• Title/Summary/Keyword: 폭변경

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Measurement of Width and Step-Height of Photolithographic Product Patterns by Using Digital Holography (디지털 홀로그래피를 이용한 포토리소그래피 공정 제품 패터닝의 폭과 단차 측정)

  • Shin, Ju Yeop;Kang, Sung Hoon;Ma, Hye Joon;Kwon, Ik Hwan;Yang, Seung Pil;Jung, Hyun Chul;Hong, Chung Ki;Kim, Kyeong Suk
    • Journal of the Korean Society for Nondestructive Testing
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    • v.36 no.1
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    • pp.18-26
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    • 2016
  • The semiconductor industry is one of the key industries of Korea, which has continued growing at a steady annual growth rate. Important technology for the semiconductor industry is high integration of devices. This is to increase the memory capacity for unit area, of which key is photolithography. The photolithography refers to a technique for printing the shadow of light lit on the mask surface on to wafer, which is the most important process in a semiconductor manufacturing process. In this study, the width and step-height of wafers patterned through this process were measured to ensure uniformity. The widths and inter-plate heights of the specimens patterned using photolithography were measured using transmissive digital holography. A transmissive digital holographic interferometer was configured, and nine arbitrary points were set on the specimens as measured points. The measurement of each point was compared with the measurements performed using a commercial device called scanning electron microscope (SEM) and Alpha Step. Transmission digital holography requires a short measurement time, which is an advantage compared to other techniques. Furthermore, it uses magnification lenses, allowing the flexibility of changing between high and low magnifications. The test results confirmed that transmissive digital holography is a useful technique for measuring patterns printed using photolithography.

Study on the Calculation Method of Design Flood Discharge of Dam (댐 설계홍수량 산정방법에 관한 연구)

  • Lee, Jai-Hong;Moon, Young-Il;Beck, Yoo-Hyun;Jang, Kwang-Jin
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2011.05a
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    • pp.277-281
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    • 2011
  • In this study, past method and recent method for flood discharge with domestic multi-purpose dams in Korea were compared and analyzed with respect to the scale of watershed. Rainfall depth, temporal distribution, effective rainfall, rainfall-runoff model, parameter estimation and base flow were selected as the principal factors affecting flood discharge and effects on flood discharge were analyzed quantitatively by using sensitivity analysis. The results showed that the flood discharges calculated by past and recent method increased and decreased with a wide range of discharge with respect to the scale of watershed. The reason for decrease of flood discharge is the exchange of temporal distribution pattern of rainfall and the principal reason for increase of flood discharge are the increase of rainfall depth by unusual weather phenomena and the difference of estimation method of parameters of unit hydrograph.

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Investigation of Current Fluctuation at a River (하천에서의 흐름변동 조사)

  • Lee, Hyun-Seok;Kwon, Hyung-Joong;Kim, Young-Sung;Lee, Geun-Sang
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2007.05a
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    • pp.522-526
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    • 2007
  • 항공사진을 이용하여 하천의 경년변화를 조사하다 보면, 사주 변동에 따라 하천의 주 흐름이 다양하게 변화되고 있음을 알 수 있다. 이처럼 특정 하천의 지정된 구간에서의 흐름변동은 많은 시간에 걸쳐 이루어진다. 바꾸어 말하면, 짧은 시간 동안 자연하천에서의 주 흐름 변화를 관찰 하기는 일반적으로 매우 어렵다. 본 연구에서는 이틀이라는 짧은 시간 동안에, 하천에서의 주 흐름 변동에 따른 특성변화를 조사하였다. 이러한 조사는 "조정지 댐에서의 수문 조작"이라는 인위적인 방법을 동원함으로서 가능하였다. 모든 조정지 댐에서는 하천 유지를 위한 일정양의 물을 수문을 통하여 방류한다. 대청댐 하류에 있는 조정지 댐에는 폭이 약 10m에 이르는 10개의 수문이 있다. 평상시에는 우안으로부터 5번째에 있는 중앙의 수문을 개방하여 초당 약 18톤의 물을 방류한다. 그러므로 본 연구에서는 방류하고자 하는 지점의 수문높이를 조정하여 일정량을 유지한 채, 수문의 위치를 중앙에서 좌안 그리고 우안의 순으로 변경 하였다. 방류 수문 위치를 변경함에 따라 하천에서의 수리특성을 조사하기 위하여, 흐름이 안정 될 때까지 충분히 기다린 후, 각각의 경우에서의 하류지역을 대상으로 현지관측 및 수치실험을 실시하였다. 조사는, 첫째 지형측량, 유량측정 및 수위변동 등을 포함한 정밀현장조사, 둘째 일반적인 모델에 정밀조사 결과를 적용시킴으로서 얻을 수 있는 가시화 기법 개발 등의 순으로 진행하였다. 수치실험에 사용한 모델은 하천에서의 흐름거동을 2차원적으로 해석하는데 많이 사용되고 있는 상용프로그램인 SMS (Surface-Water Modeling System)의 RMA2 모형이다. 이모형은 RMA (Resource Management Associates, Inc.)에 의해 처음 개발된 2차원 유한요소 모델이며 지배방정식은 z방향을 수심 적분한 2차원 천수방정식으로, x와 y방향에 대한 Navier-Stokes 방정식과 연속 방정식으로 구성된다. 본 연구에서는 현장 조사 시 지배인자 파악의 중요성 및 수치계산을 위한 검증자료의 필요성을 강조하기 위하여, 일반적인 방법으로 수행한 계산 결과 및 다양한 현장 특성을 고려한 계산 결과를 비교 하였다. 그 결과 본 연구는 (1)최신 장비들의 도입 및 검증과 기존 장비의 활용 범위 확대, (2)기존의 상용 프로그램을 이용한 하천 흐름특성의 가시화 실현 등에 의의가 있다고 사료된다.

