• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.261-261
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• 2010

본 연구에서는 PBMS (Particle Beam Mass Spectrometer)와 ISPM (In-Situ Particle Monitor)을 연계하여 BPSG (Borophosphosilicate Glass) 및 PSG (Phosphosilicate Glass) 박막 증착을 위한 CVD (chemical vapor deposition) 공정 중 발생하는 오염입자 발생특성에 대해 비교 평가하였다. 소스는 TEB (Triethylborate), TEPO (Triethylphosphate) 및 TEOS (Tetraethoxysilane)를 사용하였고, 운반가스 및 반응가스로 He과 $O_2$ 및 $O_3$를 사용하였다. 증착온도와 압력은 각각 $450^{\circ}C$, 200 Torr 이었다. 반응기의 배기라인에 PBMS와 ISPM을 설치하고 500 nm 이하의 입자에 대해 공정단계별 시간에 따른 모니터링 결과 전 공정에 걸쳐 동일한 패턴의 입자발생분포를 보였으며, 특히 PBMS의 경우 ISPM의 입자측정한계인 260 nm 이하의 입자크기도 측정할 수 있었다. 입자발생이 안정적으로 일어나는 증착공정 중 PBMS를 통하여 입자크기를 측정한 결과 BPSG의 경우 약 110 nm, PSG의 경우 약 80 nm의 분포를 나타내었다. 이를 통해 TEB 소스가 배제된 PSG의 경우 BPSG의 경우보다 입자의 성장이 지체됨을 확인하였다. 측정에 대한 신뢰성을 확보하기 위해 PBMS 내의 TEM (Transmission Electron Microscopy) grid를 이용하여 입자를 샘플링 하였고, TEM 분석을 실시한 결과 PBMS 측정결과와 잘 일치하였다. 또한 EDS (Energy Dispersive Spectroscopy) 분석을 통하여 입자성분에 대해 검증하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.286-286
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• 2010

최근에 환경 오염과 화석 에너지의 고갈 문제를 해결하기 위하여 태양광을 전기 에너지로 변환하는 태양전지 연구에서 가장 이슈가 되는 부분은 저가격화와 고효율이다. 상용화 되어 있는 대부분의 태양전지는 단결정 실리콘 웨이퍼와 다결정 실리콘 웨이퍼를 사용한다. 실리콘 웨이퍼의 원자재 가격을 낮추는 방법에는 한계가 있기 때문에 태양전지 제작 공정에서 공정 단가를 낮추는 방법이 많이 연구되고 있고, 실리콘 웨이퍼가 가지는 재료의 특성상 화합물을 이용한 태양전지 보다 낮은 효율을 가질 수밖에 없기 때문에 반도체 소자 공정을 응용하여 실리콘 웨이퍼 기판에서 고효율을 얻는 방법으로 연구가 진행 되고 있다. 본 연구에서는 마이크로 블라스터를 이용하여 태양전지 cell 상부에 AG(anti-glare)를 가지는 유리 기판을 형성하여 낮은 단가로 태양전지 cell의 효율을 향상시키기 위한 연구를 진행 하였다. 태양전지 cell 상부에 AG를 가지는 유리 기판을 형성하게 되면 태양의 위도가 낮아 표면에서 대부분 반사되는 태양광을 태양전지 cell에서 광기전력효과가 일어나게 하여 효율을 향상시킨다. 이때 사용한 micro blaster 공정은 고속의 입자가 재료를 타격할 때 입자의 아래에는 고압축응력이 발생하게 되고, 이 고압 축응력에 의하여 소성변형과 탄성변형이 발생된다. 이러한 변형이 발전되어 재료의 파괴 초기값보다 크게 되면 크랙이 발생되고, 점점 더 발전하게 되면 재료의 제거가 일어나는 단계로 이루어지는 기계적 건식 식각 공정 기술이라 할 수 있다. 먼저 유리 기판에 마이크로 블라스터 장비를 이용하여 AG를 형성한다. AG는 $Al_2O_3$ 파우더의 입자 크기, 분사 압력, 노즐과 기판과의 간격, 반복 횟수, 노즐 이동 속도 등의 공정 조건에 따른 유리 기판 표면에서의 광학적 특성 및 구조적 특성에 관하여 분석하였다. 일반적인 태양전지 cell 제작 공정에 따라 cell을 제작 한후 AG 유리 기판을 상부에 형성시키고 솔라시뮬레이터를 이용하여 효율을 측정하였다. 이때 솔라시뮬레이터의 광원이 고정되어 있기 때문에 태양전지 cell에 기울기를 주어 태양의 위도 변화에 대해 간접적으로 측정하였다. AG 유리 기판이 태양전지 cell 상부에 형성 되었을 때와 없을 때를 각각 비교하여 AG 유리 기판이 형성된 태양전지 cell에서의 효율 향상을 확인하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.08a
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• pp.106.2-106.2
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• 2013

