Pulse DC $O_2$ 플라즈마를 이용한 PMMA와 폴리카보네이트 기판의 건식 식각
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- 한국진공학회:학술대회논문집
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- 한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
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- pp.105-105
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- 2010