• 제목/요약/키워드: 형태와 역학

검색결과 804건 처리시간 0.032초

PBMS용 조리개형 공기 역학 렌즈의 수치해석적 연구

  • 김명준;김영석;김동빈;문지훈;강상우;김태성
    • 한국진공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
    • /
    • pp.279.2-279.2
    • /
    • 2014
  • 반도체 선폭이 20 nm급까지 감소함에 따라 기존에 수율에 문제를 끼치던 공정 외부 유입 입자뿐만 아니라, 공정 도중에 발생하는 수~수십 나노의 작은 입자도 수율에 악영향을 끼치게 되었다. 이에 따라 저압, 극청정 조건에서 진행되는 공정 중 발생하는 입자를 실시간으로 모니터링 할 수 있는 장비에 대한 수요가 발생하고 있다. Particle beam mass spectrometer (PBMS)는 이러한 요구사항을 만족할 수 있는 장비로 100 mtorr의 공정 조건에서 5 nm 이상의 입자의 직경별 수농도를 측정할 수 있는 장비이다. PBMS로 입자의 수농도를 측정하기 위해서는 PBMS 전단에서 입자를 중앙으로 집속할 필요가 있다. 공기역학렌즈는 PBMS 전단에서 입자를 집속시키기 위해 일반적으로 널리 사용되고 있는 장비로 여러 개의 오리피스로 이루어져 있다. 공기역학렌즈를 지나는 수송 유체와 입자는 이러한 연속 오리피스를 거치면서 팽창과 수축을 반복하며, 관성력의 차이로 인해 입자가 중앙으로 집속된다. 그러나 기존 공기역학렌즈는 고정된 직경의 오리피스를 사용하기 때문에 설계된 공정조건 이외에는 입자의 집속효율이 감소한다는 단점을 지닌다. 따라서 공정조건이 바뀔 경우 공기역학렌즈를 교체해야 되며, 진공이라는 환경하에서 이러한 교체는 많은 시간과 노력을 요구로 한다. 본 연구에서는 이러한 공기역학렌즈의 문제점을 해결하기 위해 다양한 공정조건에서 교체 없이 사용할 수 있는 새로운 형태의 공기역학렌즈인 조기래형 공기역학렌즈를 제안하였다. 각각의 오리피스가 중공의 직경을 변경할 수 있는 구조인 조리개의 형태로 설계되어 있어, 공정조건에 따라 중공의 직경을 변경함으로써 입자의 집속을 결정하는 요소인 Stokes number를 조절 할 수 있다. 이러한 조리개형 공기 역학 렌즈의 성능을 평가하기 위해 수치해석적인 방법을 이용하였다. 공기 역학 렌즈 전단의 압력을 0.1~10 torr까지 변화시켜가며 다양한 공정조건에서 오리피스의 직경만을 변경하여 입자 집속 가능 여부를 판단하였으며, 조리개 형태의 구조상 발생할 수 있는 leak로 인한 입자 집속 효율의 변화도 평가하였다.

  • PDF

해양구조물의 원통형 조인트에 대한 파괴역학적 피로수명 산출방법의 설정 (Establishment of Fracture Mechanics Fatigue Life Analysis Procedures for Offshore Tubular Joints -part II : Fatigue Life Analysis for a Multi-Plan Tubular Joint)

  • 이희종
    • 한국해양공학회지
    • /
    • 제3권2호
    • /
    • pp.87-100
    • /
    • 1989
  • 해양구조물의 원통형 조인트에 대한 파괴역학적 피로수명 산출방법이 개발되었다. 개발된 방법을 이용해서 2평면 K형 조인트에 대한 피로수명을 구체적인 파괴역학적 방법으로 산출 하였다. 이 분석을 위해 용접부위 표면균열의 응력확대 계수를 3차원 유한요소법에 의해 계산하였다. 계산된 결과에 의하면 용접부위 표면균열 첨단은 단순한 Mode I형태를 보이지 않고 Mode I, II, III이 복합된 형태임이 입증되었다. 계산된 응력확대 계수를 사용해서 16개의 용접부위균열 성장형태를 일반적인 피로균열 성장법칙을 적용해서 계산하였고, 균열성장의 안정분석을 통해 각 균열의 최종 파괴상태를 파괴해석도면(failure assessment diagram)법을 이용해서 계산하였다.

  • PDF

암석의 파괴역학적 특성과 미세구조에 관한 연구 (Fracture Properties and Microstructural Characteristics of Rock)

