• Title/Summary/Keyword: 포화공정

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The Results Comparison of Measurement and Simulations in ISL(Integrated Schottky Logic) Gate (ISL 게이트에서 측정과 시뮬레이션의 결과 비교)

  • 이용재
    • Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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    • v.5 no.1
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    • pp.157-165
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    • 2001
  • We analyzed the electrical characteristics of platinum silicide schottky junction to develope the voltage swing in Integrated Schottky Logic gates, and simulated the characteristics with the programs in this junctions. Simulation programs for analytic characteristics are the Medichi tool for device structure, Matlab for modeling and SUPREM V for fabrication process. The silicide junctions consist of PtSi and variable silicon substrate concentrations in ISL gates. Input parameters for simulation characteristics were the same conditions as process steps of the device farications process. The analitic electrical characteristics were the turn-on voltage, saturation current, ideality factor in forward bias, and has shown the results of breakdown voltage between actual characteristics and simulation characteristics in reverse bias. As a result, the forward turn-on voltage, reverse breakdown voltage, barrier height were decreased but saturation current and ideality factor were increased by substrates increased concentration variations.

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The Modeling of the Transistor Saturation Current of the BJT for Integrated Circuits Considering the Base (베이스 영역의 불순물 분포를 고려한 집적회로용 BJT의 역포화전류 모델링)

  • 이은구;김태한;김철성
    • Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SD
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    • v.40 no.4
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    • pp.13-20
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    • 2003
  • The model of the transistor saturation current of the BJT for integrated circuits based upon the semiconductor physics is proposed. The method for calculating the doping profile in the base region using process conditions is presented and the method for calculating the base Gummel number of lateral PNP BJT and vertical NPN BJT is proposed. The transistor saturation currents of NPN BJT using 20V and 30V process conditions obtained from the proposed method show an average relative error of 6.7% compared with the measured data and the transistor saturation currents of PNP BJT show an average relative error of 6.0% compared with the measured data.

Effect of Sediment Size On Air Injection and Flowing Aspect of Groundwater Saturated Zone (대수층 토양입자크기에 따른 공기분사 흐름 양상)

  • 이준호;박갑성
    • Journal of Soil and Groundwater Environment
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    • v.8 no.3
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    • pp.13-22
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    • 2003
  • Laboratory scale study for an air injection and flowing aspect of groundwater saturated zone was conducted for three sediment grains (AMG 0.34, 1.38, 3.89 mm diameter). Air flow for AMG (Average Modal diameter Grains) 0.34 mm diameter grain size provides indication of pattern of channelized air flow in saturated zone and expansion state in above saturated zone. Maximum area of influence is approximately l5.2%/$\textrm{m}^2$for AMG of 0.34 mm diameter. For AMG of 1.38 mm and 3.89 mm modal diameter grains, air flow are pervasive air flow, forming a symmetrical cone of influence around the injection point. Maximum areas affected are 37%/$\textrm{m}^2$for AMG 1.38 mm diameter and 30%/$\textrm{m}^2$for AMG 3.89 mm diameter. AMG 1.38 mm and 3.89 mm diameter grains show onset of collapse and approach to steady state in above saturated zone, respectively. In this study, optimal sites for in situ air sparging, may be grain diameters between about AMG 1.5-2.5 mm diameter.

Importance of Permeate Pressure on Pervaporative Performance (투과증발 막분리 공정에서 막하부의 공정조건의 중요성)

  • 염충균
    • Membrane Journal
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    • v.8 no.3
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    • pp.109-116
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    • 1998
  • 일반적으로 투과증발 막분리 공정에서 막상부 압력은 상압 부근에서 설정되며 막하부 압력은 투과성분의 포화증기압 보다 낮게 유지하므로써 막을 통한 물질 투과가 일어난다. 이중에 하부압력은 막공정의 추진력과 밀접한 관련이 있다. 즉, 막하부의 조건에 따라 막공정의 추진력이 결정되며 또한 막내부의 상구배가 달라진다. 그러므로 막하부의 공정조건은 막의 투과 분리특성을 결정하는 매우 중요한 제어대상이 된다. 많은 연구자들이 막하부 압력에 따른 투과속도 및 선택도 변화에 대한 연구를 진행해왔는데 이들 대부분은 막하부 압력을 투과공정의 추진력과 관련을 지어 투과 분리거동을 설명하였으며 1980년 후반 이후부터 유체역학 관점에서 막하부 압력이 투과특성에 끼치는 영향을 검토하기 시작하였다. 본 장에서는 막하부 압력이 막투과 분리 특성에 끼치는 영향에 대한 이해를 돕고자 발표된 연구 내용을 토대로 하여 투과증발 막분리 공정에서 막하부 압력의 중요성을 간략하게 정리해 보았다.

