mismatch of the residual stress between both sides of the silicon wafer, which warps and distorts during the patterning process. The accuracy of the warpage measurement is related to the calibration. A CCD camera was used for the calibration. Performing optimization of the error function constructed with phase values measured at each pixel on the CCD camera, the coordinates of each light source can be precisely determined. Measurement results after calibration was performed to determine the warpage of the silicon wafer demonstrate that the maximum discrepancy is $5.6{\mu}m$ with a standard deviation of $1.5{\mu}m$ in comparison with the test results obtained by using a Form TalySurf instrument.

줄눈 콘크리트포장의 프로파일 데이터를 이용한 슬래브의 컬링형상 추출기법 개발 (Development of Extraction Method of Slab Curling Shape of jointed Concrete Pavement Using Profile Data)

  • 전범준;이승우;문성호
    • 한국도로학회논문집
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    • 제10권4호
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    • pp.9-18
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    • 2008
  • 줄눈 콘크리트포장(JCP-Jointed Concrete Pavement)의 경우 포장단면 온 습도차에 의해 슬래브 내의 컬링이 발생하게 된다. 컬링에 의해서 발생하는 슬래브의 휨 형상 및 크기는 포장내 응력 및 평탄성에 영향을 미치기 때문에 포장의 구조적, 기능적 성능에 중요한 영향을 줄 수 있다. 슬래브의 휨 형상을 직접 측정하는 것은 시공초기에 포장내에 다량의 계측기를 매설하여야 하며, 시공초기부터 거동의 정교한 측정이 필요하고 고가의 실험비용 및 기술적 인 어려움을 갖고 있다. 본 연구에서는 현장에서 손쉽게 획득할 수 있는 프로파일 데이터(Profile Data)에 파워 스펙트럼 분석(Power Spectrum Density Analysis) 및 역 푸리에 변환(Inverse Fast Fourier Transform) 기법 등을 적용하여 임의의 시간에서 줄눈 콘크리트포장의 슬래브 휨 형상을 측정하는 방법을 개발하였다. 개발한 기법의 실효성을 검증하기 위하여 국내 중부내륙에 위치한 시험도로 줄눈 콘크리트 포장에서 시간대별 프로파일을 측정하고 이 데이터로부터 슬래브 휨 형상을 도출하여 그 결과를 검토하였다. 또한 동 시간대의 연속철근 콘크리트포장(CRCP- Continuous Reinforced concrete Pavement) 구간에서의 프로파일 데이터를 분석하고 이를 줄눈 콘크리트포장에서의 결과와 비교하여 개발한 슬래브 휨 형상 추출기법의 타당성을 검증하였다.

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3D 스캔을 이용한 실리콘 태양전지의 휨 현상 측정 연구 (Measurement of Bow in Silicon Solar Cell Using 3D Image Scanner)

  • 윤필영;백태현;송희은;정하승;신승원
    • 대한기계학회논문집B
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    • 제37권9호
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    • pp.823-828
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    • 2013
  • 실리콘 태양전지의 두께를 줄일 경우 여러 문제점이 발생하게 되는데 그 중에서 태양전지의 휨 현상은 제품 수율의 직접적인 원인이 되어 제품 상용화에 가장 큰 걸림돌이 되고 있다. 본 연구에서는 태양전지의 실리콘 웨이퍼 두께를 가변하였을 때의 휨 정도에 대해 정밀하게 측정하고자 하였다. 측정결과의 신뢰성을 높이고 비 대칭성 형상에 대해 자세하고 정밀하게 분석하기 위해 3D 이미지 스캐너를 사용하였다. 그 결과 실리콘 웨이퍼의 두께가 감소할수록 휨 정도는 급격하게 증가하고 곡률 또한 증가하는 것을 확인할 수 있었다. 실리콘 웨이퍼의 두께가 감소할 수록 휨 정도의 편차가 증가하여 형상의 비 대칭성이 증가하는 것 또한 확인되었다. 또한 Ag 전극의 부착이 휨 현상을 어느 정도 감소시키는 것을 알 수 있었다.

표면매립된 철계-형상기억합금 스트립으로 휨 보강된 RC보의 장기 휨거동 (Long-term Flexural Behavior of RC Beams Strengthened in Flexure with NSM Fe-SMA Strips)

  • 홍기남;이수규;한상훈;강판승
    • 한국구조물진단유지관리공학회 논문집
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    • 제22권3호
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    • pp.103-110
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    • 2018
  • 표면매립공법으로 매립한 철계-형상기억합금으로 보강한 보의 휨 거동을 장기 하중 재하실험을 통해 평가하였다. 철계-형상기억합금 길이대비 2%와 4%의 사전변형 및 형상기억효과 활성화에 의한 프리스트레스 하중 도입을 실험변수로 설정하였다. 1 tonf의 콘크리트 추를 보 중앙에 거치한 후 6개월간의 보 중앙부의 장기 처짐을 측정하였다. 실험결과, 철계-형상기억합금으로 보강한 보의 휨 강성이 증대되었으며, 사전변형이 증가할수록 보강재의 강성감소로 인한 처짐이 증가하는 것으로 나타났다. 프리스트레스 하중 도입에 따른 처짐을 비교했을 때, 프리스트레스 하중을 도입하지 않은 실험체에 비해, 프리스트레스 하중을 도입한 실험체는 약 30%의 처짐 감소 효과를 보이는 것으로 나타났다.

