• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.303-303
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• 2013

표면에 부착된 나노/마이크로 입자는 다양한 분야에서 오염물질로 작용한다. 특히 형상이 미세하고 공정 단계가 복잡한 반도체 및 디스플레이 등의 전자 소자 공정에서 미치는 영향이 크다. 따라서 입자상 오염물질의 제거에 관하여 상용화된 습식 세정 방법이 다양하게 존재하지만 표면 손상, 화학 반응, 부산물, 세정 효율 등 여러 가지 문제점이 있어 새로운 세정 방법이 요구된다. 이에 건식 세정 방법, 그 중에서도 입자의 충돌을 통해 제거하는 방법인 에어로졸 세정, 필렛 세정 등이 개발되었으나 마이크로 크기로 생성되는 입자로 인하여 형상의 손상이 크다. 따라서 본 연구에서는 나노 단위로 기체/고체 혼합물만 생성하여 세정하는 가스 클러스터 세정 방법을 이용하여 이러한 문제점을 해결하고자 하였다. 클러스터 세정 장비를 이용한 표면 처리는 충돌에 의한 제거에 기반한다. 따라서 생성 및 가속되는 클러스터로부터 대상으로 전달되는 운동량의 정도가 세정 특성에 영향을 미치며 이는 생성되는 클러스터의 크기에 종속적이다. 생성 클러스터의 크기 분포는 분사 거리, 유량, 분사 각도, 노즐 냉각 온도 등의 변수에 관한 함수이다. 따라서 본 연구에서는 $CO_2$ 클러스터를 이용한 세정 특성을 정의 및 제어하기 위하여 생성되는 클러스터 특성에 관하여 이론적, 수치 해석적, 실험적 연구를 수행하였다. 먼저, $CO_2$의 물리적 특성 및 이를 이용한 특정 크기 오염 물질을 제거하는데 요구되는 임계 클러스터 크기 계산을 이론적으로 구하였다. 이는 오염물질의 부착력과 클러스터의 운동량 전달에 의한 제거력의 비교를 통해 이루어졌다. 두 번째로 클러스터 크기분포를 수치 해석적으로 예측하기 위하여 각 조건에 대하여 유동해석을 수행하고 이를 통해 구해진 노즐 내 기체의 냉각 속도를 GDE (General Dynamic Equation) 계산에 대입하여 구하였다. 마지막으로 PBMS(Particle Beam Mass Spectrometer)를 이용하여 실험적으로 클러스터 크기분포를 각 조건에 대하여 구할 수 있었다. 또한 크기 분포 경향에 대한 간접적 확인을 위하여 포토레지스트가 코팅된 웨이퍼에 클러스터의 충격으로 생성된 크레이터 크기의 경향을 분석하였다. 이와 같은 방법에 의하여 생성되는 클러스터는 노즐의 유량 증가, 온도 상승에 각각 비례하여 작아지는 것을 확인할 수 있었다.

• Journal of the Korean Geosynthetics Society
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• v.7 no.3
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• pp.9-16
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• 2008

This paper is concerned with the numerical evaluation of the failure behavior of reinforced soil walls based on the elasto-plastic theory. At first, the basic analysis on the failure behavior of reinforced soil walls are discussed. Parametric study of the major factors influencing the failure behavior is conducted by FEM. The objectives are to identify and evaluate the major facts influencing the failure mode of reinforced soil walls. The results of the parametric study on the failure behavior due to soil friction angle, reinforcement type, and reinforecement length are analysed.

• Proceedings of the Korean Association of Geographic Inforamtion Studies Conference
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• 2003.04a
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• pp.523-528
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• 2003

본 연구는 지가의 공간분포 분석(spatial data analysis)을 통하여 합리적인 표준지 선정 방안을 제시하고자 하였다. 우리나라의 경우 개별 공시지가는 표준지 공시지가로부터 비교해서 산정된다. 때문에, 표준지는 개별지의 지가를 산정하는데 편리할 수 있도록 선정되어야 한다. 이를 위하여 표준지를 선정할 때, 개별지의 지가와 토지특성을 고려하여 표준지의 수와 공간적 분포를 결정하여야 한다. 본 연구에서는 지가의 공간적 분포를 해석하기 위하여 군집분석(cluster analysis) 개념을 활용하였다. 이를 통하여 유사 지가구획을 정의하였고, 지가구획의 계층적 해석을 시도하였다. 또한, 군집분석을 반복적으로 수행하고 군집수의 변화에 따른 군집별 지가분포의 특성을 해석함으로써 적정표준지 수를 추정하였다.

• Geotechnical Engineering
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• v.3 no.3
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• pp.63-74
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• 1987

A practical constitutive equation with sufficient generality is proposed for porous materials to deal with plastic pore compaction and pore related strain-hardening. With an application of this proposed model, finite element calculations are executed for the compaction of a porous material. Results show powerful potential of finite element method in a quantitative investigation of the process of the compaction. Special attention is given to the process of unloading during which the development of tensile principal stress may lead to phenomena such as lamination and end-capping.