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Comparative Study on Calculation Method for Design Flood Discharge of Dam (댐 설계홍수량 산정방법에 관한 비교연구)

  • Lee, Jai-Hong;Lee, Jong-Kyu;Kim, Tae-Woong;Kang, Ji-Ye
    • Journal of Korea Water Resources Association
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    • v.44 no.12
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    • pp.941-954
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    • 2011
  • In this study, past method and recent method for flood discharge with domestic multi-purpose dams in Korea were compared and analyzed with respect to the scale of watershed. Rainfall depth, temporal pattern, rainfall excess, rainfall-runoff model, parameter estimation and base flow were selected as the principal factors affecting flood discharge and effects on flood discharge were analyzed quantitatively by using sensitivity analysis. The results showed that the flood discharges calculated by past and recent method increased and decreased with a wide range of discharge with respect to the scale of watershed. The reason for decrease of flood discharge is the exchange of temporal pattern of rainfall and the principal reasons for increase of flood discharge are the increase of rainfall depth by unusual weather phenomena and the difference of estimation method for parameters of unit hydrograph.

An Experimental Study on Effect of Temperature and Oxygen fraction of Intake Air on Fuel Consumption in Radiant Tube Burner (Radiant Tube 버너에 있어서 흡기 온도 및 산소분물이 연료 소모에 미치는 영향)

  • Kim Hyun-woo;Lee Kyung-Hwan;Roh Dong-Soon
    • Journal of Energy Engineering
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    • v.14 no.2 s.42
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    • pp.73-81
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    • 2005
  • An Experimental study was conducted to investigate the effective way for fuel consumption improvement in radiant tube burner heating system used in steel manufacturing process. To find effectiveness of increase of temperature and oxygen fraction of intake air on fuel consumption, the model radiant tube burner heating system with recuperator was designed to be able to adjust temperature and oxygen fraction of intake air, and was operated under various conditions with oxygen concentration in exhaust gas changed. The results show that burner chamber temperature was increased about $10\%$ of intake air temperature increase. so it was difficult to expect fuel consumption improvement. But only 1 or $2\%$ increase of oxygen fraction in intake air made a significant improvement in fuel consumption even though it made much NOx emissions also. Therefore, if NOx emissions is controlled under regulation with burner modification, it is expected that increase of oxygen fraction in Intake air is effective way to improve fuel consumption.

A Case Study on the Construction of Large Cross Section Tunnel for Underground Ventilation System (지하환기소 대단면 터널 시공 사례 연구)

  • Noh, Seung Hwan;Choi, Sung Wook;Noh, Sang Lim
    • Tunnel and Underground Space
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    • v.27 no.4
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    • pp.195-204
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    • 2017
  • This case study introduces the construction of large cross section tunnel for underground ventilation system in Sillim-Bongcheon Tunnel Project. In order to grant the safety and efficiency in connecting the ventilation shaft (7.8 m of width, and 6.6 m of height) to a tunnel for axial fan facility (20.8 m of width, and 12.3 m of height), gradual enlargement of tunnel cross section was employed between those and temporary support method was determined based on Q system. In addition, some original designs were revised during construction stage to improve the efficiency of excavation in large cross section tunnel. The advance length was optimized and top heading of the tunnel was excavated without partition in accordance with ground condition and numerical stability analysis results. It is believed that some experiences and considerations in this case study will be useful for the future design and construction in similar large cross section tunnel such as large underground ventilation system or road tunnel with four lanes.

