• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.19 no.3
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• pp.190-198
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• 2010

Asymmetric model for plasma uniformity by Ar and $CF_4$ was modeled by the antenna structure, the diameter of chamber, and the distance between source and substrate for the development of plasma equipment for 450 mm wafer. The aspect ratio of chamber was divided by diameter, distance from substrate, and pumping port area. And we found the condition with the optimized plasma uniformity by changing the antenna structure. The drift diffusion and quasi-neutrality for simplification were used, and the ion energy function was activated for the surface recombination and etching reaction. The uniformity of plasma density on substrate surface was improved by being far of the distance between substrate wall and chamber wall, and substrate and plasma source. And when the antenna of only 2 turns was used, the plasma uniformity can improve from 20~30% to 4.7%.

• Journal of Korea Society of Industrial Information Systems
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• v.20 no.6
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• pp.29-36
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• 2015

This paper presents an LED backlight driver IC consisting of three linear current regulators and an output-voltage regulation loop with a self-adjustable reference voltage. In the proposed LED driver, the output voltage is controlled by dual feedback loops. The first loop senses and controls the output voltage, and the second loop senses the voltage drop of the linear current regulator and adjusts the reference voltage. With these feedback loops, the voltage drop of the linear current regulator is maintained at a minimum value, at which the driver efficiency is maximized. The output of the driver is a three-channel LED setup with four LEDs in each channel. The luminance is adjusted by the PWM dimming signal. The proposed driver is designed by a $0.35-{\mu}m$ 60-V high-voltage process, resulting in an experimental maximum efficiency of approximately 85%.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 1999.07a
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• pp.184-184
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• 1999

반도체소자의 고집적, 미세화에 따라 MOSFET 소자에서의 고농도, 미세접합이 요구되고 있다. 이러한 고농도, 미세접합을 형성하기 위하여 기존의 저에너지 이온주입법을 대체 또는 병행할 목적으로 플라즈마 이온주입방법이 활발히 연구되고 있다. 본 연구에서는 플라즈마 이온주입방법을 이용하여 (100) 실리콘 기판에 보론을 주입후 열처리하여 형성된 p+층의 도펀트의 활성화와 이온주입으로 인한 실리콘 기판의 손상을 고찰하였다. 본 실험에서 (100)실리콘 기판에 도핑할 소스 가스로 BF3을 주입하고, D.C. pulse 플라즈마 도핑시스템을 사용하여 플라즈마 내의 보론이온을 웨이퍼 홀더에 -1~-5kV의 인가된 음전압에 의해 가속시키어 실리콘 웨이퍼에 주입하였다. 주입에너지 -1kV, -3kV, -5kV와 1$\times$1015, 3$\times$1515의 dose로 주입된 실리콘 기판을 급속가열방식(RTP)을 사용하여 $600^{\circ}C$~110$0^{\circ}C$의 온도구간에서 10초와 30초로 열처리하여 도펀트의 활성화와 미세접합을 형성한 후 SIMS, four-point probe, Hall 측정, 그리고 FT-IR을 이용하여 플라즈마 이온주입된 도펀트의 거동과 활성화율을 관찰하였고 FT-IR과 TEM의 분석을 통하여 이온주입으로 인한 실리콘 기판의 손상을 고찰하였다. SIMS, four-point probe, Hall 측정, 그리고 FT-IR의 분석으로 열처리 온도의 증가에 따라 도펀트의 활성화율이 증가하였고, 이온주입 에너지와 dose 그리고 열처리 시간의 증가에 따라서 주입된 도펀트의 활성화는 증가하였다. 그리고 주입에너지와 dose 그리고 열처리 시간의 증가에 따라서 주입된 도펀트의 활성화는 증가하였다. 그리고 주입에너지와 dose를 증가시키면 접합깊이가 증가함을 관찰하였다. 이온주입으로 인한 기판손상의 분석을 광학적 방법인 FT-IR과 미세구조를 분석할 수 있는 TEM을 이용하여 분석하였다. 이온주입으로 인한 dislocation이나 EOR(End Of Range)과 같은 extended defect가 없었고, 이온주입으로 인한 비정질층도 없는 p+층을 얻을수 있었다.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2011.05a
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• pp.80-80
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• 2011

