• Title/Summary/Keyword: 화학적 반응

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ALD와 PEALD 공정에서의 파티클 형성과 박막 특성 비교

  • Gang, Go-Ru;Kim, Jin-Tae;Cha, Deok-Jun;Yun, Ju-Yeong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.02a
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    • pp.253-253
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    • 2013
  • 본 실험에서는 전구체(Precursor)로 TMA (Tris methyl Aluminum)를 사용한 ALD (Atomic Layer Deposition)와 PEALD (Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition) 공정 중 발생하는 입자(particle)를 ISPM (In-Situ Particle Mornitor)로 관찰하였다. ALD과 PEALD 공정에서 Al2O3 박막을 형성하기 위해서 반응가스(Reactant)로 각 각 H2O와 O2 plasma를 사용하였다. 이러한 차이로 인해서 진공 챔버(Vacuum Chamber) 안에서의 각기 다른 매커니즘에 의해서 Al2O3의 박막이 형성된다. 또한 공정 중 발생할 수 있는 파티클(Particle) 생성 매커니즘의 차이점을 가진다. ALD의 경우 전구체와 반응가스 사이에 충분한 purge가 이루어지지 않거나 dead zone이 존재할 경우 라인과 챔버 상에 잔류한 전구체와 반응가스에 의해서 불완전한 반응물로 파티클이 생성될 수 있다. 반면 PEALD 경우는 반응가스(Reactant)로 O2 plasma를 극부(localization)적으로 형성하여 박막을 형성하므로 반응가스의 잔류의 영향은 없으나 고에너지의 플라즈마에 의해서 물리적 영향에 의한 파티클이 생성될 수 있다. 공정 중 발생하는 입자(Particle)은 수율 감소와 박막의 물성에 영향을 미칠 수 있다. 그러므로 두 공정 중 발생하는 파티클을 ISPM으로 관찰하였고, 각 공정에서 형성된 박막의 두께 균일도, 표면의 형상(morphology), 화학적 조성 및 전기적 특성을 측정하였다. 이를 통해서 ALD와 PEALD의 파티클과 박막특성을 비교하였다.

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The Effect of Pyrolysis Pressure on Combustion Reactivity of Coal Char (열분해 압력이 석탄 촤의 연소반응성에 미치는 영향)

  • Park Ho Young;Kim Young Ju;Kim Tae Hyung;Seo Sang Il
    • Journal of Energy Engineering
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    • v.14 no.1
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    • pp.1-10
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    • 2005
  • The combustion reactivity of char depending on the pyrolysis pressure was investigated with Pressurized Thermogravimetric Analyser. The amounts of volatiles released at pyrolysis pressure of 1, 8 and 15 atm were, first, measured with Alaska, Adaro and Denisovsky coals. Reactivities of chars produced at var-ious pyrolysis pressure were evaluated at atmospheric pressure and 500℃, and analysed in terms of char crystal structure, surface area, pore characteristics and chemical composition of char. Finally, the combustion reactivities of three chars were examined at pressure of 1 atm, 8 atm and 15 atm. From this study, it was recognized that the amount of volatiles released decreases with increase in pyrolysis pressure, and reaction rate of char produced at higher pyrolysis pressure was lower than that at lower pyrolysis pressure. It might be resulted from the difference in char surface area and pore characteristics rather than char crystal structure and chemical characteristics. At 15 atm, kinetic parameters of Alaska char were obtained with the grain model, and these were 56.8 KJ/mole for activation energy and 222.34 (1/min) for frequency factor.

Electrochemical Characteristic Analysis based on Various Electrode's Condition of a PEMFC (PEMFC내 가변적인 전극조건에 따른 전기화학적 특성분석)

  • Nam, Y.;Kim, J.H.;Choi, H.J.;Tak, Y.S.
    • Proceedings of the KIPE Conference
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    • 2017.07a
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    • pp.461-462
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    • 2017
  • 가장 대표적인 연료전지인 고분자 전해질 연료전지(PEMFC; polymer electrolyte membrane fuel cell)은 두 개의 전극으로 이루어지며, 각 전극(electrode)에 공급되는 수소(anode)와 공기(cathode)의 원활한 반응을 위해 촉매(catalyst)로서 백금(Pt)을 사용한다. 이 때, 촉매의 실험 조건에 따라 연료전지 두 전극의 반응이 달라지므로 촉매의 가변성 즉, 가변적인 전극 조건에 따른 전기화학적 특성이 면밀히 분석되어야 한다. 그러므로, 본 논문에서는 촉매의 변화에 기인한 가변적인 전극 특성에 따른 연료전지의 전기화학적 특성 분석을 실시하였다.

