• 제목/요약/키워드: 후 열처리

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반응성 sputtering법으로 제막된 ZnO : Al 박막의 전기.광학적 특성에 미치는 열처리의 영향 (Effect of heat treatment on the electrical and optical properties of ZnO : Al thin films prepared by reactive magnetron sputtering method)

  • 유세웅;유병석;이정훈
    • 한국결정성장학회지
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    • 제6권4호
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    • pp.493-500
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    • 1996
  • Al이 2 wt% 포함되어 있는 Zn 금속타겟을 사용하여 반응성 직류 magnetron sputtering법으로 AZO(Aluminum doped zinc oxide) 투명전도막을 제조한 후 열처리함에 따라 변하는 박막의 전기적 광학적 특성을 조사하였다. 전이영역에서 증착된 막들은 비저항이 50 % 정도 감소하여 $1{\times}10^{-3}~3.5{\times}10^{-4}\;{\Omega}cm$로 전기적 특성이 향상되었으며, 높은 산소분압에서 산화물로 증착된 막의 비저항이 증착직후에는 $10^{3}\;{\Omega}cm$였으나 열처리 후에는 $2{\times}10^{-3}\;{\Omega}cm$로 감소하였다. 또 전이영역에서 증착된 막은 증착직후 59.4 %이던 평균투과율이 $400^{\circ}C$, 30분 열처리 후에는 77.4 %까지 향상되었다.

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연속압입 분석을 통한 HfN 박막의 질소 분압에 따른 고온 열처리후 물리적 특성 분석

  • 박명준;김수인;김경진;박윤하;이창우
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2013년도 제45회 하계 정기학술대회 초록집
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    • pp.216.2-216.2
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    • 2013
  • Nano-indenter는 팁을 박막 표면으로부터 일정 깊이까지 일정한 비율로 힘을 팁에 인가하여 그에 따른 박막의 반응을 in-situ로 확인하기 위하여 고안된 장치이며, 박막은 물론 나노 구조물까지 다양한 범위에서 기계적 특성을 분석하기 위하여 사용되고 있다. 이 연구에서는 유전체 및 확산방지막으로 사용되는 Hf을 rf magnetron sputter로 증착하였으며 이때 Ar 가스와 함께 $N_2$ 가스의 혼합 비율을 다르게 하여 HfN을 증착하였다. 질소 분압에 따라 증착된 HfN 박막은 고온중에서 질소의 영향을 확인하기 위하여 $800^{\circ}C$로 질소 분위기에서 20분간 열처리하여 이후 박막의 nano-mechanical 특성을 nanoindenter를 사용하여 확인하였고 최대 압입력을 250 ${\mu}N$으로 고정하였다. 측정결과 고온 열처리후 HfN 박막은 증착시 질소 분압이 0%에서 5%로 증가함에 따라 surface hardness는 8.6 GPa에서 8.1 GPa로 elastic modulus는 123.7 GPa에서 134 GPa로 각각 변화되는 것을 확인할 수 있었다. 특히, 질소 분압이 2.5%로 증착된 HfN 박막은 열처리후 박막 표면의 물리적 특성이 깊이 방향으로 층을 이루고 있어 nano-indenter 압입시 다수의 pop-in이 나타남을 확인하였다.

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U-Zr 합금의 미세조직과 조직안정성에 미치는 Mo 및 W 원소 첨가의 영향