세계 기후 변화와 불안정한 유가 변화에 대응하고 국내산업의 저탄소 녹색성장을 위해 신재생에너지 개발이 활발하게 이루어지고 있다. 해양에너지 중에서 조류발전은 대규모 댐을 건설할 필요가 없어 비용이 적게 소요되고 특히 날씨 변화나 계절에 관계가 없고, 발전량이 예측 가능하므로 신뢰성 있는 에너지원으로 적용이 가능하다. 조류발전기 블레이드에 폴리머계 복합재료와 스테인리스강이 대부분인데, 이 재료는 특정 회사에서만 제작 가능하며, 충격에 약하고, 균열전파 속도가 빠르며, 대단히 고가이며, 수입에 의존하고 있는 실정이다. 이러한 조류발전에 사용되는 블레이드는 가혹한 부식, 캐비테이션 그리고 침식환경에 노출되어 있어 내구성이 우수한 제품개발이 대단히 중요하며, 조류발전 블레이드를 동합금으로 제작시, 내식성이 뛰어나며 구리의 특성상 해양생물 서식을 방지할 수 있고, 내캐비테이션 특성, 내구성, 가공성 및 유지보수가 용이한 장점이 있다. 이러한 동합금에 WC-27NiCr와 WC-10Co4Cr를 초고속 화염용사(HVOF)를 이용하여 코팅층의 캐비테이션 특성 및 전기화학적 거동을 연구하였다. 본 연구에서는 조류발전용 블레이드의 재료로 사용하려는 동합금에 WC-27NiCr와 WC-10Co4Cr이 용사코팅된 시험편을 사용하였다. 다채널 부식시험기인 WonA-tech WMPG-1000을 이용하여, 자연전위를 측정하였으며, 분극실험은 자체 제작한 홀더를 사용하여 $0.3318cm^2$를 노출 시켜 실험하였다. 기준전극은 은/염화은 전극을, 대극은 백금 전극을 사용하였다. 양분극과 음분극 실험을 통해 개로전위에서의 부식거동을 확인하였고, 정전위 실험도 실시하였다. 실험 종료 후 3D현미경 및 전자주사현미경(SEM)을 사용하여 코팅층 표면의 손상거동을 관찰하였다. 캐비테이션 실험은 ASTM-G32 규정에 의거하여 압전효과를 용한 진동발생 장치(RB 111-CE)를 사용하였다. 수조는 전기화학적 부식의 영향을 고려하여 아크릴로 제작하였고, 시험편은 실험장비에 맞게 파인커팅머신을 이용하여 $20mm{\times}20mm$로 절단하여 사용하였으며 혼과 대향하도록 하여 1mm 간격을 두어 실험하였다. 실험 실시 전, 미소전자저울을 사용하여 무게감소량을 측정하였으며 표면관찰을 통하여 캐비테이션 거동을 관찰하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.400-400
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• 2010

우리는 기본 진공 $10^{-11}\;Torr$의 UHV surface magneto-optical Kerr effect (SMOKE) 시스템을 quarter-wave plate를 사용하였던 기존의 방식에서 PEM (photo elastic modulator)를 사용하는 방식으로 장비의 기능을 향상시켰다. 기존 quarter-wave plate를 사용하는 방식의 경우 Kerr signal을 구하기 위해 편광자와 검광자를 수직으로 두어 광량을 0으로 만들어야 한다. 그러나 금속의 경우 대부분 가시광선 영역에서 큰 반사율 때문에 측정되는 광량이 편광자와 검광자를 거치면서 넓은 각도 범위에서 최소값을 갖기 때문에 정확한 영점을 잡는 데 한계가 있다. 이러한 단점을 해결하기 위하여 우리는 PEM을 이용한 위상변조방식을 사용하였다. 위상변조 방식은 Kerr signal과 관계된 양을 PEM을 이용하여 50 kH ($1{\omega}$)와 100 kH ($2{\omega}$)의 진동 주파수에 공조시키고 이를 Lock-in-amplifier를 사용하여 탐지하기 때문에 좋은 sensitivity를 얻을 수 있을 뿐 아니라 Kerr ellipticity와 Kerr rotation을 동시에 측정할 수 있다. 자화에 필요한 전자석은 순철로 된 코어를 제작하여 챔버에 부착하였고 10 A에서 최대 7 kOe의 고자장을 얻을 수 있어 포화자화가 큰 물질에 대해서도 필요한 자성영역까지 측정이 가능하게 하였다. 또 저온 측정을 위해 SMOKE 샘플 홀더를 개조하여 액체 질소를 이용하여 100 K 근방의 영역에서 온도를 제어할 수 있도록 저온 장치를 구성하였다. 여기에서 샘플 근처에 위차한 e-beam heater가 장착된 고온 부분과 액체 질소 냉각, 온도감지를 위한 센서, cartridge heater가 장착된 저온 부분을 sapphire plate로 분리하여 저온용 cartridge heater의 파손을 최소화하였다. 이러한 SMOKE 시스템을 구성한 후에 우리는 Fe/Cr(001)시스템의 자성특성에 대해 연구하였다. Fe/Cr 시스템은 Fe/Cr/Fe의 exchange coupling이나 bulk Cr의 복잡한 자성 특성 때문에 주목을 받아왔다. 이 연구에서 우리는 저온 및 상온에서 Cr(001) 단결정 위에 증착된 Fe 박막의 자성 특성을 보고한다.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.32 no.5
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• pp.230-234
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• 2021

Relief of thermal stress has received great attention, to improve the beam quality and stability of high-power laser diodes. In this paper, we investigate a microtrench structure engraved around a laser-diode chip-on-submount (CoS) to relieve the thermal stress on a laser-diode bar (LD-bar), using the SolidWorks® software. First, we systematically analyze the thermal stress on the LD-bar CoS with a metal heat-sink holder, and then derive an optimal design for thermal stress relief according to the change in microtrench depth. The thermal stress of the front part of the LD-bar CoS, which is the main cause of the "smile effect", is reduced to about 1/5 of that without the microtrench structure, while maintaining the thermal resistance.