단면 연마된 실리콘 웨이퍼의 열에 의한 휨 거동 (Thermal Warpage Behavior of Single-Side Polished Silicon Wafers)

  • 김준모;구창연;김택수
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제27권3호
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    • pp.89-93
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    • 2020
  • 반도체 패키지의 경박단소화로 인해 발생하는 복잡한 휨 거동은 내부 응력을 발생시켜 박리나 균열과 같은 다양한 기계적인 결함을 야기한다. 이에 따른 수율 감소를 막기 위해 휨 거동을 정확하게 예측하려는 노력은 다양한 측면에서 그 접근이 이루어지고 있다. 이 중 패키지를 구성하는 주 재료인 실리콘 웨이퍼는 일반적으로 균질한 물질로 취급되어 열에 의한 휨 거동은 전혀 없는 것으로 묘사된다. 그러나 실리콘을 얇게 가공하기 위해서 진행되는 그라인딩과 폴리싱에 의해 상온에서 휨이 발생한다는 사실이 보고되어 있고, 이는 표면에 형성되는 damage layer가 두께 방향으로 불균질함을 발생시키는 것으로부터 기인한다. 이에 본 논문에서는 반도체 패키징 공정 중 최고온 공정 과정인 solder reflow 온도에서 단면 연마된 웨이퍼가 나타내는 휨 거동을 측정하고, 이러한 휨 량이 나타나는 원인을 연마된 면과 그렇지 않은 면의 열팽창계수를 측정함으로써 밝혀내었다. 측정에는 미세 변형률과 형상이 모두 측정 가능한 3차원 디지털 이미지 상관법(Digital Image Correlation; DIC)을 이용하였다.

탄소섬유판(CFRP Strip)으로 보강된 철근콘크리트 부재의 파괴거동 및 휨 거동 특성 (Failure and Flexural Behavior of Reinforced Concrete Beams Strengthened with CFRP Strips)

  • 임동환;박성환
    • 대한토목학회논문집
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    • 제28권2A호
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    • pp.289-295
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    • 2008
  • 본 연구는 탄소섬유판으로 보강된 철근콘크리트 부재의 휨 거동특성 및 파괴양상을 규명하고 또한 탄소섬유판 부착탈락 거동을 규명함에 그 목적이 있다. 이를 위하여 탄소섬유판의 형상, 섬유판 부착길이, 부착면적 등의 다양한 변수를 포함하는 실험연구가 수행되었으며, 초기 부착균열이 발생되는 부착탈락 기구를 규명 하였다. 본 실험결과 탄소섬유판으로 보강된 철근콘크리트 부재의 휨 강성은 보강되지 않은 보에 비해 현저하게 개선되며 최대 극한강도 증진율은 120% 이상인 것으로 나타났다. 또한 탄소섬유판 탈락 시 측정된 탄소섬유판의 인장변형율은 탄소섬유판의 극한 변형율의 36%에 해당되는 것으로 나타났으며, 탄소섬유판의 부착길이가 충분 할수록 보는 휨 균열로 야기되는 탄소섬유판의 계면 부착탈락으로 파괴됨을 알 수 있었다. 탄소섬유판의 계면부착탈락은 휨을 받는 구역에서 시작되어 보의 양 끝단으로 급격하게 전파되는 취성적인 파괴를 유도하는 것으로 나타났다. 본 연구에서는 탄소섬유판의 유효응력에 근거하여 탄소섬유판으로 보강된 철근콘크리트 부재의 휨 강성을 계산하였으며, 이는 실험결과와 잘 일치하는 것으로 나타났다.

참나무시들음병 훈증목의 강도 성능 평가 (Evaluation of Strength Performance of the Fumigation Treated Wood Affected by the Oak Wilt Disease)

  • SONG, Dabin;KIM, Keonho
    • Journal of the Korean Wood Science and Technology
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    • 제48권6호
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    • pp.820-831
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    • 2020
  • 참나무시들음병 고사목으로부터 피해확산을 막기위해 주로 훈증처리 방법을 이용한다. 훈증처리에 따른 신갈나무 피해목의 강도적 활용 가능성을 검증하기 위해 훈증처리목재의 압축성능과 휨성능평가를 수행하였다. 훈증처리목재는 약 9개월 간 네마섹트(Metam-sodium)로 훈증처리하였다. 참나무시들음병 훈증처리목재의 기건 종압축강도는 58.87 MPa, 압축탄성계수는 5.66 GPa로 측정되었으며 건전목과 비슷한 경향을 보였다. 혼증목의 성숙재부 강도성능은 미성숙재부보다 16% 더 높은 강도값을 보였다. 참나무 건전목의 압축파괴형상은 다양한 형상으로 나타나지만 훈증처리목재의 경우 대부분 전단형 파괴형상을 보였다. 훈증처리목재의 휨강도는 157.43 MPa로 건전재보다 8% 높게 측정되었고 휨 탄성계수는 16.38 GPa로 건전재보다 16% 낮게 측정되었다. 그러나 훈증처리목재의 휨강도성능치에 대한 변동계수는 건전목보다 낮은 것을 확인하였다.