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Surface Tension-Water Saturation Relationship as the Function of Soil Particle Size and Aquifer Depth During Groundwater Air Sparging (대수층 폭기공정에서 토양입경 및 지하수 깊이에 따른 표면장력과 함수율의 상관관계)

  • Kim, Heon-Ki;Kwon, Han-Joon
    • Journal of Soil and Groundwater Environment
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    • v.14 no.6
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    • pp.65-70
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    • 2009
  • Reduction of groundwater surface tension prior to air sparging (SEAS, surfactant-enhanced air sparging) was known to increase air saturation in the aquifer under influence, possibly enhancing the removal rates of volatile contaminants. Although SEAS was known to be efficient for increasing air saturation, little information is available for different hydrogeological settings including soil particle sizes and the depth of aquifer. We investigated water saturations in the sparging influence zone during SEAS using one-dimensional column packed with sands of different particle sizes and different aquifer depths. An anionic surfactant was used to suppress the surface tension of water. Two different sands were used; the air entry pressures of the sands were measured to be $15.0\;cmH_2O$, and $36.3\;cmH_2O$, respectively. No significant difference was observed in the water saturation-surface tension relationship for sands with different particle sizes. As the surface tension decreased, the water saturation decreased to a lowest point and then it increased with further decrease in the surface tension. Both sands reached their lowest water saturations when the surface tension was set approximately at 42 dyne/cm. SEAS was conducted at three different aquifer depths; 41 cm, 81 cm, and 160 cm. Water saturation-surface tension relationship was consistent regardless of the aquifer depth. The size of sparging influence zone during SEAS, measured using two-dimensional model, was found to be similar to the changes in air saturation, measured using one-dimensional model. Considering diverse hydrogeological settings where SEAS to be applied, the results here may provide useful information for designing SEAS process.

Chemical Mechanical Polishing Properties of Copper Passive Layer (산화제 첨가조건이 부동태막의 형성에 미치는 영향)

  • Han, Sang-Jun;Lee, Woo-Sun;Choi, Gwon-Woo;Park, Sung-Woo;Lee, Young-Kyun;Seo, Yong-Jin
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2008.06a
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    • pp.538-538
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    • 2008
  • 금속계열의 박막을 평탄화하기위해서는 슬러리에 함유된 산화제에 의해 부동태층의 형성이 선행되어야 한다. 따라서 본 논문에서는 Copper 박막의 표면을 부동태층으로 형성시키고 CMP공정을 하기위해 산화제에 dipping을 시켰으며 삼화제의 종류는 $H_2O_2$, MSW2000B, $KIO_3$로 하고 dipping 시간은 30초, 60초, 90초, 3분, 10분으로 하여 시간과 산화제 종류에 따른 부동태층의 변화를 연구하였다. 부동태층의 관찰은 FESEM을 이용하여 표면과 단면을 관찰하였고 부동태층의 조성비율은 EDX를 이용하여 조사하였다. MSW 2000B의 경우는 부동태층이 덩어리 모양으로 형성되었으며 포화현상은 3분에 일어났다. 반면에 $H_2O_2$의 경우는 부동태층이 침상 모양으로 형성되었으며 포화현상은 90초에 일어났다. 산화제에 의해 부동태층을 형성시킨 후 POLI-450을 이용하여 평탄화공정을 진행하였으며 CMP공정조건은 부동태층의 연질상태임을 감안하여 헤드 스피드 20rpm, 플레이튼 스피드 10rpm, 슬러리 주입속도 90ml/min, 공정온도는 상온으로 하여 진행하였다. $H_2O_2$를 산화제로 사용하여 dipping을 하고 CMP를 하였을 경우에 균일한 박막을 확보 할 수 있었으며 CMP 공정 후 copper 박막의 균일성은 FESEM을 이용하여 관찰 하였다.

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The Characteristics of Treatment and Concentration of Dye Manufacturing Wastewater using Nanofiltration (Nanofiltration을 이용한 염료폐수처리와 농축특성)

  • 변기수;고상열;노수홍;이종철
    • Proceedings of the Membrane Society of Korea Conference
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    • 1995.10a
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    • pp.38-40
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    • 1995
  • 분리막공정을 폐수처리에 적용시 적용되는 각 폐수의 특성과 조건에 따라 공정의 안정성 및 경제성에 많은 영향을 받게 된다. 특히 폐수에 대한 농축도는 공정의 경제성과 밀접한 관계를 갖고 있는 중요한 인자이다. 폐수중에 염류 및 난분해성 유기물의 농도가 높을 경우 최종 처리수의 양을 줄이지 않으면 추가로 농축수에 대한 처리비용이 증가하기 때문에 폐수에 대한 분리막의 농축특성을 실험을 통하여 충분히 고려하여야 한다. 난분해성 폐수의 일종인 염료폐수는 고농도의 유기물과 높은 염류를 함유하고 있어 분리막공정을 이용하여 처리시 농축도의 증가와 함께 폐수의 특성변화로 막의 성질을 변화시킬 수도 있다. 더불어 과포화된 무기이온성분에 의하여 막표면에 scale을 유발시킬 수 있으므로 농축에 따른 적절한 무기이온성분의 제거는 농축도를 높이는 중요한 인자라고 볼 수 있다. 본 연구에서는 2가 이온에 대한 선택적 배제가 가능한 nanfiltration계열의 분리막을 이용하여 염료폐수를 대상으로 처리효율, cold crystallization공정을 응용한 농축실험 및 세척효과에 관하여 연구하였다.

