• Title/Summary/Keyword: 한국전력전자연구조합

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Plasma Processing Supervision Using CUSUM Control Chart (CUSUM 제어차트를 이용한 플라즈마 공정감시)

  • Kim, Woo-Suk;Kim, Byung-Whan
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2007.11a
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    • pp.460-461
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    • 2007
  • 본 연구에서는 반도체 플라즈마 장비 감시를 위한 CUSUM 제어 차트 설계기법에 관해 연구하였다. CUSUM 제어차트에 관여하는 설계변수의 다양한 조합에 대하여 플라즈마 장비의 감시 성능을 평가하였다. 평가를 위해 RF 정합망 감시시스템을 이용하여 플라즈마 임피던스 정합에 관여하는 정합변수에 대한 실시간 데이터를 수집하였으며, 여기에는 임피던스와 상위치에 대한 전기적 정보, 그리고 반사전력에 대한 정보가 포함된다. 평가결과, 설계변수의 조합에 대하여 감시 성능이 크게 달랐지만, 각 센서 정보의 감시 성능을 증진시키는 설계변수의 조합이 있었음을 확인하였으며, 이는 각 종 다양한 센서정보별 CUSUM 제어 차트의 설계가 필요함을 의미한다. 연구에서는 Raw 데이터 대비 성능 분석을 위해 CUSUM 제어 차트의 설계변수를 변수인 d와 ${\Theta}$값의 변화를 주어 다수의 (d, ${\Theta}$)의 조합에 따른 감시 성능을 평가하였으며, 평가에 이용된 데이터는 소스전력이 750 W, 압력이 15 mTorr, Ar 유량이 50 seem일 때 수집하였다.

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다중 Mult-hole 전극을 이용한 RF Capcitively Coupled Plasma에서의 위치 별 밀도 제어에 관한 연구

  • Lee, Heon-Su;Lee, Yun-Seong;Jang, Hong-Yeong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.02a
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    • pp.176-176
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    • 2012
  • 다수 홀 전극을 이용한 RF Capcitively Coupled Plasma는, 평판 전극을 이용할 때에 비해, 전자 밀도를 향상시키는 것으로 알려져 있다. 이와 같은 전자 밀도의 증가는 일반적으로 공정의 속도를 증가시키며, 박막 태양전지의 Microcrystalline Silicon 증착 공정등 공정의 속도가 중요시되는 공정에서는 공정속도를 향상 시키는 것이 중요한 공정의 요구사항으로, 이와 같은 방법으로 전자 밀도를 향상시켜 공정의 속도를 향상시키는 연구가 진행되어 왔다. 그러나 공정에 사용하는 RF 전력의 파장의 유한성으로 인해, 공정의 면적을 증가시킬 경우, 방전의 균일도가 하락하게 되며 넓은 면적에 일정한 공정이 이루어지지 않게 되어 공정의 품질이 하락하게 된다. 이러한 문제에 대한 해결책의 하나로 본 발표에서는 다중 Multi-hole 전극을 이용한 방전을 제시하고자 한다. 다중 Multi-hole 전극은, 복수의 구획으로 나뉘어진 다수의 홀이 있는 전극으로 각각의 구획은 분리되어, 각 구획 별로 서로 다른 복수의 홀이 10 mm 깊이로 뚫린 전극 구획으로 나누어지며, 각 구획을 결합하여 하나의 전극을 이루도록 한 전극이며 이를 이용하여 위치 별 플라즈마 밀도를 제어하고자 하는 목적으로 설계되어진 전극 구조이다. 본 학회에서 발표하는 실험에서는 가장 단순한 형태인, 두 개의 구획으로 나뉘어진 전극을 이용하여 내부와 외부에, 평 전극 구획 혹은 5 mm 지름의 다수 홀이 존재하는 전극 구획을 조합하여 다양한 전극 구조를 만들었으며 이를 통해, 다중 Multi-hole 전극을 이용하는 위치 별 플라즈마 밀도의 제어 방법의 가능성을 확인하고자 하였다. 위치 별 플라즈마 밀도의 측정을 위해, 전극에 대해 수평하게 이동하는 RF compensated Single Langmuir Probe를 이용하여, 전자 밀도를 측정하였으며 50 mTorr의 낮은 압력 범위 및 500 mTorr의 높은 압력 범위에서 위치 별 플라즈마 밀도를 측정하여, 압력에 따라 달라지는 홀 방전의 특성을 이용하고자 하였다.

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Analysis of Switching Surge Over-voltage in AC/DC Hybrid Transmission Lines (AC/DC 병가선로의 개폐서지 과전압 해석)

  • Yoo, Seong-Soo;Shin, Koo-Yong;Moon, Chae-Joo
    • The Journal of the Korea institute of electronic communication sciences
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    • v.17 no.3
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    • pp.459-466
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    • 2022
  • Switching surges are a common type of phenomenon that occur on any sort of power system network. These are more pronounced on long transmission lines and in high voltage converter stations. At AC/DC hybrid transmission lines, the insulation coordination of such lines is mainly dictated by the peak level of switching surges, the most dangerous of which include three phase line energization and AC/DC converter station. The power system structure consist of AC/DC hybrid transmission lines which is combination of AC 765kV and ±500kV HVDC 1 bipole system for contingency analysis. The power system under study and its components are simulated using EMTDC software package, the effects of the various AC/DC mixing power lines are reviewed. The developed models of EMTDC conversion lines based on combination of AC/DC system are simulated and the characteristics of switching surge over-voltage from its results are discussed.