본 논문은 반도체 및 평판 디스플레이 생산공정에서 가동되고 있는 건식 진공펌프들의 정밀 상태진단 및 예지 보수를 위한 pump monitoring system (PMS)의 제품화에 필요한 프로그램의 개발 내용을 소개한다. 본 연구에서 소개하는 건식 진공펌프들의 정밀 상태진단 및 예지보수기법은 PCT 특허 2 건으로 이미 등록된 내용이며, 본 논문은 이들 기법의 실제 구현에서 직면하는 기술적 문제점과 극복 방안을 제시한다. 본 논문에서는 현재 반도체 공정에 사용되고 있는 건식 진공펌프들로부터 측정하는 다중 상태변수들의 조사 결과를 소개한다. 이들 상태변수 측정치들이 갖는 개략적 특성을 통계적 분포함수로 분석한 결과를 우선 보인다. 특히 펌프 구동모터들의 소비 전류신호는 두 평균값에 대한 분포 즉 두 종의 분포함수를, 그리고 온도, purge gas 유량, 배기구 압력 등은 정상적 평균값에 대한 한나의 분포를 보였다. 따라서 구동모터들의 소비전류의 분포 즉 두 상하 수준('low and high' current level)에 따라 batch data를 구분하는 방법의 개발이 필요하였다. 본 연구에서는 step 함수형 eigenvector를 적용하여 소비전류 신호의 상하수준 천이 영역과 방향을 동시에 인식할 수 있는 기법을 개발 적용하였으며, 3300회의 배출가스 부하에 변화에 대한 천이 영역과 방향을 인식에 하나의 실패도 보이지 않음을 확인하였다. 기존의 측정 상태변수에는 회전기계류의 정밀 상태진단 및 예지보수에 핵심적인 기계진동 측정용 진동센서를 포함하고 있지 않은 기술적 문제점이 발견되었다. 기존 진동센서들의 높은 가격 뿐 아니라 진동센서의 출력신호를 저/중/고역 주파수 대역의 실효치로 환산하는 기술적 한계 때문에 진공펌프 상태진단에 아직 사용하고 있지 않고 있다. 본 연구에서는 진동선서 비용의 저감화 방안뿐 아니라 로터 회전 대역(250Hz 이하 저주파 영역), 베어링 진동 대역(250 Hz~2.5 kHz의 중간 주파수 영역), 그리고 기어 진동 대역(2.5 kHz~10 kHz 주파수 영역)별 실효치를 실 시간 측정할 수 있는 진동측정 모듈의 제품화 모델을 개발하였다. 개발 제품의 성능 뿐 아니라 현장 시험결과를 소개한다. 마지막으로 본 연구팀이 개발한 PCT 특허 2 건에 포함된 건식 진공펌프들의 정밀 상태진단 및 예지보수기법에 대한 현장 시험결과를 간략히 소개한다.

• Journal of The Geomorphological Association of Korea
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• v.15 no.2
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• pp.25-35
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• 2008

Typhoon Ewiniar and Bilis followed by heavy rainfall in July 2006 triggered massive slope failures and debris flows along the Osaek valley within Seoraksan National Park. Since national road 44 is constructed along the fault-line, the susceptibility of hazard in the area is very high. Debris flows in Osaekcheon are mobilized from landslides near the ridgelines and peaks when heavy rainfall elevates pore pressure and adds weight to the hillslopes, causing failure. Stream flows falling onto the existing colluvium or channel-margin deposits also trigger debris flows. Steep slopes constructed along the road and thin regolith in the slope is the main reason for the landslide in the upper stream. In middle reaches of stream, under-fit drainage utilities and narrow bridges cause the overflow, this then triggers debris flow. Overflowing and erosion in the channel margin deposits is main reasons for the debris flow. The intensities and frequencies of heavy rainfall are certain to increase, so early warning and management system for the landslide-related hazard is urgently needed.

• Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
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• v.11 no.3
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• pp.20-28
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• 2007

The easiest way to see the phenomena of compressor surge is to show the static and dynamic operation characteristic on the map. Its operation zone will be restricted by the surge limit and, static and transient process must have some margin for it. Effect of rotor moment of inertia, air/gas volumes and heat transfer are factors to cause the transition from the static line. In case a large volume such as heat exchanger exists in the system it will exert a substantial influence to dynamic characteristics. In the present paper, influence of air volume bled from the compressor exit on transient process is investigated with an example of an auxiliary power unit micro-turbine engine. Turbine mass, pressure ratio, rotation speed, power and moment are calculated based on mass and work conservation. Result from the present study can give guidance to design the control system. A computer program is developed to calculate the dynamic process using the MathCAD commercial software.

• Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
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• v.22 no.4
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• pp.36-43
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• 2018

A great deal of difficulty is encountered in the thermo-mechanical analyses of nozzle assemblies for solid propellant rocket motors. The main issue in this paper is the modeling of the boundary conditions and the connections between the various components-gaps, relative movements of the components, contacts, friction, etc. This paper evaluates the complex phenomena of nozzle assemblies during burning time with co-simulations that include fluid, thermal surface reaction/ablation, and structural analysis. The validity of this approach is verified via comparison of analysis results with measured strains.

• Smart Media Journal
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• v.8 no.3
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• pp.95-103
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• 2019

The global manufacturing industry has reached the limit to growth due to a long-term recession, the rise of labor cost and raw material. As a solution to these difficulties, we promote the 4th Industry Revolution based on ICT and sensor technology. Following this trend, this paper proposes the design of a model using manufacturing data in the protection film process for smart manufacturing innovation. In the protective film process, the manufacturing data of temperature, pressure, humidity, and motion and thermal image are acquired by various sensors for the raw material blending, stirring, extrusion, and inspection processes. While the acquired manufacturing data is stored in mass storage, A.I. platform provides time-series image analysis and its visualization.

• PNF and Movement
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• v.12 no.4
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• pp.201-207
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• 2014

Purpose: The purpose of this study was functional leg length inequality effect on COP(Center Of Pressure) and LOS(limits Of Stability) and EMG activation. Methods: The participants were consisted of fourteen. Subjects were distributed 2 groups; control group, leg length inequality ${\leq}3mm$, n=8), experimental group(leg length inequality${\geq}10mm$, n=8). The participants were measured leg length wearing comfortable clothes through tape measure method(TMM). All subjects was measured COP(Center Of Pressure), LOS(limits of stability) using by Balance Trainer BT4(HUR, Finland). Results: The results COP was not exist statistical significant differences(p>0.05). LOS was not exist statistical significant difference(p>0.05). Conclusion: The results was not statistical significant differences COP and LOS depending on Leg Length Inequality. But between experimental group and comparison group was exist mean differences on COP, LOS(COP:Ex.>Com, LOS:Ex.

• (The)Korea Educational Review
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• v.24 no.3
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• pp.1-26
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• 2018

The purpose of the present study is to examine the effects of academic demands and resources into academic burnout and engagement among Korean highschool students, applying Job Demands-Resources Model(JD-R) into academic settings. A structural equational modeling was performed on data that collected from 934 seniors in 8 different highschool on the regular curriculum and investigated the relationships among academic demands, resources, burnout, and engagement. The results suggested that academic demands composed of effort, over-commitment, and teacher pressure had a positive effect both on academic burnout and engagement. On the other hand, academic resources consisted of rewards, peer support, teacher autonomy support, and parental academic support had a negative effect on academic burnout and a positive effect on academic engagement. The current study has its significance on applying JD-R model to academic setting and the further study as well as the limitations were suggested.

• Journal of Korean Tunnelling and Underground Space Association
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• v.23 no.3
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• pp.151-165
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• 2021

Grouting, which is applied for the increase of ground strength and the decrease of permeability, is complex process because of several reasons, so the process needs to be elaborated. Injection process in consideration of ground condition and optimization of grouting sequence is essential. In this study, GIN (Grouting Intensity Number), multiple of injected grout volume and pressure, is revised to consider injection pressure reduction and joint opening during grouting process. A revised GIN process is evaluated through a field test. A revised GIN, considering ground condition, injection pressure, follows GIN envelope and produces rational grouting process. The result of a revised GIN reduces permeability of the ground in the order of 10^-1~10^-2 cm/sec.