위상측정 간섭계를 이용한 sub-${\AA}$ 급 표면거칠기 측정
(Sub-${\AA}$ surface roughness measurement using phase-measuring interferometer)
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- 한국광학회:학술대회논문집
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- 한국광학회 2000년도 제11회 정기총회 및 00년 동계학술발표회 논문집
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- pp.176-177
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- 2000