• Composites Research
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• v.35 no.3
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• pp.196-200
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• 2022

Split Hopkinson Pressure Bar (SHPB) is a general test equipment for measuring the mechanical properties of high modulus metal and composite materials at high strain rate. However, for the soft plastic material, it is difficult to hold the specimen and achieve dynamic stress equilibrium due to the weak transmitted signals. In this study, SHPB test apparatus were designed to measure accurately the high strain rate stress-strain curve of the soft plastic materials by changing the incident bar materials and the shape of the specimen holder parts. In addition, to verify the high strain-rate tensile strain data obtained from SHPB, the strain distribution of the specimen was measured and analyzed with a high-speed camera and the digital image correlation (DIC), which was compared with the strain history measured from SHPB.

• Journal of the Korea Convergence Society
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• v.12 no.4
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• pp.293-302
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• 2021

This study is designed to find out clinical factors and the effects of individual art therapy for workers involved in industrial accident. From January 2017 to July 2019, 10 industrially injured workers were individually subjected to 11 art therapy sessions, and a multidimensional psychological test S type was used to examine changes in clinical factors before and after individual art therapy. The results showed that the average of the five clinical factors ranges from 2.80 to 4.20, indicating that the psychological pain of workers injured was significant. As a result of bivariate correlation analysis, it was confirmed that meaningful correlation existed within the statistical scope of all factors. As for the difference in the results of multidimensional psychological tests before and after art therapy, out of the five clinical factors, the Z values of depressed, anger and anxiety were -2.405(p=.016), -2.148 (p=.032) and -2.102 (p=.036), to confirm that the depressed, anger and anxiety of the participants have eased somewhat after performing individual art therapy.

• Progress in Medical Physics
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• v.14 no.1
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• pp.15-19
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• 2003

High dose rate (HDR) brachytherapy for treating a cervix carcinoma has become popular, because it eliminates many of the problems associated with conventional brachytherapy. In order to improve the clinical effectiveness with HDR brachytherapy, a dose calculation algorithm, optimization procedures, and image registrations need to be verified by comparing the dose distributions from a planning computer and those from a phantom. In this study, the phantom was fabricated in order to verify the absolute doses and the relative dose distributions. The measured doses from the phantom were then compared with the treatment planning system for the dose verification. The phantom needs to be designed such that the dose distributions can be quantitatively evaluated by utilizing the dosimeters with a high spatial resolution. Therefore, the small size of the thermoluminescent dosimeter (TLD) chips with a dimension of <1/8"and film dosimetry with a spatial resolution of <1mm used to measure the radiation dosages in the phantom. The phantom called a pelvic phantom was made from water and the tissue-equivalent acrylic plates. In order to firmly hold the HDR applicators in the water phantom, the applicators were inserted into the grooves of the applicator holder. The dose distributions around the applicators, such as Point A and B, were measured by placing a series of TLD chips (TLD-to-TLD distance: 5mm) in the three TLD holders, and placing three verification films in the orthogonal planes. This study used a Nucletron Plato treatment planning system and a Microselectron Ir-192 source unit. The results showed good agreement between the treatment plan and measurement. The comparisons of the absolute dose showed agreement within $\pm$4.0 % of the dose at point A and B, and the bladder and rectum point. In addition, the relative dose distributions by film dosimetry and those calculated by the planning computer show good agreement. This pelvic phantom could be a useful to verify the dose calculation algorithm and the accuracy of the image localization algorithm in the high dose rate (HDR) planning computer. The dose verification with film dosimetry and TLD as quality assurance (QA) tools are currently being undertaken in the Catholic University, Seoul, Korea.

• 한국생물공학회:학술대회논문집
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• 2003.10a
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• pp.428-433
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• 2003

We measured the effect of wettability of six MPSs for RGP(rigid gas permeable) lens. The used MPSs(multipurpose solutions) were OPTI-SOAK(ALCON), SOLO care hard(CIBA Vision), Total care(ALLERGAN), Simplicity(BOSTON), Wetting and Soaking Sol.(Bausch & Lomb) and Aquas-multi(Saehan). These MPSs keeps hydrophilic property of lens surface and increase the effect of cleaning or increase the effect of preservative effect. To compare with the effect of wettability we followed the way of contact angle measurement which was general way to measure wettability and compared lens which was conducted by each MPS made by different companies. As a control, 0.9% NaCl solution and artificial tears were used. The degree of the effect of wettability was decided by contact angle. It is hydrophilic property nearby $0^{\circ}$ of contact angle and it is closed by hydrophobic property as it increases. The results showed that every lens was nearby hydrophilic property within $25\;^{\circ}-36\;^{\circ}$. Also, it was differed by various factors. The surface tension showed various differences between 19.8 and 31.3 mN/m. In the viscosity, MPSs represented the highest viscosity between $4^{\circ}C$ and $20^{\circ}C$. It was much higher than compared with the viscosity of soft lens MPS. This experiment could be used to grasping the interaction between solutions used to MPS and the natural endowments of lens and to considering the relations of different factors effecting the wettability.