무기질 a-$Se_{75}Ge_{25}$ 박막을 이용한 네가티브형 포토레지스트의 특성연구
(A study on the characteristics of negative photoresist using inorganic a-$Se_{75}Ge_{25}$ thin film)
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- E2M - 전기 전자와 첨단 소재
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- 제1권4호
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- pp.295-302
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- 1988