A study on the vaneless diffuser and volute casing design for the improvement of small centrifugal compressors (소형 원심 압축기의 성능 향상을 위한 베인 없는 디퓨저와 볼류트 케이싱의 설계에 관한 연구)

  • Jo, Jae Phil;Paek, Seung Yun;Kim, Sung Don;Ahn, Kyubok
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.16 no.6
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    • pp.3722-3730
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    • 2015
  • The performance improvement of a small centrifugal compressor for waste water treatment has been conducted by the design change of vaneless diffuser and volute casing. Existing two compressors use a common impeller, but the width and length of the vaneless diffuser and the cross-sectional shape of the volute casing are different, respectively. Based on the experiment of the existing two compressors and their CFD results, the design of the vaneless diffuser and the volute casing has been changed. It was found that the strength of the interaction among the volute tongues, the vaneless diffusers and the impellers of two existing/one improved compressors, was affected by the cross-sectional area and inlet radial length of the volute casing including system losses' change. The efficiency of the impeller with one existing design was increased as the decrease of the width of the vaneless diffuser, but losses at the diffuser were accumulated. In conclusion, approximately 2.88%p efficiency increase at the design point of the new compressor with the improved design has been confirmed by CFD analysis results.

The Stability Evaluation of River Embankment for a Piping Phenomenon (하천제방의 세굴에 대한 안정성 연구)

  • Lee, Song;Park, Hyung-Kyu
    • Journal of the Korea institute for structural maintenance and inspection
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    • v.7 no.3
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    • pp.175-181
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    • 2003
  • In this reseach, a seepage test is carried out for three kinds of soil using a upward seepage equipment. Reliability about the existing method of pipining investigation were verified making an estimate of the critical velocity, the critical hydraulic gradient, and hydraulic conductivity and so on. Also, sensitive analyses were carried out using Plaxis that is FEM Program about design factors of scour. The height of core had a big infulence on the hydraulic gradient of the embankment's lower part in the result of sensitive anaylsis. Also, second only to the height of core, and the slope of embankment, the width of crest had influence on scour. However, the change of hydraulic gradient in the effluent gateway had a little influence on the crest width of core. Using these results of sensitive analysis on designing, hydraulic gradient in the effluence gateway turned out to be reducing by altering design factors that change of sensitiveness is big, in case of the hydraulic gradient bigger than the standard hydraulic gradient.

Development of welding process to overcome misalignment in root pass at butt joint TIG welding of Stainless Steel (스테인리스강 TIG 맞대기 용접 루트 패스에서 단차 극복을 위한 공정 개발)

  • Im, Sung-Bin;Ham, Hyo-Sik;Ha, Jong-Moon;Seo, Ji-Suk;Cho, Sang-Myung
    • Proceedings of the KWS Conference
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    • 2009.11a
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    • pp.26-26
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    • 2009
  • TIG 용접은 고품질이고 용접인자의 제어가 쉽고 정확하다는 장점이 있지만, 얕은 용입과 낮은 생산성과 같은 단점이 있다. TIG 오비탈 용접에서는 용입의 한계 때문에 작은 루트면과 넓은 그루브를 가공하여 다층 용접을 하며, 루트패스에서는 파이프 진원도에 의한 핏업 시 단차의 문제가 자주 발생하여 많은 현장에서 루트갭을 만들어 수동 용접하는 실정이다. 따라서 생산성이 낮으며 생산 단가가 높고 용접 품질이 작업자에 따라 다르게 된다. 이러한 문제점을 해결하여 자동 오비탈 용접을 위해 단차를 흡수 할 수 있는 용접 공정 개발이 필요하다. 본 연구의 목적은 TIG 용접에서 단차에 따른 용접성을 검토하여 이를 맞대기 용접에 적용했을 때 균일한 이면비드를 얻는 공정을 개발하는 것이다. 따라서 본 연구는 아래보기 자세에서 단차에 따른 용입 특성을 이면비드 및 단면으로 비교 분석하였다. 단차 없이 아크길이만 1mm, 2mm, 3mm로 변경하여 실험한 결과 아크길이가 짧아질수록 표면비드 폭은 좁아졌고 이면비드 폭은 증가하는 경향을 나타내어 아크길이가 짧아질수록 용융효율이 증가하는 것을 확인하였다. 단차 1mm에서 아크길이 3mm를 제외하고 표면비드 및 이면비드가 미려하였다. 하지만 단차 2mm에서는 아크길이 1mm, 2mm, 3mm 전부 이면비드가 생성되지 않았다. 이는 단차로 인해 아크길이가 증가하여 용융효율이 낮아졌기 때문이라 판단된다. 이면비드가 생성되지 못한 시험편을 백 베벨링(0.5mm, 1.0mm, 1.5mm, 2.0mm)하여 실험한 결과 단차 2mm, 아크길이 1-3mm 백 베벨링 2.0mm 적용한 시험편에서 양호한 이면비드를 얻을 수 있었다.

