• Title/Summary/Keyword: 패턴층

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The Study on Testability of high Speed and High Integrated Multichip Module (고속, 고집적 Multichip Module의 시험성 확보에 관한 고찰)

  • 김승곤
    • Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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    • v.5 no.2
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    • pp.21-26
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    • 1998
  • 대용량, 고속데이터 처리가 요구되는 System 개발은 이들의 복잡하고 고기능의 회 로 구현이 가능하냐에 달려 있고 또한 이들고기능 요구를 가장 잘 만족할수 있는 패키지는 MCM 이라 할 수있다. 시스템의 고속화, 소형화는 회로의 복잡성을 요구하는 있는 이를 패 키지로 구현하는 MCM은 시험성 확보에 심각한 문제점으로 나타나고 있다. 본 논문에서는 고밀도 구조의 MCM 기판에 대한 Interconnetion Line 시험검증을 위한 Flying Prober의 적 용 및 모듈 패키징 공정에 대한 조립성 검증을 위한 BST에 대해 설명한다. 연구에 사용된 MCM 모듈은 MCM-D 공정으로 제작되었으며 31um 신호선폭, 50um Via Hole Dia. 5신호 선층 5절연층 및 455 Net의 기판으로절연층은 Dow chemical의 BCB-4024/4026을 적용하였 다. 조립은 3 ASIC, 24소자 실장 및 2000 Wire Bonding으로 이루어지며 패키지는 방열특성 을 고려한 BGA(491 I /O,50mil pitch)를 개발하여 사용하였다. MCM 기판의미세패턴으로 구성된 Interconnection Line에 대해 Fine Ptich Probing이 가능한 Flying Prober를 사용하 여 평가하였으며 BST를 이용하여 실장소자의 KGD평가 및 능동, 수동소자가 실장된 MCM Package의 조립시험성을 확보할수 있었다.

Time-Series Neural Network Modeling of Pulsed Ion Energy Pattern and Applications to Plasma Monitoring (펄스드 이온에너지 패턴의 신경망 시계열 모델링과 플라즈마 감시에의 응용)

  • Kim, Su-Yeon;Kim, Byung-Whan
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2008.07a
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    • pp.1855-1856
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    • 2008
  • 본 연구에서는 공정 중에 민감하게 반응하는 플라즈마로부터 수집되는 이온에너지 분포(IED : Ion Energy Distribution)와 시계열 신경망 모델링을 결합한 플라즈마 감시 기술을 개발하였다. NIEA(Non-invasive ion analyzer)를 이용하여 IED를 측정하였으며, 모델링에 사용된 신경망은 자기 상관 시계열 신경망(A-NTS : Auto-Correlated Neural Time-Series)이다. 모델 개발을 위한 학습과 테스트 데이터로는 Duty ratio 100%에서 수집한 IED를 이용하였으며, 개발된 모델의 감시 성능은 60%에서 수집된 IED로 평가하였다. 학습인자 k와 m의 범위는 각각 1-3 으로 총 9종류의 (k, m) 조합에 대해서 모델 성능을 평가하였다. 신경망 은닉층 뉴런수는 2-9의 범위에서 최적화하였다. 최적화된 모델은 (2, 3)과 뉴런수 2에서 구해졌으며, 0.335의 예측 에러를 보였다. 60% IED 데이터로 평가한 결과 플라즈마 고장에의 민감도는 62% 이상이었다. 이는 IED의 A-NTS 모델이 플라즈마 고장의 감시에 효과적으로 적용될 수 있음을 의미한다.

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The Effect of Angular Anisotropy in XLPE Insulation on Dielectric Strength (XLPE 케이블의 비등방성이 가지는 전기.기계적 특성)

  • Cho, Dae-Hee;Lee, Sang-Jin;Kim, Young-Ho;Park, Wan-Gi
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2003.07a
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    • pp.432-435
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    • 2003
  • 최근 초고압 케이블 절연체로 XLPE(가교 폴리에틸렌)이 널리 사용되어 지면서 XLPE의 여러 물리 화학적 특성에 따른 절연 성능에 관한 연구가 활발히 이루어지고 있다. 이러한 XLPE 절연층은 제조과정에서 압출과정을 거쳐 도체를 감싸게 되는데 이 과정에서 흐름 패턴으로 나타나는 비등방성(anisotropy)을 띠게된다. 본 논문에서는 초고압 XLPE 케이블에서 시계 방향으로 나타나는 비등방성(anisotropy)이 나타내는 기계-전기적 특성을 인장강도(tensile strength), 트리 개시전압 및 개시시간을 측정한 결과를 토대로 고찰해 보았으며, 이러한 비등방성이 초고압 XLPE 케이블의 절연 성능에 영향을 주는 인자로 고려되어야 함을 알 수 있었다.