  • 김준호;설경원;이병수;강영호;이종탁;김기환
    • 한국원자력학회:학술대회논문집
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    • 한국원자력학회 1997년도 춘계학술발표회논문집(2)
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    • pp.177-182
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    • 1997
  • 금속연료가 연소할 때 발생하는 Fission Gas는 주로 직경방향으로의 Swelling을 일으켜 낮은 연소도의 원인이 되어 왔다. 따라서 본 연구에서는 높은 연소도를 갖는 금속연료의 개발을 목적으로 Fission Gas가 Plenum으로 쉽게 방출하는 조직인 Laminar Structure를 갖는 합금의 설계를 연구하였다. 또한 조사 후의 조직안정성을 예측하기 위해 열처리 후의 미세조직의 변화를 관찰하여 조직안정성을 시험하였다. U-10wt.%Zr 합금 중 Zr 원소 대신에 2wt.% 및 3wt.%의 W 또는 Mo을 첨가한 합금을 제조하여 합금원소 첨가의 영향에 따른 미세조직의 변화를 조사하였다. 그 결과 모든 조성의 합금은 Matrix에 있어서 Laminar Structure를 나타내었다. 또한 U-10wt.%Zr에 비해 2wt.% 및 3wt.%W의 W 또는 Mo를 첨가한 합금의 lamina Thickness가 철면 미세해짐을 확인하였다. 특히 U-7wt.%Zr-3wt.%W의 경우는 U-10wt.Zr에 비해 Laminar Thickness가 1/2배까지 감소되었다. 합금원소(W, Mo) 첨가에 의한 Laminar Thickness의 감소는 Fission Gas의 Inter-connected Path가 보다 잘 형성되게 하여 Gas의 방출속도를 증가시켜 Swelling을 감소시킬 것으로 생각된다. 열처리한 금속연료의 미세조직을 비교한 결과를 보면 합금원소(W, Mo)를 첨가한 합금을 50$0^{\circ}C$에서 1000시간동안 열처리한 것을 U-Zr 2원계 합금을 열처리한 것과 비교했을 때 약 1/3배 정도의 Laminar Thickness를 유지하는 것으로 보아 합금원소를 첨가하면 조사 후의 조직안정성에도 크게 기여할 것으로 기대된다.

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비소성 시멘트 모르타르의 증기양생 후 열처리에 따른 물리적 특성 (Physical Properties of Non-sintered Cement Mortar with Heat Treatment after Steam Curing)

  • 나형원;형원길
    • 한국건축시공학회지
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    • 제21권2호
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    • pp.97-104
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    • 2021
  • 본 연구에서는 산업부산물을 전량 활용하여 포틀랜드 시멘트를 대체할 수 있는 비소성 시멘트 개발을 목표로 하였다. 이를 위해 고로슬래그 미분말과 F급 플라이애시, C급 플라이애시를 사용하여 양생방법에 따른 비소성 시멘트 모르타르의 물리적 특성에 대해 파악하였다. 연구 결과, 증기양생 후 열처리 과정을 통해 강도성능과 흡수율이 향상되는 것으로 나타났다. 결정상 분석을 통해 열처리 후 수화물의 촉진을 확인하였으며, 결합재는 치밀한 내부구조를 형성하게 된다.

수분-열처리에 따른 고구마 전분의 이화학적 성질 (Physicochemical Properties of Sweet Potato (Ipomoea batatas) Starch by Heat-Moisture Treatment)

  • 송은;신말식;홍윤호
    • Applied Biological Chemistry
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    • 제30권3호
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    • pp.242-249
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    • 1987
  • 고구마 전분을 분리한 후, 수분 함량을 21%와 27%로 조절하고 $100^{\circ}C$에서 16시간 가열 처리한 고구마 전분과 생전분의 이화학적인 성질을 비교한 결과는 다음과 같다. 생전분과 수분-열처리한 전분 입자의 모양은 둥근형과 다각형이었으며, 표면은 매끄러웠다. X-선 회절도에 의한 전분의 결정형은 생전분이 Ca형이었으나, 수분-열처리 후에는 A형에 가깝게 변하였다. 수분-열처리 후 물결합 능력은 증가하였으며 팽화력과 용해도는 감소하였다. 0.1% 전분 현탁액의 광투과도는 생전분이 $65^{\circ}C$이후부터 급격히 증가하였고, 수분-열처리한 전분은 $70^{\circ}C$이후부터 증가하였으며, 그 증가폭은 작았다. 전분의 호화도는 생전분보다 수분-열처리한 전분이 높은 온도에서 호화되기 시작하였다.

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잣나무 열압밀화재의 열처리에 의한 치수안정성 변화 (Change of Dimensional Stability of Thermally Compressed Korean Pine (Pinus koraiensis Sieb. et Zucc.) Wood by Heat Treatment)

  • 조범근;황성욱;강호양;이원희
    • Journal of the Korean Wood Science and Technology
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    • 제43권4호
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    • pp.470-477
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    • 2015
  • 국내산 잣나무(Pinus koraiensis Sieb. et Zucc.) 열압밀화재의 치수안정성 확보를 위해 열압밀화 후 열처리를 실시하여 흡수시험을 실시하였다. 잣나무재를 압축세트량 50%로 열압밀화하여 비중 0.84의 고비중재를 얻을 수 있었다. 열처리 온도와 시간이 증가함에 따라 열압밀화재의 흡수성과 팽윤성은 감소하였다. 그리고 열압밀화 후 열처리에 의해 열압밀화재의 치수안정성은 크게 향상되었다. 대조군의 두께 회복률이 11.5%인 반면, $120^{\circ}C$ 온도에서 24시간 열처리 된 그룹의 두께회복도는 3.8%로 나타났다. 열압밀화 후 열처리는 열압밀화재의 치수안정성 확보를 위한 매우 효과적인 방안임을 확인하였다.