  • 백환조
    • 산업기술연구
    • /
    • 제16권
    • /
    • pp.267-275
    • /
    • 1996
  • 금속과 같은 균질한 재료의 균열파괴의 특성을 설명하기 위하여 도입된 파괴역학의 이론들은 1960년대 이후 콘크리트나 암석 등에 대하여 적용되기 시작하였다. 파괴인성계수(fracture toughness)는 균열의 성장에 대한 재료의 저항을 나타낸다. 그러나, 암석의 파괴역학적 특성은 암석이 갖는 불균질성이나 비등방성에 의하여 영향을 받는다. 즉, 암석의 파괴역학적 특성의 측정은 시험편의 크기나 초기균열의 길이, 시험편의 형상 등에 의하여 측정자료의 분산이 심하며 따라서 다른 기본 물성들의 경우에서와 마찬가지로 일정한 시험기준의 도입이 요구되었다. 1988년에 국제암반공학회(ISRM)에서 제시한 표준시험방법은 시험편의 제작이나 시험방법에 있어서 복잡한 과정을 요구하고 있다. 본 논문에서는 표준시험방법에서 사용되는 시험편의 형태에 비하여 비교적 간단한 시험방법들에 의하여 얻어진 파괴적인성계수들을 서로 비교하여 제시하고 시험편의 크기와 기타 시험조건에 따른 파괴인성계수 측정치의 변화를 나타내고 있다. 또한, 암석에 포함되어있는 자연균열들의 특성과 파괴역학실험 중 유발되는 인공균열들의 형태를 비교하여 실험실에서 얻은 파괴역학적 계수들의 현장적용에 대한 문제점들을 지적하고 있다.

  • PDF

형태학적 지수에 기반한 뼈 미세구조의 평가 (Evaluation of Bone Micro-architecture based on histomorphometry)

  • 박상철
    • 한국경영과학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국경영과학회/대한산업공학회 2005년도 춘계공동학술대회 발표논문
    • /
    • pp.862-865
    • /
    • 2005
  • 해면골에 대한 평가는 일반적으로 골밀도를 기준으로 평가하지만, 골밀도는 뼈의 특성을 70-80% 정도만 설명하는 것으로 알려져 있다. 이에 따라 골밀도로 설명이 되지 않는 나머지 특성을 뼈 미세구조의 형태학적 특성을 이용하여 설명하려는 노력이 생체역학 분야에서 오랫동안 있어 왔다. 본 연구는 CAD/CAM 분야의 feature extraction 기술을 이러한 생체역학 분야에 접목함으로써 뼈의 미세구조 평가를 위한 새로운 형태학적 지수 개발의 가능성을 탐색하고자 한다.

  • PDF

콘크리트중에서의 철근부식형태에 따른 부식철근의 역학적 특성에 관한 연구 (An Evaluation on the Mechanical Performance of a Corroded Rebar as the Corrosion Pattern of Rebar in Concrete)

  • 김형래
    • 한국콘크리트학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국콘크리트학회 2008년도 추계 학술발표회 제20권2호
    • /
    • pp.393-396
    • /
    • 2008
  • 콘크리트 중의 철근은 시간경과에 따라 콘크리트의 중성화 및 염해 등에 의해 부식이 진전된다. 이러한 철근부식은 콘크리트의 품질편차, 균열발생 등의 영향으로 동일한 부재에서도 부위에 따라 그 정도에 차이가 발생하며, 균일하게 부식이 진전되지 않는다. 따라서, 콘크리트중의 철근이 부식된 부재에 대하여 역학적 특성을 평가함에 있어서 공식이나 국부부식 등을 고려하지 않고 평균부식률에 의해 평가를 하는 것은 철근이 부식된 실제 철근콘크리트 구조체의 내력저하를 평가하는 데에 있어서 한계가 있을 수밖에 없다.한편, 철근이 부식된 철근콘크리트 구조체의 내력저하를 유한요소법 등에 의해 해석적으로 평가하기 위해서는 부식철근의 역학적 성능에 대한 모델화가 필수적이며, 이를 위해서는 콘크리트중에서의 철근의 부식을 상정한 부식패턴에 대해 정량화하고 이를 역학적 성능과의 관계로서 수식화하는 것이 필요하다. 이에 본 연구에서는 콘크리트내부의 철근부식에 따른 부식형태의 정량화 및 부식철근의 역학적 성능평가를 목적으로 하며, 이를 위해 다양한 패턴의 부식형상을 상정한 철근부식실험을 수행하고 표면형상분석장치에 의해 부식형태를 정량화하였으며, 역학적특성에 대한 평가를 통해 부식정도와 역학적 성능의 관계를 정식화하였다.

  • PDF

3D 게임엔진을 위한 역학 시뮬레이터 및 개발도구의 설계 (Design of Mechanics Simulator and Software Development Kit for 3D Game Engine)

  • 김성찬;황요한;김동균;신동규;신동일
    • 한국정보과학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국정보과학회 2002년도 봄 학술발표논문집 Vol.29 No.1 (B)
    • /
    • pp.520-522
    • /
    • 2002
  • 본 논문에서는 3차원 게임 엔진에서 역학엔진의 개발을 지원하는 역학 시뮬레이터 및 개발도구에 대해 설계하였다. 3차원 게임 엔진을 개발하는 과정에서 역학 현상을 실시간으로 테스트하여 동적이며 인터렉티브한 게임 효과와 사용자가 역학 시뮬레이터를 통해 실시간으로 테스트한 환경을 개발도구에서 적합한 API를 생성하여 라이브러리형태로 제공함으로써 개발기간의 단축 및 개발 공정에 관련된 프로세스 처리론 효율적으로 할 수 있도록 하였다.

