• Title/Summary/Keyword: 회전척

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Dynamic Characteristic Evaluation of Spin Coater Module for GaAs Wafer Bonding (화합물 반도체 본딩용 Spin Coater Module의 동특성 평가)

  • Song Jun Yeob;Kim Ok Koo;Kang Jae Hoon
    • Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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    • v.22 no.6 s.171
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    • pp.144-151
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    • 2005
  • Spin coater is regarded as a major module rotating at high speed to be used build up polymer resin thin film layer fur bonding process of GaAs wafer. This module is consisted of spin unit for spreading uniformly, align device, resin spreading nozzle and et. al. Specially, spin unit which is a component of module can cause to vibrate and finally affect to the uniformity of polymer resin film layer. For the stability prediction of rotation velocity and uniformity of polymer resin film layer, it is very important to understand the dynamic characteristics of assembled spin coater module and the dynamic response mode resulted from rotation behavior of spin chuck. In this paper, stress concentration mode and the deformed shape of spin chuck generated due to angular acceleration process are presented using analytical method for evaluation of structural safety according to the revolution speed variation of spin unit. And also, deformation form of GaAs wafer due to dynamic behavior of spin chuck is presented fur the comparison of former simulated results.

Comparison of Dental Biofilm Reduction between Rolling Method and Modified Stillman Method (회전법과 변형스틸맨법의 치면세균막 감소 효과 비교)

  • Han, Ye-Seul;Lim, Soon-Ryun;Cho, Young-Sik
    • Journal of dental hygiene science
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    • v.12 no.6
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    • pp.660-665
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    • 2012
  • The purpose of this study was to use basic data of dental hygiene curriculum by comparing the rolling method and modified stillman method. Plaque measurement method, Q-ray examination of the clinical utilization value shall review. True experimental design is randomized controlled trial to the intervention group and the control group. Measurements are plaque control record (PCR; O'Leary index) measurements and Quantitative Light induced fluorescnece Digital (QLFD) shooting as a pre-test was conducted. Intervention group is modified stillman method, control group is rolling method. Intervention after 5 weeks, PCR measurement and QLFD shooting was carried out as a post-test. Rolling method and modified stillman method plaque reduction did not differ. Intervention before and after the results of the comparison showed reduced plaque score after brushing law education. Also, Plaque reduction differences were more pronounced modified stillman method than rolling method. PCR and QLFD values of the correlation was not confirmed but SPS Score and the lower value of the ${\Delta}R$ value of the correlation. Plaque of maturity tooth that are not observed visually.

Ship Hull Block Erection Simulation In Consideration of Resource Constant and Work Environment (Dock의 자원과 작업환경을 고려한 탑재 Simulation)

  • Kim, Jong-Je;Chul, Cha-Hee
    • Proceedings of the Korea Committee for Ocean Resources and Engineering Conference
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    • 2002.05a
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    • pp.47-50
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    • 2002
  • 선반건조 일정계획에 있어서 탑재 공정은 전체 생산일정 계획 중 선박 한 척에 대한 계획의 시발점이 되며, 병목현상 등을 유발하여 다른 일정에 가장 큰 영향을 주게 되는 공정이다. 최근 많은 조선소에서 하나의 Dock 내에서 두 착 이상의 배를 동시에 건조하는 tandem 방식을 택하고 있어 dock 내의 한정된 Crane 의 개수와 Crane의 Capacity, 공수 등의 자원, 그리고 작업환경에서 일어날 수 있는 여러 가지 변수들을 제대로 고려하지 못 했을 시에는 일정의 차질과 Dock의 회전율을 떨어트리게 한다. 본 논문에서는 가상공간에 하나의 Dock 를 만들어서 일정계획에서 작성한 Network를 사용하여 실제 작업하게 해서 그 Network가 현장에서의 최적한가를 점검하게 하고 현장에서 수정하는 작업을 줄이게 하는 것의 방법으로 simulation을 개발하였다.