$\textrm{Ta}(\textrm{OC}_{2}\textrm{H}_{5})_{5}$$\textrm{NH}_3$를 이용한 산화탄탈륨 막의 원자층 증착 및 특성 (Atomic Layer Deposition and Characterization of Tantalum Oxide Films Using Ta(OC2H5)5 and $\textrm{NH}_3$)

  • 송현정;심규찬;이춘수;강상원
    • 한국재료학회지
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    • 제8권10호
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    • pp.945-949
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    • 1998
  • Ta(OC2H5)5와 NH3를 이용하여 Cycle-CVD법으로 산화탄탈륨 막을 증착하였다. Cycle-CVD법에서는 Ta(OC2H5)5와 NH3사이에 불활성 기체를 주입한다. 하나의 cycle은 Ta(OC2H5)5주입, Ar주입, NH3 주입, Ar 주입의 네 단계로 이루어진다. Cycle-CVD법으로 산화탄탈륨 막을 증착할 때, 온도 $250-280^{\circ}C$에서 박막의 증착 기구는 원자층 증착(Atomic Layer Deposition:ALD)이었다. $265^{\circ}C$에서 Ta(OC2H5)5:Ar:NH3:Ar:NH3:Ar의 한 cycle에서 각 단계의 주입 시간을 1-60초:5초:5초:5초로 Ta(OC2H5)5 주입 시간을 변화시키면서 산화탄탈륨 막을 Cycle-CVD법으로 증착하였다. Ta(OC2H5)5주입시간이 증가하여도 cycle 당 두께가 $1.5\AA$/cycle로 일정하였다. $265^{\circ}C$에서 증착된 박막의 누설 전류는 2MV/cm에서 2x10-2A/$\textrm{cm}^2$이었고 열처리후의 산화탄탈륨 막의 누설 전류값은 $10-4A\textrm{cm}^2$ 이하고 감소하였다. 증착한 산화탄탈륨 막의 성분을 Auger 전자 분광법으로 분석하였다. 2$65^{\circ}C$에서 증착한 막의 성분은 탄탈륨 33at%, 산소 50at%, 탄소 5at%, 질소 12at% 이었으며 90$0^{\circ}C$, O2300torr에서 10분 동안 열처리한 박막은 탄탈륨 33at%, 산소 60wt%, 탄소 4at%, 질소 3at%이었다. 박막의 열처리 온도가 높을수록 불순물인 탄소와 질소의 박막 내 잔류량이 감소하였다. 열처리 후의 박막은 O/Ta 화학정량비가 증가하였으며 Ta의 4f7/5와 4f 5/2의 결합 강도가 열처리 전 박막보다 증가하였다. 열처리 후 누설 전류가 감소하는 것은 불순물 감소와 화학정량비 개선 및 Ta-O 결합 강도의증가에 의한 것으로 생각된다.

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Shigella sonnei ATCC 29930의 아치사 가열 후 소금 농도에 따른 회복 정도 비교 (Comparison of Recovery Levels of Shigella sonnei ATCC 29930 Treated at Different NaCl Concentrations after Sublethal Heating)