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Chemical Synthesis of Oligodeoxyribonucleotide ; Improvement of Deoxyribonucleoside Phosphorylation and Dideoxyribonucleotide Synthesis (Oligodeoxyribonucleotide의 화학적 합성 ; Deoxyribonucleoside의 인산화와 이량체 합성 방법의 개선)

  • Sang Jik Lee;Byung Soo Song;Jong Dae Kim
    • Journal of the Korean Chemical Society
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    • v.31 no.1
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    • pp.84-93
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    • 1987
  • The study was done with a focus on making the optimum condition on phosphorylation of deoxyribonucleoside with o-chlorophenylphosphoroditriazole as a phosphorylating agent. The result showed that the addition of 5 volume % pyridine to the dioxane solution accelerated the rate of reaction to a great extent and turned out to nearly quantitative yields on phosphorylation. On the basis of this improvement of optimum reaction conditions, a more efficient method to synthesize all-protected dideoxyribonucleotide from N, 5-O-blocked deoxyribonucleoside was developed. The dodecamer with a Hind Ⅲ recognition site was readily synthesized from five different dimers which were prepared through the newly improved method.

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부산 동래온천수의 심부환경

  • 고용권;김건영;김천수;배대석;성규열
    • Proceedings of the Korean Society of Soil and Groundwater Environment Conference
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    • 2003.09a
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    • pp.583-586
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    • 2003
  • 부산 동래지역 지열수에 대한 지화학적 진화과정을 밝히기 위하여 지열수, 지하수 및 해수에 대한 수리화학 특성과 이들의 연관성을 고찰하였다. 또한 심부환경에서의 지화학 특성을 규명하기 위하여 각종 이온지질온도계와 다성분 지질온도계를 적용하였으며, 동위원소특성과 함께 지화학 모델링을 통하여 심부환경에서의 온천수의 지화학특성을 밝히고자 하였다. 동래 지열수의 수리화학적 특성은 해수의 영향을 받아 높은 이온함량을 보이며 Na-Cl형을 보여준다. 지열수는 주변 지하수와의 크게 혼합된 양상을 나타낸다. 지화학 모델링에 따르면 지열수는 심부에서 약 5% 영향을 받은 것으로 추정된다. 즉, 심부로 순환하는 지열수가 해수와 혼합되며, 이들이 지열에 의해 가열되면서 광물의 용해 및 침전, 이온 교환반응 등 물-암석 반응을 거치면서 심부지열수를 형성하였으며, 지열수가 천부환경으로 상승하는 과정에서 동래지역 주변 천부지하수와 다양하게 혼합되면서 현재 동래온천수의 화학조성을 갖는 온천수를 형성하는 것으로 지열수의 진화 과정을 설명할 수 있다.

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Application and Progress of Plasma-assisted Chemical Vapor Deposition Process (플라즈마 화학증착법의 발전과 응용)

  • 김선규
    • Journal of Welding and Joining
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    • v.15 no.5
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    • pp.21-24
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    • 1997
  • 화학증착법은 고융점의 경질재료, 고온재료, 고순도와 완벽한 결정성을 필요로 하는 반도체, 초전도체 및 투명전도체 등의 전자재료의 제조와 신소재 개발 등에 이용되고 있다. 그러나 1000.deg.C 부근의 고온에서 증착반응이 이루어짐으로 그 응용범위가 제한되어 있다. 이러한 제한점을 해결하기 위하여 증착온도를 낮추기 위한 방법으로 비교적 저온에서 분해가 가능한 금속유기 화합물을 반응물로 사용하여 증착반응 온도를 낮출 수가 있으며, 실제로 III-V 또는 II-VI 반도체 제조에는 금속유기 화합물에 의한 화학증착법을 이용하고 있으나, 고가의 금속유기 화합물을 사용하여야 하며 금속유기 화합물의 불안정성, 유독성 때문에 사용에 제한을 받고 있다. 최근에는 플라즈마를 부수에너지원으로 공급하여 줌으로써 증착반응의 온도를 더욱 낮추는 연구가 진행되고 있다.