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The Method and Apparatus for Photoresist Spray Coating with High Temperature Rotational Chuck (고온 회전 척을 구비한 포토레지스트 Spray Coating 방법 및 장치)

  • Park, Tae-Gyu;Kim, Jun-Tae;Kim, Kook-Jin;Suk, Chang-Gil
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2003.10a
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    • pp.42-44
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    • 2003
  • The paper presents the method and apparatus for conformal photoresist spray coating on the 3D structured substrate. The system consists of a high-temperature-rotational chuck, ultrasonic spray nozzle module, angle control module and nozzle moving module. The coating uniformity is acquired by controlling the moving speed of the ultrasonic spray nozzle across the substrate which is rotated constantly. To coat the photoresist conformally the spray angle of the nozzle and the temperature of the substrate are controlled during spray coating. The rotational chuck can be heated up by hot air or $N_2$. The photoresist (AZ1512) has been coated on the 3D structured wafer by spray coating system and the characteristics have been evaluated.

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초음파 세정 및 건조기술

  • 이강원;윤의중;김철호;이태범;이석태
    • Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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    • 2004.05a
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    • pp.118-122
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    • 2004
  • 본 연구에서는 반도체 세정 챔버 내부에서 회전 척을 사용하는 기판의 세정 공정에서 세정장치와 건조장치를 분리하지 알고 일체화하는 기술을 연구하는 한편, 초음파 세정기술을 이용하여, 세정에 사용되는 약액을 절감하는 방법도 연구하였다. UWA(Ultrasonic Water and Clean Air) system은 초음파 진동부, 초순수 공급부 그리고 clean air공급부를 모듈화 하였다. UWA system으로 공급된 초순수에 70~130kHz범위의 초음파가 더하여지고 반도체 기판 위에 분사되면 기판 위의 미세 파티클을 세정하는 효과를 갖는다. 세정 후 연속적으로 clean air를 분사하여 기판 위의 수분을 완전히 제거한다. Particle 세정 작업을 실시한 후 표면을 검사하여 정밀세정 능력을 확인하였다.

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Delaunay Triangulation based Fingerprint Matching Algorithm using Quality Estimation and Minutiae Classification (화질 추정과 특징점 분류를 이용한 Delaunay 삼각화 기반의 지문 정합 알고리즘)

  • Sung, Young-Jin;Kim, Gyeong-Hwan
    • Journal of Korea Multimedia Society
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    • v.13 no.4
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    • pp.547-559
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    • 2010
  • Delaunay triangulation is suitable for fingerprint matching because of its robustness to rotation and translation. However, missing and spurious minutiae degrade the performance and computational efficiency. In this paper, we propose a method of combining local quality assessment and 4-category minutiae classification to improve accuracy and decrease computational complexity in matching process. Experimental results suggest that removing low quality areas from matching candidate areas and classifying minutiae improve computational efficiency without degrading performance. The results proved that the proposed algorithm outperforms the matching algorithm (BOZORTH3) provided by NIST.

Fabrication Method of 3D Feed Horn Shape MEMS Antenna Array Using MRPBI(Mirror Reflected Parallel Beam Illuminator) with Inclined X-Y-Z Stage (MRPBI를 이용한 3D Feed Horn Shape MEMS Antenna Array의 제조)