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Future Drought Analysis using Non-homogeneous Hidden Markov Model in Gum River Basin (Non-homogeneous Hidden Markov Model을 이용한 금강유역의 미래 가뭄 분석)

  • Kim, Bo-Ran;Joo, Hong-Jun;Kim, Soo-Jun;Kim, Hung-soo
    • Proceedings of the Korean Society of Disaster Information Conference
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    • 2016.11a
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    • pp.388-390
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    • 2016
  • 본 연구에서는 금강유역의 가뭄과 한반도 주변 지역의 기후 인자들과의 상관관계를 파악하고 이를 바탕으로 기후변화 시나리오를 이용하여 미래의 가뭄을 예측하였다. 1974 - 2015년 동안 11 - 5월에 발생한 강우 자료와 NOAA에서 제공하는 NCEP-NCAR 자료를 이용하여 한반도 주변 기후인자와 금강유역의 강우가 과거 발생한 가뭄과 어떠한 상관관계를 갖는지를 분석하였다. 금강유역의 강우 패턴을 4개의 스테이지로 구분한 후 이를 상태층으로 참고하였으며, 관측 자료는 학습단계에 활용하였다. 이러한 기후인자와 강우 관계의 학습 결과를 바탕으로 기후변화 시나리오를 적용하고 미래의 기후요소를 예측하였으며 이를 통해 미래 금강유역의 가뭄을 예측하였다. 본 연구의 결과는 금강권역 수자원 공급 계획 및 설계의 기초자료로 제공될 수 있으며, 가뭄 대비 대책 사업의 우선순위 결정에 대한 근거 자료로 활용될 수 있을 것으로 기대된다.

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Development of 30inch window-unified Touch Screen Panel (30인치 윈도우 일체형 터치스크린패널 개발)

  • Seo, U-Hyeong;Park, Rae-Man;Kim, Gyeong-Hyeon;Sin, Jae-Heon;Hong, Chan-Hwa;Song, Chang-U;Yang, Ji-Ung;Gwon, Hyeok-In;Jeong, U-Seok
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2014.11a
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    • pp.242-243
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    • 2014
  • 본 연구는 윈도우 커버 뒷면에 2층 구조의 전극으로 각 전극들의 상호 정전용량을 이용한 터치스크린 패널을 개발하였다. 정전용량 방식의 터치스크린패널(Touch Screen Panel; TSP)은 필름을 사용하는 저항막 방식에 비해 내구성이 좋아 작은 손상에도 동작에 지장이 없다. 또한, 터치의 정확도가 높고, 광학적 특성이 우수하며 다중 포인트가 가능하다. 윈도우 일체형 TSP는 박막증착을 통해 X축,Y축 방향의 전극 패턴을 형성하였고 전극 교차부는 포토리소그래피공정을 통해 절연막 형성 및 Bridge, Bezel 전극을 형성하여 TSP를 제조 하였다.

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Performance Evaluation and Implementation of Rank-Order Filter Using Neural Networks (신경회로망을 이용한 Rank-Order 필터의 구현과 성능 평가)

  • Yoon, Sook;Park, Dong-Sun
    • The Journal of Korean Institute of Communications and Information Sciences
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    • v.26 no.6B
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    • pp.794-801
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    • 2001
  • 본 논문에서는 rank-order 필터의 구현을 위해 세 가지 신경회로망의 구조를 제시하고 분석하며 용도를 제안한다. 첫 번째 신경회로망을 이용하여 2-입력 정렬기를 제안하고 이를 이용하여 계층적인 N-입력 정렬기를 구성한다. 두 번째로 입력 신호간의 상대적인 크기 정보를 이용하여 학습 패턴을 구성한 후 역전파 학습 기법을 이용하여 구현되는 순방향 신경회로망을 이용한 rank-order 필터를 구현한다. 세 번째로 신경회로망의 구조의 출력층에 외부 입력으로 순위 정보를 가지도록 하는 rank-order 필터를 순방향 신경회로망을 이용하여 구현한다. 그리고 이러한 제안된 기술들에 대해 확장성, 구조의 복잡도와 시간 지연 등에서의 성능을 비교, 평가한다. 2-입력 정렬기를 이용하는 방식은 확장이 용이하고 비교적 구조가 간단하나 입력 신호들의 정렬을 위해 신경회로망은 순환하는 구조를 가지며 입력 신호의 수에 비례하는 반복 연산 후에 결과를 얻게 된다. 반면에, 순방향 신경회로망을 이용한 rank-order 필터의 구현 방식은 이러한 반복 연산으로 인한 시간 지연을 줄일 수 있으나 상대적으로 복잡한 구조를 가진다.

