• 한국재료학회지
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• 제3권6호
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• pp.593-597
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• 1993

Subhalfmicron ULSI의 컨택홀을 메꾸는 기술로 각광받고있는 전면도포(blanket W)법에서 부착특성고양층(glue layer)인 TiN막에대한 CVD-W의 부착특성을 조사하였다. 부착강도는 텅스텐막의 두께가 증가함에 따라 TiN막내의 응력의 감소로 인해 부착특성이 향상되었다. TiN막표면을 스퍼터 에칭하는 진처리를 실시할 경우 막표면의 불순물 제거, 표면 거칠기 증가등의 효과로 부착특성이 개선되었다. 또한 TiN막표면에 Ar이온 주입에 의한 손상을 줄 경우에도 TiN막 표면이 활성화되어 부착특성이 향상되었다.

• 한국표면공학회:학술대회논문집
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• 한국표면공학회 2007년도 춘계학술발표회 초록집
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• pp.51-54
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• 2007

타겟 전압 제어를 통한 반응성 스퍼터링 방법과 유도결합 플라즈마(ICP: inductively coupled plasma)를 통해 산화알루미늄 박막을 증착하였다. 폴리카보네이트 기판과 산화알루미늄 박막사이의 접착력은 플라즈마 표면처리 하여 향상시켰다. 박막 특성은 ICP power 변화에 대한 경도, 구조, 밀도변화, 투과율, 증착속도, 표면 거칠기 및 잔류응력을 조사하여 보호코팅으로서 성능을 평가하였다.

• Nuclear Engineering and Technology
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• 제28권1호
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• pp.1-16
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• 1996

축소한 격납용기 내부 핵연료재장전수저장탱크의 안쪽에 설치한 열교환기 튜브의 주요 매개변수들이 풀핵비등 열전달에 미치는 복합적인 영향을 극명하기 위해 튜브 외경, 표면 거칠기, 그리고 튜브 설치 방향에 대한 다양한 조합들을 환용하여 열유속 q'quot;와 과열 온도 차이 $\Delta$T 간의 관계에 대한 총 1,966 개의 실험값을 취득하였다. 이 실험 결과들에 의하면, (1) 표면 거칠기 증가는 수평 및 수직 튜브 모두에 대해 열전달을 향상시키고, (2) 기포 생성에 따른 두가지 열전달 기구인 주변 액체 운동증가에 의한 열전달 향상과 기포층 및 기포 군집 형성에 의한 열전달 감소는 50㎾/$m^2$의 열유속을 경계로 낮은 열유속과 높은 열유속 영 역 에서 서로 다르게 관찰되는데, 이것은 튜브 설치 방향과 표면 거칠기의 크기와 관련이 있으며, (3) 튜브 외경 증가는 수평 및 수직 튜브 모두에 대해 열전달을 감소시키는데, 그 영향정도는 수평보다 수직구조에서 더 크다. 수평 및 수직 튜브들에 대해 열유속 q'quot;와 표면 거칠기 ($\varepsilon$) 및 튜브 외경 (D) 사이의 관계를 결정하는 두 가지 실험식을 개발하였다. 그리고, q'quot;만의 함수로된 풀핵비등 열전달계수( $h_{b}$ 에 대한 간단한 실험식도 부가적으로 개발하였다. 실험식도 부가적으로 개발하였다.'quot;만의 함수로된 풀핵비등 열전달계수($h_{b}$ 에 대한 간단한 실험식도 부가적으로 개발하였다.

• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제21권3호
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• pp.51-56
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• 2014

솔더조인트의 신뢰성에는 인쇄회로기판의 표면처리 특성이 많은 영향을 미치고 있다. 본 연구에서는 ENEPIG 표면처리에서 Sn-4.0wt%Ag-0.5wt%Cu (SAC405) 솔더와 Pd 촉매 처리 시간에 따른 high speed shear 에너지 및 파괴 모드를 연구하였다. 또한 Pd 촉매 처리 시간과 무전해 Ni-P 도금의 표면 거칠기 (Ra)와의 관계를 규명하였다. Pd 촉매 처리 시간이 길어질수록 Ni-P nodule의 면적은 넓어지고, Ni-P 도금의 표면 거칠기 (Ra)는 감소한다. 이러한 영향으로 질산 기상 처리한 시편의 high speed shear 평가후 quasi-brittle과 brittle 모드의 점유율은 감소한다. 이는 Pd 촉매 처리 시간의 증가가 SAC405 솔더조인트의 신뢰도를 향상시키는 역할을 한다는 것을 나타낸다.