  • Park, Jong-Yeon;Kim, Kun-Tae;Moon, Sung;Pak, Jung-Ho;Park, Jong-Oh
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2001.07c
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    • pp.1914-1917
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    • 2001
  • 3D Feed Horn Shape MEMS Antenna Array는 적외선 이미지 소자 또는 Tera hertz band 등에서 많은 응용을 할 수 있는 장점을 가진 MEMS 구조체 이다. 하지만 일반적인 MEMS 공정을 이용해서 3D Feed Horn Shape MEMS antenna array를 구현하기는 적합하지 않았다. 본 논문에서는 마스크와 웨이퍼가 일체 된 형태의 경사된 척이 초 저속으로 회전하면서 노광을 할 수 있는 새로운 방식과 미러 반사구조를 이용해서 평행광을 얻을수 있는 노광장치 (MRPBI : Mirror Reflected Parallel Beam Illuminator) System제작방법을 제안하였다. 3D Feed Horn Shape MEMS Antenna의 구조적인 high apect ratio의 특성에 의해서 SU-8과 PMER Negative Photo resist를 이용한 기본적인 실험을 통해 3D 구조체의 구현 가능성을 증명하였다. 또한 Microbolometer의 성능향상을 위한 이론적인 3D MEMS Antenna Model들을 HFSS(High Frequency Structure Simulator)을 이용해서 그 최적구조를 제안하고 3D MEMS Antenna Gain 값을 비교 분석하였다.

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Implementation of CAM Program for 6-Axis CNC Pipe Coaster (6축 CNC 파이프 코스터 전용 CAM 프로그램 구현)

  • Lho, Tae-Jung;Lee, Wook-Jin
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.10 no.9
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    • pp.2202-2209
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    • 2009
  • Joint paths are induced mathematically for many kinds of joint pattern between master- and sub-pipes. By compensating them with root gap of welds and kerf width, real cutting paths are determined. Their NC codes are generated, and the paths generated by NC code are verified by a ghost function. A beveling is implemented through tilting a torch in the A- and B-axis direction for 8 sections in the chuck rotation of C-axis. The effective CAM program was developed specially for 6-axis CNC pipe coasters which cut a master or sub- pipe along the cutting path and simultaneously fulfill a beveling process.

The Study on the Perception of Self-Regulation in Diabetic Patients (당뇨병 환자의 자기조절 인식에 관한 연구)

  • Han, Hye-Sook;Bae, Sun-Hee;Park, Young-Sun
    • Proceedings of the Korean Society of Computer Information Conference
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    • 2021.01a
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    • pp.107-109
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    • 2021
  • 본 연구는 당뇨병 환자의 자기조절에 대한 주관적 유형과 특성을 분석하고자 시도되었으며, 당뇨병 환자의 주관성을 연구하는데 효과적인 Q방법론을 적용하였다. 대상자는 제2형 당뇨병을 진단받은 사람으로서 경구약이나 인슐린 주사로 치료받고 있으나 현재는 입원한 싱태가 아닌 사람 38명으로 구성하였으며, Q표본 40개의 진술문을 가장 부정(-4)에서 가장 긍정(+4) 범위의 9점 척도 상에 분류하도록 하였다. Q분류된 자료는 QUANL PC program을 이용하여 주요인분석(principal component factor analysis)과 배리맥스 회전(varimax rotation)을 통해 Q 요인분석이 행해졌다. 분석결과 당뇨병환자 자기조절에 대학여 제 1유형은 근거기반 순응형, 제2유형은 위기의식 자립거부형, 제3유형은 정보기반 관계지향형, 제4유형은 자기신뢰 실천형, 제5유형은 주관적 결핍 기반 반응 행동형으로 5가지 유형의 관점을 보여주었다. 따라서 당뇨병 환자 효율적 관리방법을 위해 당뇨병 환자의 질병 관리의 부정적 행위 성향을 이해하고, 당뇨지식 교육, 당뇨관리 정보 및 긍정적 심리를 통한 자기조절 프로그램을 개발 할 필요가 있다.

