유도결합 플라즈마가 결합된 마그네트론 스퍼터링에 의해 합성된 미세결정질 실리콘 박막의 미세구조에 미치는 수소의 영향 (The effect of hydrogen on microstructure of nc-Si:H thin films deposited by ICP-assisted magnetron sputtering)
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- 한국표면공학회:학술대회논문집
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- 한국표면공학회 2012년도 춘계학술발표회 논문집
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- pp.351-352
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- 2012