  • 정혜진;박성희;송은섭;박성수;김근성
    • 한국식품과학회지
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    • 제38권5호
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    • pp.720-723
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    • 2006
  • 본 연구에서는 우리 나라 세균성 이질을 유발하는 주요 원인 균인 S. sonnei를 대상으로 불충분한 열처리와 NaCl 처리에 따른 각각의 생존균수 변화와 불충분한 열처리 후 다양한 NaCl 농도 (0, 2, 4, 6%) 하에서 sublethal injured cell의 회복정도를 조사하였다. 그 결과, 불충분한 열처리 정도가 증가함에 따라 생존균수가 유의적인 감소를 나타내었으나, NaCl 처리시 NaCl 농도가 6% 까지 증가함에 따라서 생존균수의 변화가 거의 없었다. 그리고 $55^{\circ}C$에서 30분 동안 열처리후 2% TSAS 배지에서 7.58 log CFU/mL, 4% TSAS 배지에서 7.83 log CFU/mL, 그리고 6% TSAS 배지에서 7.93 log CFU/mL 만큼 각각 생성된 colony 숫자가 감소 한 것으로 조사되었고, $60^{\circ}C$에서 30분동안 열처리후 2% TSAS 배지에서 6.71 log CFU/mL, 4% TSAS 배지에서 6.73 log CFU/mL, 그리고 6% TSAS 배지에서 6.73 log CFU/mL 만큼 각각 생성된 colony 숫자가 감소한 것으로 조사되었다. 그리고 동일한 온도에서 sublethal heating후 노출된 NaCl 농도가 증가함에 따라서 D-value가 감소하는 경향을 나타내었다. 이와 같은 결과는 불충분한 열처리 과정에 의하여 생성된 sublethal injured cell들이 열처리후 회복되는 과정에서 배지의 NaCl 농도가 증가함에 따라서 회복정도가 감소하였음을 의미한다.

플라즈마 용사된 $ZrO_{2}$-단열 코팅층의 특성 및 열처리에 따른 접합강도변화 (Characteristic and Adhesive Strength Change by Heat Treatment of the Plasma Sprayed $ZrO_{2}$- Thermal Barrier Coatings(TBC))

  • 김병희;서동수
    • 한국재료학회지
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    • 제8권6호
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    • pp.505-512
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    • 1998
  • 플라즈마 용사법을이용하여 AISI 316 스테인레스 금속모재에 0.1mm 두께의 $NiCrAlCoY_{2}O_{3}$금속 결합층과 0.3mm 두께의 $ZrO_{2}(8wt%Y_{2}O_3$) 세라믹층으로 구성된 이층 단열코팅층을 제조하였다. 코팅층의 미세조직, 금속결합층의 산화를 고찰하였으며, $900^{\circ}C$에서 등은 시험과 열반복시험 후, 접합강도시험을 통하여 코팅층의 단사정 상은 열처리시간이 길어질수록 약간 증가하였다. 또한 비변태성 t'의 c/a는 용사상태에서 1.0099이였으며, 100시간 열처리 후에는 1.0115로 약간 증가하였다. 그리고 용사층의 접합강도는 열처리 시간이 길어질수록 감소하였다. 등온열처리 후에는 1.0115로 약간 증가하였다. 그리고 용사층 의 접합강도는 열처리 시간이 길어질수록 감소하였다. 등온열처리 후, 파괴는 주로 세라믹층에서 일어났으며, 반복 열처리되 시편에서는 10회 이후 대부분 금속결합층/세라믹층의 계면에서 일어났다.

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열처리 조건에 따른 폴리(에틸렌 테레프탈레이트)의 열적 특성 및 결정화 거동 (Thermal Properties and Crystallization Behaviors of Poly(ethylene terephthalate) at Various Annealing Conditions)

  • 류민영;배유리
    • 폴리머
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    • 제27권2호
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    • pp.113-119
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    • 2003
  • 폴리(에틸렌 테레프탈레이트) (PET)의 열처리 조건들 즉, 상대 습도, 온도 그리고 시간 등에 따라 나타나는 PET의 열적 특성과 결정화 거동에 대해서 연구하였다. PET샘플에 열처리를 수행한 후 수분 함유량, 유리 전이온도($T_g$), 그리고 결정화 온도($T_{\propto}$) 등의 변화를 조사하였다. 그리고 열처리된 PET시편에 대해서 결정화를 시키고 결정화도에 따른 열변형 온도(HDT)를 측정하였다. 또한 사출 성형으로 제작된 PET샘플의 열처리 후 잔류 응력의 완화를 편광 필름을 통하여 조사하였다. 열처리 시의 상대 습도, 온도, 그리고 시간이 증가함에 따라 PET샘플 내의 수분 함유량은 최대 6000 ppm이상 까지 증가하였다. $T_g$$T_c$는 시편 내에 수분 함유량이 증가할수록 감소하였다. PET샘플의 결정화도는 수분의 함유량이 증가함에 따라 증가되었다. 그러나 같은 양의 수분 함량에서 결정화도는 열처리의 조건에 따라 다르게 나타났다. PET샘플 내의 잔류응력의 완화는 열처리 조건에 따라 다르게 나타났으며, PET샘플 내에 잔류 응력이 감소할수록 최대 결정화도는 증가하였다.