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Friction Welding of Ni-Base ODS Alloy Prepared by Mechanical Alloying (기계적 합금법으로 제조된 Ni기 산화물 분산강화 합금의 마찰압접에 관한 연구)

  • 강지훈;박성계;김지순;권영순
    • Proceedings of the Korean Powder Metallurgy Institute Conference
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    • 1994.10b
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    • pp.15-15
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    • 1994
  • M MA ODS 합금의 보다 폭넓용 실용확훌 위해 크게 요구되고 있는 적정 접합기술 개발의 한 방안£로, 마찰압접(Friction Welding) 방법의 가능성옳 조사하기 위하여 마찰압력과 시간, 마 찰 후 접촉압력(Upset Pressure) 풍을 다양하게 변화시켜 접합체톨 제조한 후, 접합체 강도에 대한 인장시험과 접합계연의 결합 및 미세구조에 대한 현미경 관찰, EDS에 의한 원소분석, 접 합이옴부의 경도분포와 파단면 분석 풍율 행하였다. 실험에 사용된 모재는 기계적 합금법으로 제조된 Inca사의 Ni기 MA 754 합금이었으며, 직경 l 10 mm, 길이 50 mm로 가공한 후, 아세통£로 초음파 세척하여 접합에 사용하였다. 접합온 브 레이크식 마찰압접기틀 사용하여 행하였으며, 회전시험편의 회전수는 2400 rpm이었A며, 다른 한쪽의 고정시험편과의 마찰압력 및 마찰시간온 각각 50 - 500 MPa과 1-5초로, 또한 업셋압 력도 50 - 600 MPa로 변화시켰다. 이때 업셋압력은 모든 시편에 대해 일정하게 6초동안 가하 였다. 얻어진 접합체는 각 압접조건 당 2개 이상의 접합시험편에 대해 상온 인장강도톨 측정하 였으며, 파단이 일어난 위치를 확인한 후 파면에 대한 분석율 주사전자현미경(SEM)과 에너지 분산형 분광분석기mDS)릎 사용하여 행하였다. 컵합이옴부의 첩합성올 확인하기 위하여, 접합 체를 접합변에 수직으로 절단, 연마한 후 광학현미경과 SEM, EDS 퉁으로 관찰, 분석하여 접 합부의 형상과 결합형성 여부, 접합계면의 미세조직 퉁옳 조사하였다. 또한 마찰압접에 따론 모재와 접합계연부의 경도분포훌 접합이옴부로부터 모재쪽으로 일정 간격율 두어 마이크로 비 커스 경도기로 측정, 조사하였다. 이상의 설험 결과, 다옴과 같온 결론옳 얻었다. ( (1) 접합체 강도가 모채 강도의 95% 이상이 되는 양호한 렵합체흩 얻기 위한 마찰압력 조건 온, 2400 rpm의 회전속도와 6초의 업셋압력 유지시간에서 마찰압력과 업셋압력, 그리고 마찰시 간이 각각 400 MPa 이상과 500 MPa 이상,2초입율 확인하였다. ( (2) 컵합이옴부의 관찰 결과, 모든 마찰압접 조건에서 컵합이옴부는, 기폰 모재의 texture 조직 을 유지하고 있는 모재부 영역(영역 ill)과 첩합계면부에 인접하여 업셋압력이 주어질 때 단조 효과에 의해 계연 외부로 metal flow가 일어나면서 형성된 영역 II, 매우 미세한 결정립으로 구성된 중앙부의 영역 1 로 이투어져 있옴융 확인하였다. ( (3) 최적접합조건이 충족되지 않온 경우, 접합부의 영역 I 에서 관찰된 void와 균열, 불균일한 접합계면 통의 접합결함에 Al과 Y. Ti 퉁£로 구성된 산화물률이 용집되어 있옴을 확인하였 다-( (4) 접합체의 파단 양상온 크게 접합부 파단과 모재부 파단, 이률의 혼합형 파단i로 나눌수 있었다. 모재부 파단의 경우, 파단면이 매끄럽고 파변상의 결정립도 매우 미세하였으며, 산확물 의 용집도 찾아보기 어려웠 나, 접합부 파단의 경우에는 파변의 굴곡이 비교척 심하고 연성 입계파괴의 형태를 보였£며, 결정립도 모채부 파단의 경우에 비해 조대하였다. 조대하였다.

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