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Analysis on the Heat Exchange Efficiency of Kraft Recovery Boiler by Nose Arch Structure Using CFD (CFD를 활용한 크래프트 회수보일러 내부 노즈 아치 구조에 따른 열교환 효율 분석)

  • Jang, Yongho;Park, Hyundo;Lim, Kyung pil;Park, Hansin;Kim, Junghwan;Cho, Hyungtae
    • Applied Chemistry for Engineering
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    • v.32 no.2
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    • pp.149-156
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    • 2021
  • A kraft recovery boiler produces steam for power generation by the combustion of black liquor from the kraft pulping process. Since saturated steam became superheated in a superheater above the furnace, it is important to increase the heat exchange efficiency for the superheated steam production and power generation. A nose arch at the bottom of the superheater is important for blocking radiation from the furnace which causes corrosion of the superheater. But the nose arch is the main reason for creating a recirculation region and then decreasing the heat exchange efficiency by holding cold flue gas after the heat transfer to saturated steam. In this study, the size of recirculation region and the temperature of flue gas at the outlet were analyzed by the nose arch structure using computational fluid dynamics (CFD). As a result, when the nose arch angle changed from 106.5° (case 1) to 150° (case4), the recirculation region of flue gas decreased and the heat exchange efficiency between the flue gas and the steam increased by 10.3%.

A Study on Structure and Magnetic Properties of Fe-N Films with Flow Rate of Nitrogen (질소 유량 변화에 따른 Fe-N 박막의 구조 및 자성 특성에 관한 연구)

  • Han, Dong-Won;Park, Won-Uk;Kim, Yeon-Ju;Gwon, A-Ram
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2016.11a
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    • pp.179-179
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    • 2016
  • 희토류계 영구자석은 높은 보자력과 잔류 자화을 가지고 있어 자기기록저장매체, MEMS(엑츄에이터), 센서 등의 응용 분야에 적용시키기 위해 다양한 연구들이 진행되고 있다. 하지만 희토류계 원소의 수급 및 가격의 문제점으로 친환경자석으로의 전환 및 희토류나 중희토류를 사용하지 않는 비희토류계 영구자석을 개발하는 연구에 대한 필요성이 대두되고 있다. 이 중 Fe-N 계 자성 물질인 $Fe_{16}N_2$는 포화 자화 값이 현재까지의 자성물질 중 가장 높은 값(240emu/g)을 나타내며 상대적으로 높은 결정자기이방성 상수를 가지고 있어 비희토류계 영구자석 물질 중 하나로 주목받고 있다. 본 연구에서는 $Fe_{16}N_2$ 박막을 얻기 위해 DC Magnetron Sputtering 방법을 이용하여 Si wafer 위에 박막을 증착하고 증착공정 조건 중 질소 유량 및 Sputtering Power를 변수로 따른 박막의 성장, 조직변화, 자성 특성을 관찰을 통해 최적의 공정 조건을 찾고자 하였다. $N_2$ 가스 유량 변화에 따른 박막의 성장 속도는 거의 변화가 없었으며 $N_2$ 가스 유량의 증가에 따라 박막 내 Fe의 함유량은 감소하였다. 모든 공정 조건에서 $Fe_3N$, $Fe_4N$, $Fe_{16}N_2$ 상들이 섞여 성장하였으며 XRD를 통한 상분석과 더불어 VSM을 통한 자성 특성을 분석해본 결과 $Fe_{16}N_2$의 분율이 가장 높게 성장된 공정 조건은 Power는 200W, $N_2$ 가스 유량은 20sccm이었으며 이 조건에서 2.45T의 포화 자화 값과 1.4T의 잔류 자화 값을 얻을 수 있었다.

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Design of readout circuit for linear two-color infrared detector array (선형 종ㆍ원적외선 이중대역 동시 검출기배열을 위한 신호취득회로의 설계)

  • 김철범;우두형;강상구;이희철
    • Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SD
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    • v.41 no.9
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    • pp.49-56
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    • 2004
  • A new readout circuit(ROIC) for linear HgCdTe 64${\times}$2 two-color Infrared (IR) detector is described. This circuit is based on the buffered direct injection(BDI) technology with high injection efficiency. By using saturation current isolation circuit, the proposed ROIC removed the problems that LWIR(Long Wavelength InfraRed) signal distort when MWIR(Middle Wavelength InfraRed) signal saturates so that new ROIC has larger measurable temperature range about 120k than that of previous circuit and it is also tolerant for dead pixel in MWIR detector. The designed circuit was fabricated using 0.6um 2-poly 3-metal CMOS process. We measured that the designed circuit outputs MWIR signal and LWIR signal simultaneously and saturation current isolationcircuit also operates well. Next, measured noise was about 53uV at room temperature and it can be assumed that designed circuit can satisfy nearly 95% BLIP condition at 77K.