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무상증자 실시기업의 장기성과에 관한 연구

  • Kim, Byeong-Gi
    • The Korean Journal of Financial Studies
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    • v.6 no.1
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    • pp.23-45
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    • 2000
  • 기존연구에 의하면 무상증자의 공시는 공시기간 중 정(+)의 가격효과를 초래하는 것으로 나타나고 있다. 무상증자에 대한 이러한 시장의 호의적인 반응을 설명하기 위해 여러 가설이 제기되어 왔으며, 그 중 무상증자는 좋은 내부정보를 외부에 신빙성 있게 전달하는 신호기제가 될 수 있다는 신호가설이 특히 지지를 받고 있다. 그런데 짧은 공시기간 중의 정(+)의 주가반응만을 보고 신호가설이 지지된다고 단정짓는데는 무리가 있다. 본 연구에서는 과연 신호가설이 주장하는 것처럼 무상증자가 사업기회의 확대, 미래현금흐름의 증대, 추후 차입여력의 증대를 가져오는가를 더 면밀히 검증하기 위하여 무상증자 실시기업의 장기성과를 조사하였다. 본 연구의 특징은 (1)공시기간 이후의 1년 이내의 기간에 중점을 둔 대부분의 기존연구와 달리 증자 후 36개월간의 장기성과를 측정하였으며, (2)주가수익률 자료와 회계자료를 동시에 이용하여 장기성과를 조사하였고, (3)장기 초과수익률 측정과 검증에 있어 통계적 오류가 있는 누적초과수익률(CAR)을 보완하기 위해 매입보유초과수익률(BHAR)을 사용했으며, 이를 위해 엄격한 기준을 적용하여 표본기업과 비교기업을 선정하였다는 데 있다. 실증분석 결과 신호가설을 지지하는 증거는 발견하지 못하였으며 오히려 무상증자 실시기업이 시장평균 또는 비교기업인 비증자기업에 비해 장기적으로 주가수익률 및 영업성과에 있어 저성과를 보이는 증거를 상당 수 발견하였다. 구체적으로 동일가중평균수익률로 조정한 보유기간 초과수익률의 경우 증자 후 1개월에서 24개윌까지의 BHAR이 5% 미만 수준에서 부(-)의 값을 보였으며, 비모수통계치를 사용할 경우 $1{\sim}36$개월까지의 전기간에서 유의한 부(-)의 저성과를 보이고 있다. 또한 영업성과면에서도 증자기업이 비증자기업에 비해 증자 후 수익성과 현금흐름이 저조하게 나타나고 있다.해 현물시장의 수익률, 변동성이 높은 것으로 나타났으나, 변경후에는 현물시장에 비해 선물시장의 수익률 변동성이 높은 것으로 나타났다. VAR 분석에 의하면 변경후가 변경전에 비하여 선물이 현물을 선도하는 시차가 다소 커진 것으로 나타나 현물시장과 선물시장이 동시에 가격제한폭 확대후에 비효율적으로 되었다는 의미로 판단된다.기간에서는 선물의 15분 선도효과와 현물의 1분 선도효과가 발견되어 선물의 선도효과가 지배적임을 발견하였다.적 일정하게 하는 소비행동을 목표로 삼고 소비와 투자에 대한 의사결정을 내리고 있음이 실증분석을 통하여 밝혀졌다. 투자자들은 무위험 자산과 위험성 자산을 동시에 고려하여 포트폴리오를 구성하는 투자활동을 행동에 옮기고 있다.서, Loser포트폴리오를 매수보유하는 반전거래전략이 Winner포트폴리오를 매수보유하는 계속거래전략보다 적합한 전략임을 알 수 있었다. 다섯째, Loser포트폴리오와 Winner포트폴리오를 각각 투자대상종목으로써 매수보유한 반전거래전략과 계속거래 전략에 대한 유용성을 비교검증한 Loser포트폴리오와 Winner포트폴리오 각각의 1개월 평균초과수익률에 의하면, 반전거래전략의 Loser포트폴리오가 계속거래전략의 Winner포트폴리오보다 약 5배정도의 높은 1개월 평균초과수익률을 실현하였고, 반전거래전략의 유용성을 충분히 발휘하기 위하여 장단기의 투자기간을 설정할 경우에 6개월에서 36개월로 이동함에 따라 6개월부터 24개월까지는 초과수익률이 상승하지만, 이후로는 감소하므로, 반전거래전략을 활용하는 경우 주식투자기간은 24개월이하의 중단기가 적합함을 발견하였다. 이상의 행태적 측면과 투자성과측면의 실증결과를 통하여 한국주식시장에 있어서 시장수익률을 평균적으로 초과할 수 있는 거래전략은 존재하므로 이러한 전략을 개발 및 활용할 수 있으며, 특히, 한국주식시장에 적합한 거래전략은 반전거래전략이고, 이 전략의 유용성은

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