• 대한기계학회논문집A
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• 제35권4호
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• pp.401-407
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• 2011

본 연구에서는 AZ31B 마그네슘 합금 평판 연마에 제 2세대 자기연마공정을 적용하고 실험계획법을 통해 공정인자들의 특성을 평가하였으며, 2차 반응표면모델을 이용한 표면거칠기 예측모델을 개발하였다. 비자성체 재료의 기존 자기연마 공정에서는 재료의 표면에서 자기력이 낮아 표면거칠기의 향상에 효율이 낮은 단점을 가진다. 이를 보완하기 위하여 전자석 배열을 이용한 자기력 테이블을 자기연마 공정에 적용하여 비자성체 표면의 자기력을 향상시킬 수 있었다. 이러한 시스템을 제 2세대 자기연마라 일컫고, 실험계획법에 따른 공정 인자 평가 결과, 자기력 테이블의 전자석 세기가 AZ31B 평판의 표면 거칠기 향상에 가장 큰 영향을 가지고 있음을 확인했다. 또한 자기력 테이블과 공구의 회전속도에 따른 반응표면모델을 개발함으로써 마그네슘 자기연마 공정의 효율성을 높일 수 있었다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2006년도 추계학술대회 논문집
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• pp.395-396
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• 2006

• 대한기계학회논문집
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• 제14권4호
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• pp.818-829
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• 1990

본 연구에서는 공구의 진동에 사용되는 혼(hone)의 재료로 강성과 초음파진동 이 우수한 티타늄 합금을 사용하였으며, 이의 설계 및 진동절삭 기구의 구성과 공구형 상 및 이송에 의하여 결정되는 선삭의 이론적 표면조도를 근간으로 각종 절삭 조건 등 을 변화시키면서 실험을 행하여 초음파 진동 절삭시 나타나는 특성들 중 절삭저항, 다 듬질면 거칠기, 칩형태, 가공정도 등을 관찰하여 범용절삭과 비교 검토하여 초음파 진 동절삭이 정밀가공 및 생산성 향상에 적합한 가공방법임을 입증코져 한다.

• 공업화학
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• 제17권6호
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• pp.586-590
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• 2006

전기활성 고분자로서 이온성고분자-금속복합체(Ionic Polymer metal Composites, IPMC)는 화학적 환원방법으로 비교적 쉽게 제조하여 낮은 구동전압에서도 큰 변위를 낼 수 있는 유연성을 지니는 스마트 소재(soft smart material) 중의 하나이다. 제조 시의 화학적 환원방법은 용액 내에서 반응시킴으로써 결과적으로 형성되는 다공성 고분자 막의 표면의 거칠기 때문에 구동체로서의 IPMC의 동작특성에 결함을 줄 수 있다. 따라서 본 연구에서는 IPMC의 표면의 거칠기에 대한 구동 특성을 비교하고 표면 조도를 향상시키는 방안으로 표면 이온빔 보조 증착법으로 표면을 개질하였다. 이러한 표면 개질 효과로 인해 IPMC 전극의 표면 저항을 낮추고 반응 속도를 증가시킬 수 있었고, 표면 조도, 모폴로지, 구동력 등을 측정하여 향상된 구동 현상을 나타내는 제조방법에 대한 연구를 하였다.

• 한국공작기계학회논문집
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• 제17권4호
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• pp.35-41
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• 2008

R/In order to satisfy the customer's variant needs for a product quality in recent years, a demand for developing higher precision machining technologies in a lot of application areas such as automobile, cellular phone and semiconductor has been increased more and more. Magnetic abrasive polishing(MAP) process is one of these precision technologies. In this study, to verify the parameters' effect of the MAP process on the surface roughness improvement of the plane and the inclined workpiece, well planned experiments which was called the design of experiments were carried out. Considered polishing factors were spindle speed, supplied current, abrasive type and working gap between the workpiece and the solid tool. As a result, it was seen that the supplied current and the working gap greatly affected the surface roughness improvement.

• 대한소아치과학회지
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• 제30권3호
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• pp.520-529
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• 2003

소아치과 임상에서 자주 사용하고 있는 심미 수복재료는 마무리와 연마 과정을 통해 내구정과 심미성이 향상된 수복물을 얻을 수 있다. 본 연구에서는 수복재료 종류에 따른 연마기구의 적합성과 사용된 연마기구 간의 효율성을 비교하고자 하였다. Z250(3M, USA), Heliomolar(Ivoclar Vivadent, USA), Dyract AP(Dentsply, USA), Fuji II LC(GC, Japan)를 이용하여 시편을 제작하고, 연마기구인 Enhance(Dentsply, USA), Sof-Lex(3M, USA), Composite(Shofu, Japan)를 적용하여 연마하였다. 각 제품마다 제작된 시편 중에 어떠한 연마 과정도 거치지 않은 5개의 시편을 대조군으로 사용하였다. 이 시편들의 표면 거칠기($R_a\;value,\;{\mu}m$)를 측정하고, 주사전자현미경으로 관찰하여 다음과 같은 결과를 얻었다. 1. 수복재료에 따른 표면 거칠기를 비교한 결과 Z250이 가장 낮은 표면 거칠기를 나타냈으나 다른 수복재료와 비교하여 유의한 차이는 없었다(p>0.05). 2. 네 가지 수복재료는 대조군에서 가장 평활한 표면을 얻었고, 모든 연마 과정은 표면 거칠기를 증가시켰다. 3. 세 가지 연마기구 중 Sof-Lex가 가장 평활한 표면을 형성하였으며, Sof-Lex와 Enhance에 의한 표면 거칠기는 유의한 차이를 보였다(p < 0.05). 4. 주사전자현미경 관찰 시 네 가지 수복재료의 대조군은 실험군에 비해 균일한 표면을 나타냈다.