• (The)Study of the Eastern Classic
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• no.37
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• pp.249-278
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• 2009

Zhu-zi(朱子) represented the study of The Book of Odes in Song dynasty and Dai-zhen(戴震) was The Book of Odes researcher representing Wan-pai(a kind of party) in Qing dynasty. Especially Dai-zhen took critical position of Zhu-xi. Comparing Zhu-zi with Dai-zhen in the aspect of The Book of Odes interpretation, this thesis intends to review the difference and the reason of both interpretations. Especially this thesis compares Zhu-zi's interpretation with Dai-zhen's about thirty poems Zhu-zi considered filthy poetry, investigating the differences of their interpretation. Regarding the poetry Zhu-zi considered filthy as refined satire, Dai-zhen had a negative position about Zhu-zi's theory of filthy poetry. As Zhu-zi interpreted the poetry in the first person on the literary view in the time when he interpreted the lyrics in the Feng-shi, he regarded the purpose and the usefulness of poetry as feeling of words. But as Dai-zhen interpreted the poetry in the third person under a Confucian classic view, he regarded the purpose and the usefulness of poetry as refined satire. In brief, that is to say that Zhu-zi made literary interpretations of feeling of words but Dai-zhen made Confucian classic interpretations of 'Si-wu-xie'(思無邪). These two men's differences about interpretation of The Book of Odes have much importance on the historical aspects of The Book of Odes. So to speak, Dai-zhen had bibliographical approach and described the meaning of poetry objectively, following Mao-shi(毛詩) theory about the interpretation of meaning of poetry, criticizing Zhu-zi's literarary view. Dai-zhen's interpretation of The Book of Odes mentioned Above was made from long vital power of Mao-shi theory and a Confucian classic method. Considering the historical stream of Zhu-zi and Dai-zhen's interpreting The Book of Odes, The Book of Odes will be interpreted and analyzed from the various views in the future.

• International Journal of Highway Engineering
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• v.5 no.4 s.18
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• pp.13-22
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• 2003

Several design methods from overseas are employed without considering different conditions such as material properties, climate, and traffic condition in this country. Therefore, there are limitations in application. Therefore, new pavement analysis system which is able to design a pavement efficiently and economically should be set up. In this study, 243 probable sections are classified depending on values of layer thickness and elastic modulus, and the effect of load types for the probable sections are analyzed. The section showing larger load distribution is chosen for analysis. As a result of sensitivity, a layer thickness has more influence on pavement than an elastic modulus does. The stress distribution of FWD test load is larger than that of circular load. This study compares outputs between nonlinear elastic model and linear elastic model. Based on the result, this study finds nonlinear elastic model considering stress condition in the ground is recommended for subbase.

• Journal of the Computational Structural Engineering Institute of Korea
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• v.15 no.3
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• pp.441-451
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• 2002

Recently, Increasing residential-commercial buildings are composed of upper wall and lower frame type. As structural fragility, a large numbers of researchers have tried to develope the efficient analysis methods. But these studies were too theoretical and were not considered the lateral load which was required in analysing the transfer level in addition to being used nonlinear program which was difficult to use for practical design. thus, results of these studies we not appropriate to apply practical design, therefore, in this paper, the procedure of the current design practice were compared with that of used FEM method and presented new modeling method. in particular, an efficient analytical model which can be used in practical design of residential-commercial buildings for vortical and seismic loads was proposed and the usefulness of proposed model was verified.

• Journal of Korean Society of Steel Construction
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• v.16 no.4 s.71
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• pp.407-414
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• 2004

Bridges in common use are expected to have more varieties of load in their connected members and bolts than in construction. Faults in connection members or bolts occur so often according to the time flow. One of the purposes of this study is to find out the behavior and structural features of high-tension bolted joints with faults that are very difficult and cost much to find out through experimentation with finite element analysis. Another purpose of this study is to provide sufficient data, estimated experimental results, and the scheme of the test plate for an economical experimental study in the future. Surveys of bridges with a variety of faults and statistical classifications of their faults were performed, as was a finite element analysis of the internal stress and the sliding behavior of standard and defective bridge models. The finite element analysis of the internal stress was performed according to the interval of the bolt, the thickness of the plate, the distance of the edge, the diameter of the bolt, and the expansion of the construction. Furthermore, the analysis explained the sliding behavior of high-tension bolt joints and showed the geometric non-linear against the large deformation, and the boundary non-linear against the non-linear in the contact surface, including the material non-linear, to best explain the exceeding of the yield stress by sliding. A normally bolted high-tension bolt joint and deduction of bolt tension were also analyzed with the finite element analysis of bridge-sliding behavior.

• Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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• 1993.04a
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• pp.40-45
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• 1993

일반적으로 건물 구조물에 전달되는 기계진동을 감소시키기 위해서 기계와 기초사이에 유연한 방진소자를 삽입하여 기계가진력(exciting force)의 전달 률을 줄인다. 또한 구조물의 고유진동수와 진동원의 가진주파수가 일치할 경 우, 가진주파수를 변화시키거나, 구조물의 동특성을 변화시키는 방법을 사용 한다. 어떠한 방안을 선택하든 효과적이고 정량적인 방진 시스템을 구성하고 구조물의 정확한 진동상태를 예측하기 위해서는 진동원의 가진특성과 구조 물의 동특성에 대한 정보가 요구된다. 일반적으로 방진설계를 위해 필요한 진동원의 가진특성은 제조회사의 사양이나 측정을 통하여 비교적 쉽게 얻을 수 있다. 복합재료, 다양한 경계조건, 복잡한 대형구조물등은 수치해석을 이 용하여 해석적인 방법으로 동특성을 구할 경우, 신뢰성 있는 정보를 얻기에 는 많은 노력이 요구된다. 더우기 현장에서 발생하는 진동문제는 대부분 복 잡하고 시간적으로 시급히 해결해야 하기 때문에 효율적인 절차를 구성하여 구조물의 동특성을 해석하는 방법을 사용할 필요가 있다. 구조물의 동특성은 실험적인 방법을 통하여 구하고 그 외의 필요한 계산들은 해석을 통하여 얻 는 것이 효율적일 수 있다. 실험적 동특성해석은 입력하중에 대한 응답의 크 기와 위상 비를 주파수별로 나타내는 전달함수를 측정하는 방법으로서 가진 장치 및 여러 측정/분석 장비가 필요하며, 철교, 교량, 건물의 철골 및 콘크 리트 슬라브등 다양한 중대형의 구조물을 Signal/Noise비가 좋도록 가진 시 켜야 할 필요성이 있다. 본 연구에서는 이러한 실험적 방법의 현장 적응성과 신뢰성을 확보하기 위해 대형충격기(large impact hammer, max, peak force 약 10000N, time duration 약 20ms)를 제작하고 실험/분석 시스템 및 구조물 의 진동제어를 위한 절차를 Fig.1과 같이 구성하고 이를 철근콘크리트 건물 에 설치한 기계식 주차설비의 진동제어에 적용하였다.force response simulation)를 수행하여 임의의 좌표 공간에 대한 진동수준을 해석적으로 예측할 뿐만 아니라 구조물의 진동제어 를 위한 동적인자를 변경시킬 수 있는 정보를 제공하며 장비를 방진할 경우 신뢰성 있는 전달률을 결정할 수 있다. 실험적으로 철교, 교량이나 건물의 철골구조 및 2층 바닥 등 대,중형의 복잡한 구조물에 대항 동특성을 나타내 는 모빌리티를 결정할 경우 충격 가진 실험이 사용되는 실험장비 측면에서 나 실험을 수행하는 과정이 대체적으로 간편하다. 그러나 이 경우 대상 구조 물을 충분히 가진시킬수 있는 용량의 대형 충격기(large impact hammer)가 필요하게 된다. 이러한 동적실험은 약 길이 61m, 폭 16m의 4경간 교량에 대 하여 동적실험을 수행하여 가능성을 확인하였다. 여기서는 실험실 수준의 평 판모델을 제작하고 실제 현장에서 이루어질 수 있는 진동제어 구조물에 대 한 동적실험 및 FRS를 수행하는 과정과 동일하게 따름으로써 실제 발생할 수 있는 오차나 error를 실험실내의 차원에서 파악하여 진동원을 있는 구조 물에 대한 진동제어기술을 보유하고자 한다. 이용한 해마의 부피측정은 해마경화증 환자의 진단에 있어 육안적인 MR 진단이 어려운 제한된 경우에만 실제적 도움을 줄 수 있는 보조적인 방법으로 생각된다.ofile whereas relaxivity at high field is not affected by τS. On the other hand, the change in τV does not affect low field profile but strongly in fluences on both inflection fie이 and the maximum relaxivity value. The results shows a fluences on both inflection field and the maximum relaxivity value. The results shows

• Journal of the Earthquake Engineering Society of Korea
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• v.3 no.3
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• pp.21-32
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• 1999

A ground motion resulting from the destructive earthquakes can subject reinforced concrete members to very large forces. The reinforced concrete shear walls are designed as earthquake-resistant members of building structure in order to prevent severe damage due to the ground motions. The current research activities on seismic behavior of reinforced concrete member under ground motions have been limited to the shaking table test or equivalent static cyclic test and the obtained results have been summarized and proposed for the seismic design retrofit of structural columns or shear walls. The present study predicted the seismic response and failure behavior of reinforced concrete shear wall subjected to base acceleration using the finite element method. A decrease in strength and stiffness, yielding of reinforcing bar, and repetition of crack closing and opening due to seismic load with cyclic nature are accompanied by the crack which is necessarily expected to take place in concrete member. In this study the nonlinear material models for concrete and reinforcing bar based on biaxial stress field and algorithm of dynamic analysis were combined to construct the analytical program using the finite element method. The analytical seismic response and failure behaviors of reinforced concrete shear wall subjected to several base accelerations were compared with reliable experimental result.