A Study of Economic Efficiency and Environmental Performance Due to the Conversion of the 7th and 8th Basic Plan for Long-term Power Supply and Demand (제7차 및 제8차 전력수급기본계획 전원 구성 전환에 따른 경제성 및 환경성 변화 분석 연구)

  • Cho, Sungjin;Yoon, Teayeon;Kim, Yoon Kyung
    • Environmental and Resource Economics Review
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    • v.28 no.2
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    • pp.201-229
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    • 2019
  • This paper estimates the effects of generation mix changes in the $7^{th}$ and $8^{th}$ Basic Plan for Long-term Power Supply and Demand from two aspects: economic efficiency through electricity prices and environmental performance through $CO_2$ and air pollutants(NOx, SOx, PM) emissions. Particularly, we examined additional generation mix conversion paths that take into account the trade-off between economic efficiency and environmental performance through scenario analysis. According to our results, the conversion from the $7^{th}$ plan to the $8^{th}$ plan should increase the electricity prices in the mid- and long-term, while reducing GHG and air pollutants emissions at the same time. The alternative generation mix that combines $7^{th}$ and $8^{th}$ plans shows that there exists a path to mitigate the trade-off between economic and environmental in the long-term. It will be next to impossible to derive a optimal generation mix that simultaneously considers the core values, such as supply stability, environmental performance, economic efficiency, energy safety and energy security, when establishing the power supply and demand plan. However, by exploring the effects of various generation mix paths and suggesting near-optimal paths, people can best choose their direction after weighhing all the paths when deciding on a forward-looking generation mix in the long term.

A Study on the Dataset Structure of Digital Twin for Disaster and Safety Management (재난안전관리를 위한 디지털 트윈 데이터셋 구조 연구)

  • Ki-Sook Chung;Woo-Sug Jung
    • The Journal of the Institute of Internet, Broadcasting and Communication
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    • v.23 no.5
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    • pp.89-95
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    • 2023
  • The underground utility tunnel is an urban infrastructure that accommodates and manages important facilities such as water and sewage, electricity, and communication in the city, and is a national facility that needs to be protected from disasters such as fire, earthquake, and flooding. In establishing a disaster safety life cycle management system such as prediction, prevention, preparedness, response, and recovery, a disaster safety management platform for underground utility tunnel is being developed by utilizing digital twin technology in which advanced ICT technology and data are converged. In this paper, the maturity model for the disaster safety digital twin was reviewed, and the datasets necessary for implementing the digital twin at each stage were defined.

Study on the Low-Power Carrier Recovery for Digital Satellite Broadcasting Demodulator (DSBD를 위한 저전력 반송파 복원에 관한 연구)

  • Park, Hyoung-Keun;Lee, Seung-Dae
    • Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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    • v.11 no.4
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    • pp.773-778
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    • 2007
  • In order to resolve problems with the phase error in QPSK demodulator of the digital satellite broadcasting systems, the demodulator requires carrier recovery loop which searches for the frequency and phase of the carrier. In this paper the complexity of implementation is reduced by the reduction into half of the number of the multiplier in Inter structure of the conventional carrier recovery loop, and as the drawback of NCO of the conventional carrier recovery loop wastes a amount of power for the structure of lookup table, We designed the structure of combinational logic without the lookup table. In the comparison with dynamic power of the proposed NCO, the power of NCO with the lookup table is $175{\mu}W$, NCO with the proposed structure is $24.65{\mu}W$. As the result, it is recognized that about one eight of loss power is reduced. In the simulation of carrier recovery loop designed QPSK demodulator, it is known that the carrier phase is compensated.

Multi-level Modeling and Simulation for Sustainable Energy (대체 에너지의 다중레벨 모델링과 시뮬레이션)

  • van Duijsen, P.J.;Oh, Yong-Taek
    • The Journal of Korean Institute for Practical Engineering Education
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    • v.3 no.1
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    • pp.15-24
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    • 2011
  • Modeling and simulation for Green Energy depends largely on the type of system under investigation. The topics are very wide ranging from semiconductor physics (solar), electrical motor/generator (wind turbines), power electronics (grid connections) to typical control strategies. To correctly model these technologies requires a broad set of models and various simulation techniques. To further refine or detail the simulation the modeling has to be performed on a specific level, being system, circuit or component level. Combinations of several levels allows gradually improving the validity of the overall model against available parameters and model equations.