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태아 십이지장 내분인포군집의 형태 및 면역조직화학적 특성

  • Kim, Eun-Hui;Kim, Gon-Seop;Hong, Hye-Nam
    • The Korean Journal of Zoology
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    • v.37 no.1
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    • pp.1-11
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    • 1994
  • 임신 26주, 27주의 생명력이 없는 한국인 태아 2예를 대상으로 십이지장 점막에서의 장내분비세포군집(일부 일본인 학자들이 명명한 "Segi's cap")의 출현, 형태 및 구조를 관찰하고. 이들 세포군집에서 내분비세포들의 존재 및 면역조직 화학적 특징들을 관찰하고자, 파라핀조직절편과 냉동박절 후 hematoxvlin과 eosin염색. Azan염색, Comori법, 그리고 면역조직화학염색 표본을 제작, 관찰하여 다음과 같은 결과들을 얻었다 세포들의 군집 형태는 장 내강을 향해서는 오목한 형태였고, 기저막을 향해서는 볼록한 형태였다. 군집을 이룬 세포들은 중층을 이루었고. 술잔세포도 장 내캉목에서 관찰되었다 또한. 내강쪽에 위치한 세포들의 경우 미세융모들의 줄무의가장자리는 관찰되지 않았다 Leuenkephalin, somatostatin, substance p, vasoactive intestinal polypeptide 및 5-HT 항혈청을 이용하여 면역조직염색한 결과 somatostatin 양성반응세포와 5-HT 양성반응세포만이 관찰되었다. 이들 somatostatin 양성반응 세포와 5-HT 양성반응세포들은 대개가 원추형의 세포들로서 개구형을 이루고 있음을 관찰한 수 있었다.관찰한 수 있었다.

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A Numerical Study of Channel Shape and Mach Number Effects on Transonic Combustion (채널형상과 마하수가 천음속 연소에 미치는 영향에 대한 수치해석적 연구)

  • Lee, Jang-Chang
    • Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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    • v.33 no.11
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    • pp.65-73
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    • 2005
  • The compressible flow of reactive fluid is investigated by using the transonic small-disturbance (TSD) model and the one-step first-order Arrhenuis chemical reaction. The fluid flow is restricted to dilute premixed reactions with small heat release. The effects of channel shape and Mach number on transonic combustion are studied by numerical analysis. The results show that the channel divergence increases the chemical reaction within the given channel length whereas the channel convergence inhibits the chemical reaction near the outlet and that increasing the inlet flow Mach number at a fixed reaction rate causes the flow acceleration in a diverging channel and the appearance of weak shock waves which do not show in the inert flow case. It also helps to increase the pressure and temperature near the diverging channel outlet and to consume the reactant within the given channel length.

An Experimental Study on the Optimal Conditions of Decomposition/Synthesis of Methanol for Heat Transport from Long Distance (장거리 열수송을 위한 메탄올 분해/합성 반응 최적화 조건의 실험적 연구)

  • Yoon, Seok-Mann;Moon, Seung-Hyun;Lee, Seung-Jae;Choi, Soon-Young
    • Journal of Energy Engineering
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    • v.19 no.3
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    • pp.195-202
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    • 2010
  • A third of primary energy is lost as a waste heat. To improve this inefficient use of energy, systems using chemical reaction have been suggested and studied. In this study, methanol decomposition/synthesis reaction as a chemical reaction was selected for long time heat storage and long distance heat transport system because of safe, cheap and gaseous product. The purpose of this study is to find the optimal conditions in the methanol decomposition and synthesis reactions for long distance heat transport. Several parameters such as reaction temperature, pressure, $H_2$/CO ratio, space velocity, catalyst particle size were tested to find the effects on the reaction rates for the methanol synthesis. And the reaction temperature, space velocity, catalyst particle size were tested to find the effects on the production concentration for the methanol decomposition.

MO Theoretical Studies on Nature and Reality of (Y-방향족성의 본질과 존재에 대한 분자궤도론적 연구)

  • Ikchoon Lee;Bon-Su Lee;Chan Kyung Kim
    • Journal of the Korean Chemical Society
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    • v.29 no.4
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    • pp.356-364
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    • 1985
  • Ab initio calculations with STO-3G method were carried out on isomers of isobutylene dianion and dilithioisobutylene, and geometry, energy and Mulliken population were discussed. Energy of reaction, ${\Delta}$E, for isodesmic processes involving these species and relative heats of formation, ${\Delta}H_f$, estimated with ${\Delta}$E have shown that the contribution of "Y-aromaticity" to the structural stabilization of Y-type dianion is a tenuous one but the alkylation appears to proceed via the Y-type dilithio compound.

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