Study on the Effects of Corrosion Inhibitor According to the Functional Groups for Cu Chemical Mechanical Polishing in Neutral Environment (중성 영역 구리 화학적 기계적 평탄화 공정에서의 작용기에 따른 부식방지제의 영향성 연구)
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- Korean Chemical Engineering Research
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- v.53 no.4
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- pp.517-523
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- 2015