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InGaN/GaN 양자우물층 위에 제작된 460nm 격자의 GaN 나노박막 광결정 특성

  • Choe Jae-Ho;Kim Geun-Ju
    • Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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    • 2006.05a
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    • pp.127-130
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    • 2006
  • 사파이어 기판위에 MOCVD (metal organic chemical vapor deposition)를 이용하여 8주기의 InGaN/GaN 다중양자우물(multiple quantum well : MQW)구조가 성장되어졌고 이 구조 위에 p-GaN층이 형성됐다. 다시 p-GaN 위에 200nm의 두께를 갖는 PMMU 박막을 도포하고 electron beam lithography system을 이용하여 직경이 150nm가 되도록 나노단위의 삼각격자 구조를 가진 구멍을 패턴하고 inductively coupled plasma(ICP)를 이용하여 식각을 하여 광결정을 제작하였다. 광결정은 두께가 26nm이고 격자간격은 460nm로서 파장이 450nm인 파란빛을 나노회절 시켜서 photoluminescence(PL)의 세기를 강화시킨다.

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Neural Network Modeling of Actinometric Optical Emission Spectroscopy Information for Mo nitoring Plasma Process (플라즈마 공정 감시를 위한 Actinometric 광방사분광기 정보의 신경망 모델링)

  • Kwon, Sang-Hee;Bo, Kwang;Lee, Kyu-Sang;Uh, Hyung-Soo;Kim, Byung-Whan
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2007.10a
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    • pp.177-178
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    • 2007
  • 플라즈마 공정은 집적회로 제작을 위한 미세 박막의 증착과 패턴닝에 핵심적으로 이용되고 있다. 본 연구에서는 플라즈마공정감시와 제어에 응용될 수 있는 모델을 제안한다. 본 모델은 광방사분광기 (Optical emission spectroscopy-OES)정보와 역전파 신경망을 이용해서 개발하였다. 제안된 기법은 Oxide 식각공정에서 수집한 데이터에 적용하였으며, 체계적인 모델링을 위해 공정데이터는 통계적 실험계획법을 적용하여 수집되었다. Raw OES 정보대신, Actinometric OES 정보를 이용하였으며, 신경망의 예측성능은 유전자 알고리즘을 이용해서 증진시켰다. OES의 차수를 줄이기 위해 주인자 분석 (Principal Component Analysis-PCA)을 세 종류의 분산(100, 99, 98%)에 대해서 적용하였다. 최적화한 모델의 예측에러는 323 $\AA/min$이었다. 이전에 PCA를 적용하고 은닉층 뉴런의 함수로 최적화한 모델의 예측에러는 570 $\AA/min$이었으며, 개발된 모델은 이에 비해 43% 증진된 예측 성능을 보이고 있다.

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Tracking 작업 수행시의 작업자의 각성 Level에 관한 고찰

  • ;Takao. Ohkubo
    • Proceedings of the ESK Conference
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    • 1996.04a
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    • pp.153-159
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    • 1996
  • 신경감각적 작업의 대표적인 작업중의 하나인 트랙킹작업을 대상으로 작업전후에 취 하는 휴식방법이 작업시간과 작업자의 각성 레벨에 미치는 영향을 명백히 하기 위하여 피실험자로서 8명의 남자대학생을 선발하여 휴식시간에 bio-feedback법을 5분간 이용, 10분간 이용, 이용하지 않았을 경우의 3종류의 휴식방법을 취하게 한후 작업자의 심신 반응과 작업수행도를 측정하였다. 결과로서 뇌파, 심박수 및 CFF값의 변동에서는 휴식 방법에 따라 작업수행시에 유의한 차를 나타내었고 작업수행도에서도 심신반응 패턴과 상관관계를 보여 주었다. 이러한 결과로부터 본 연구의 대상으로 선정한 Tracking작업 과 같은 신경감각적 작업을 수행할 때의 휴식을 취하는 방법 그중에서도 특히 Bio- feedback법을 이용한 심신의 리럭스제이션에 의한 효과가 작업수행시의 각성 레벨의 저하 방지에 유효하게 작용하며 작업후의 회복효과를 한 층 더 높이는 작용을 한다는 것을 확인할 수 있었다.

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Angular-Spatial Multiplexed Volume Holographic Memory System (각.공간 복합 다중화 체적 홀로그래픽 메모리 시스템)

  • 강훈종;이승현;한종욱;김은수
    • Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics D
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    • v.35D no.12
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    • pp.75-82
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    • 1998
  • Many multiplexing techniques are proposed for high storage densities in a volume hologram. In this paper, we present a hybrid angularly and spatially multiplexed volume holographic memory system. Multiple holograms are recorded by using reference and object waves with different incident angles and positions that are changed by step motors. A hologram is written by exposing the crystal with recording time schedule to the interference pattern of the object beam and a reference plane wave. Finally, we show experimental results of the storage of three layers of 300 multiplexed holograms in a LiNbO$_3$ : Fe crystal.

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