초고강도 콘크리트의 재료특성 및 휨 거동에 관한 실험적 연구 (Experimental Study on the Material Characteristics and Flexural Behavior of Ultra High-Strength Concrete)

  • 장영일;이호범;변근주
    • 콘크리트학회지
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    • 제4권2호
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    • pp.111-118
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    • 1992
  • 본 연구는 실리카흄을 혼화재료로 사용하여 1200kg/$ extrm{cm}^2$정도의 초고강도 콘크리트를 제조하였으며 이에 대한 재료특성을 실험 및 보부재의 휨거동을 실험을 실시 비교 분석하였다. 재료특성 실험으로는 기본적인 강도 시험, 파괴음 측정에 의한 AE실험 그리고 수은압입법에 의한 세공실험을 실시하였다. 초고강도 콘크리트의 재료특성치는 ACI 363의 고강도 콘크리트 재료특성 결가보다 크게 나타났으며 압축강도와 미세공극량은 선형적으로 비례하였다. 보부재의 휨특성을 파악하기 위해 인장철근비 변화, 전단보강근의 유무 및 철근 표면형상의 변화 등을 실험인자로 하였으며 각각의 현상을 비교분석함으로써 균열성상에 따른 하중-변위 관계, 중립축 이동에 따른 부재거동 및 응력블록의 변화에 관하여 비교 고찰하였다. 초고강도 콘크리트 사용한 보부재의 경우 중립축 상승으로 단면의 압축영역은 매우 작아져 급격히 압축파괴되는 경향을 보였으며 응력블록 형태는 삼각형의 분포를 보였다.

잔류응력으로 인한 패키지 기판 굽힘 변형량 예측 (Packaging Substrate Bending Prediction due to Residual Stress)

  • 김철규;최혜선;김민성;김택수
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제20권1호
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    • pp.21-26
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    • 2013
  • 본 연구는 유한 요소 시뮬레이션을 이용하여 계산한 시편의 곡률과 3D 스캐너로 측정한 곡률을 비교하여 패키지 기판 구조의 휨 거동을 예측하는 새로운 분석 방법을 제안한다. 패키지 기판은 프리프레그 경화나 구리 패턴 도금과 같은 다양한 공정을 거치면서 쉽게 휘게 된다. 기판의 휨이 어떤 공정에서 어느 정도 생기는지를 알아보기 위하여 다양한 종류의 시편을 제작하고 각 시편의 형상을 3D스캐너를 이용하여 측정하였다. 그 후 시편의 형상으로부터 film에 걸리는 잔류 응력을 휨을 이용한 수식으로부터 계산하였다. 패키지 기판에 들어가는 절연체는 수지와 서로 직교 존재하는 섬유의 다발로 구성되어 있는 복합재료로서 이방성을 띄게 되는데 이는 패키지 기판의 독특한 굽힘 거동을 일으킨다. 우리는 유한 요소 법에 의한 휨 변형을 시뮬레이션하고 측정 데이터를 이용하여 시뮬레이션 휨을 비교하였다. 측정된 휨으로부터 계산한 전해 구리 도금 응력은 약 58 MPa이다. 솔더 레지스트와 프리프레그의 경화 응력은 각각 실온에서 13 MPa 및 6.4 MPa 정도이다.

콘크리트 휨피로수명의 확률분포 (Probabilistic Distributions of Fatigue Life of Concrete Subjected to Flexural Loading)

  • 오병환;이희택
    • 대한토목학회논문집
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    • 제6권2호
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    • pp.103-109
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    • 1986
  • 본(本) 논문(論文)에서는 작용되는 피로하중의 크기에 따른 콘크리트의 피로수명분포를 연구(硏究)하였다. 콘크리트보에 대하여 휨피로 실험을 수행하였으며, 피로응력의 크기는 세 가지로서 정적휨강도의 각각 85%, 75% 및 65%로 하여 피로수명을 측정하였다. 본 연구의 실험결과 피로하중의 크기에 따라 확률분포함수의 형태가 비교적 크게 달라짐을 발견하였으며, 이것은 콘크리트의 피로신뢰해석시 피로하중의 크기에 대한 영향을 고려해야 함을 말해 주고 있다. 분포매개변수의 결정은 도식법, 모멘트법 및 Maximum Likelihood 방법에 의거하였다. 콘크리트의 휨피로수명의 Weibull 분포(分布) 형상매개변수는 하중의 크기에 따라 2.0~4.0의 범위에 있는 것으로 나타났다.

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