  • PDF

젖은 곱슬머리를 표현하기 위한 컬 기반의 효율적인 제약 모델 (Curl-based efficient constraint model for wet curly hair)

  • 안장훈;김종현
    • 한국컴퓨터정보학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국컴퓨터정보학회 2022년도 제66차 하계학술대회논문집 30권2호
    • /
    • pp.567-568
    • /
    • 2022
  • 헤어 시뮬레이션은 수많은 가닥으로 구성되어 있으며, 헤어 동역학을 기반으로 계산되기 때문에 일반적으로 계산양이 큰 범주에 속한다. 뿐만 아니라 곱슬머리 형태를 유지하려는 제약은 더 큰 계산을 요구하며, 본 논문에서는 수분에 의해 곱슬머리가 젖었을 때 표현되는 구부러짐과 수축을 모델링 할 수 있는 새로운 알고리즘을 제시한다. 이전 연구에서는 곱슬머리에 대한 헤어 시뮬레이션은 곱슬머리의 회전(Curl)형태를 유지하려는 알고리즘을 제안했지만, 강한 외력에 의한 회전형태만을 유지하려고 했으며, 수분이나 열에 의한 곱슬머리의 상태변화는 고려하지 못했다. 따라서 본 논문에서는 IIR(Infinite impulse response) 필터로 스무딩된 헤어 커브를 따라 회전의 수직 성분을 추출하여 회전의 세로방향 신축성을 제어할 수 있는 방법을 제안한다. 우리의 헤어 모델은 곱슬머리의 회전과 신축성을 제어하기 위해 스프링 동역학을 사용하며, 젖은 헤어의 부분적인 상태 변화에도 안정적으로 표현할 수 있음을 보여준다.

  • PDF

접촉역학과 그 응용

  • 최동훈
    • 기계저널
    • /
    • 제28권6호
    • /
    • pp.556-562
    • /
    • 1988
  • 기계나 구조물의 수명을 결정하는 마멸은 물체간의 접촉으로 인한 것이고 마멸을 줄이기 위해 윤활이 발달되어 왔다. 여러 형태의 마멸을 해석하기 위해서 접촉역학의 이해는 필수적이라 할 수 있다. 하중과 운동 조건에 의한 다양한 접촉문제를 일반적으로 다루기 위해 접촉면을 중심 으로 한 접근 방법을 소개하였으며, 접촉문제의 특이성을 보이기 위해 마찰접촉문제 해석을 위한 한기법을 간단히 기술하였다. 고속 볼 베어링의 특성 해석과 접촉형상 최적설계를 통하여 광 범위한 접촉 역학의 적용의 일부를 소개하였다.

  • PDF

기계역학의 역사

  • 양보석
    • 기계저널
    • /
    • 제31권6호
    • /
    • pp.551-558
    • /
    • 1991
  • 기계역학은 자연과학에 속하는 역학을 아버지로, 기계와 이를 탄생시킨 실제적기술(technical arts)을 어머니로 하는 두 가지의 계보를 갖는다. 극히 최근까지 과학과 기술은 전혀 별개로, 다른 계층에 의해 담당되어 왔다. 약 100수십년 전까지는 과학은 기술에 힘입은 부분이 많았다. 이들이 합쳐진 것은 겨우 19세기 초, 그리고 기계역학이 학문으로서 형태를 갖춘 것은 19세기 후반부 터이다. 동역학을 포함한 기계역학의 형성과 발전의 흐름은 시대적으로 다음의 3단계로 크게 분류된다. (1) 제1기 : 자연학의 시대(~5세기) (2) 제2기 : 역학=자연철학의 시대(16~18세기) 역학의 탄생(16세기)$\rightarrow$역학원리의 형성 (17세기)$\rightarrow$역학원리의 전개와 완성(18세기) (3) 기계역학=공학의 시대(19세기~) 공학의 탄생 (19세기 전반)$\rightarrow$체계화의 시대(19세기후반)$\rightarrow$ 방법의 시대(20세기)

  • PDF

다중 와류 유동을 이용한 자기유체역학 (MHD) 마이크로 믹서 (Magnetohydrodynamic (MHD) Micromixer Using Multi-Vortical Flow)

  • 양원석;김동성
    • 대한기계학회논문집B
    • /
    • 제34권1호
    • /
    • pp.53-59
    • /
    • 2010
  • 본 논문에서는, 자기유체역학(MHD)을 기반으로 마이크로 채널 내부에 다중 와류 유동을 발생시키는 새로운 형태의 카오스 마이크로 믹서를 제안한다. 제안된 마이크로 믹서의 마이크로 채널 내부에는 양측면과 바닥면에 전극들이 배치되어 있다. 배치된 전극들에 인가되는 전압 조건에 따라 다양한 형태로 로렌츠 힘이 유도되며, 이렇게 유도된 로렌츠 힘은 마이크로 채널 내부 유체의 추진 및 혼합을 야기할 수 있다. 제안된 MHD 마이크로 믹서의 혼합 양상을 평가하기 위해 3 차원 전산유체역학 시뮬레이션을 수행하였다. 이를 통해 다양한 유동 조건에 대해 MHD 마이크로 믹서의 혼합 성능을 평가하였다.