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하계 전기, 전자연합학술회의 및 산학협동 심포지엄 초록

  • 대한전기학회
    • 전기의세계
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    • v.27 no.5
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    • pp.33-54
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    • 1978
  • (차례) 1.산학협동심포지업 (1)우리나라에서의 연구개발과 산학협동 (2)산학협동과 산업계의 역할 (3)산학협동의 현황과 진로 2.학술회의A (1)전력게통의 계층구조와 협조원리에 관한 연구 (2)2중층괴상회전자 유도전동기의 이론해석 (3)초고주파가열장치에 사용하는 철공진변압기의 해석적 설계 (4)한국전기기시험연구소 대전력단락 시험설비설계 (5)직류전동기제어를 위한 Thyristor Chopper정류회로에 관한 연구 (6)선로의 개폐정보를 포함하는 전력계통의 상태추정 (7)단일신경세포에 대한 ITEM 신호 특성 3.학술회의B (1)MMM-1 Computer System의 설계 및 제작 (2)Adaptive Delta Modulation System의 성능비교 연구 (3)6GHZ FMD마이크로파 무선전송장치의 개발 (4)적선도에 의한 회로망함수의 결정 (5)동맥혈압의 해석과 그의 전기적 유사모델 (6)피부감각의 정보전달 특성에 관하여 (7)선형직접회로의 공정설계 및 그 특성 조성 (8)DH L.D의 전기적포화현상에 관한 이론적 해석 (9)Potocoupler를 이용한 Isolator 4.학술회의C (1)Al-Al$_{2}$O$_{3}$ -Al박막구조의 전기적 특성 (2)이종금속에 샌드위치된 고분자물질의 단락전조 (3)유전체가 일부체워진 직 6면체의 캐비티의 다중모오드 해석 (4)반도체 가스 검지소자의 제조 및 그의 전기적 특성 (5)실리콘 산화공정에 대한 실험적 고찰 (6)진공증착법에 의한 InSb 박막제도에서 열처리효과 (7)(Ba$_{1}$-xBix) Tio$_{3}$ PTC thermistor의 첨가량의 최적건안 (8)금속박막증착시 두께조절 5.특별강연회 (1)일본에 있어서의 절력계통공학연구 (2)Linear Motor의 최근개발동향량도 높았다. valine과 leucine 및 aspartic acid, glycine과 glutamic acid, leucine과 aspartic acid 간에는 고도의 정상관, glycine과 serine, valine과 phenylalanine, threonine과 proline, phenylalanine과 arginine, methionine과 glutamic acid, histidine과 lysine 간에는 유의 정상관, 그리고 isoleucine과 lysine 간에는 유의한 부상관이 있었다. 4. lysine 함량은 단백질 함량과 정산곤, isoleucine 함량은 단빅질 함량과 부상관을 보였으며, alanine, valine, leucine 함량은 지방함량과 각각 유의한 정산관을 보였다. 5. 대두 단백질은 7.5% acrylamide gel 전기영동에 의해 품종에 따라 12~16개의 구성분으로 분리되었으며, 이들중 주구성분들은 상대이동도가 0.06(a), 0.14(b). 0.24(d) 이었고, 구성분 b의 함량이 품종간에 가장 변이가 컸으며, 구성분 b는 그밖의 주요 구성분들의 함량과 부의 상관이 있었고, 구성분 a는 단백질 함량과 정상관이 있었다. 6. 종실단백질 구성분들의 조합 특성 면에서 공시 86품종은 11개 유형군으로 분류되었으며, 우리나라와 일본품종은 미국품종에 비해 단백질구성분 조성이 훨씬 다양하였다. 7. 이동도가 매우 빠른 단백질 구성분 o(Rm 0.77) p(Rm 0.81)를 모두 갖고 있는 품종은 3품종, 모두 갖고 있지 않은 품종은 1품종이었고, 나머지 82품종은 o나 p중 한 구성분을 갖고 있었으며 그 분포율은 30 : 65 이었는데 미국계 품종은 우리나라 품종에 비해 구성분 o를 간고 있는 비율이 현저히 적었다. 8. 대두 종실은 개화후 22일까지 완만히, 그 이후 20~30일간 급속히

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Development of Jelly-Type Simulating Polymer Based Human Tissue for Research on Hyperthermia by High Frequency Magnetic Field (고주파 자계 온열요법 연구를 위한 젤리형의 고분자계 모의인체)

  • Kim, Oh-Young;Choi, Chang-Young;Ma, Sung-Jae;Lim, Sang-Mung;Seo, Ki-Taek
    • Polymer(Korea)
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    • v.30 no.6
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    • pp.572-575
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    • 2006
  • In this work, a variety of polymer based jelly phantoms suitable for the hyperthermia operations to human organs was synthesized in order to confirm the possibility of auxiliary cancer therapy. Specifically, using an appropriate material composition including polyethylene, Jelly phantoms for brain was prepared and characterized their electrical properties suitable for the monitoring the effect of electromagnetic wave from code division multiple access (CDMA) and personal communication service (PCS) on the human body. In the future, after injection of ferromagnetic nanoparticle into the jelly phantoms, new approach to propose the cancer therapy can be anticipated by monitoring the degree of temperature rise in human body using the photograph of Infrared camera.