• Title/Summary/Keyword: 패턴층

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소다라임 유리기판상 CIGSe2 박막태양전지용 Mo 박막증착 및 MoSe2/Mo 박막특성 연구

  • Choe, Seung-Hun;Son, Yeong-Ho;Jeong, Myeong-Hyo;Park, Jung-Jin;Lee, Jang-Hui;Kim, In-Su;Hong, Yeong-Ho;Yun, Jong-O
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.08a
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    • pp.364-365
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    • 2011
  • 태양광 발전산업에서 현재 주류인 결정 실리콘 태양전지의 변환효율은 꾸준히 향상되고 있으나, 태양전지의 가격이 매년 서서히 하강되고 있는 실정에서 결정질 실리콘 가격의 상승 등으로 부가가치창출에 어려움이 있으며, 생산 원가를 낮출 수 있는 태양전지 제조기술로는 2세대 태양전지로 불리는 박막형이 현재의 대안이며, 특히 에너지 변환 효율과 생산 원가에서 장점이 있는 것이 CIGS 박막 태양전지로 판단된다. 화합물반도체 베이스인 CIGS 박막태양전지는 연구실에서는 세계적으로 20.3% 높은 효율을 보고하고 있으며, 모듈급에서도 13% 효율로 생산이 시작되고 있다. 국내에서도 연구실 규모 뿐만 아니라 대면적(모듈급) CIGS 박막 태양전지 증착용 장비, 제조공정 등의 기술개발이 진행되고 있다. CIGSe2를 광흡수층으로 하는 CIGSe2 박막 태양전지의 구조는 여러 층의 단위박막(하부전극, 광흡수층, 버퍼층, 상부투명전극)을 순차적으로 형성시켜 만든다. 이중에 하부전극은 Mo 재료을 스퍼터링 방법으로 증착하여 주로 사용한다. 하부전극은 0.24 Ohm /cm2 정도의 전기적 특성이 요구되며, 주상조직으로 성장하여야 하며, 고온 안정성 확보를 위하여 기판과의 밀착성이 좋아야하고 또한 레이저 패턴시 기판에서 잘 떨어져야 하는 특성을 동시에 가져야 한다. 그리고 CIGSe2의 광흡수층 제조시 셀렌화 공정에서 100 nm 이하의 MoSe2 두께를 갖도록 해야하며, 이는 CIGSe2 박막태양전지의 Rs 값을 줄여 Ohmic 접촉을 향상시키는데 기여한다. 본 연구에서는 CIGSe2 박막태양전지에서 요구되는 하부전극 Mo 박막의 제작과 CIGSe2 박막태양전지 전체공정에 적용후의 MoSe2/Mo 박막특성에 대해서 연구결과들을 논하고자 한다.

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색변환층으로 작동하는 $CaAl_{12}O_{19}:Mn^{4+}$ 형광체층을 이용한 백색 유기 발광 소자의 색변환 메카니즘

  • Jeong, Hwan-Seok;An, Seong-Dae;Chu, Dong-Cheol;Kim, Tae-Hwan;Gwon, Myeong-Seok
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.02a
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    • pp.422-422
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    • 2010
  • 유기 발광 소자는 전색 디스플레이, 액정디스플레이의 백라이트유닛 및 조명으로의 사용가능성 때문에 많은 관심을 받아 왔고 지속적으로 발전하여 디스플레이 뿐 아니라 조명 시장에서 관심을 갖게 되었다. 그러나 유기 발광 소자의 효율은 무기 발광 소자의 효율보다 낮고 제작하는 데 고비용을 요하기 때문에 조명시장으로의 원활한 진입을 위해서는 지속적인 연구가 필요적이다. 발광층에 삼원색을 혼합하여 백색 유기 발광 소자를 제작하는 방법은 그 제조 공정이 복잡하고 공정 단가가 크게 상승할 우려가 있고 발광 물질의 수명을 동시에 고려해주어야 하는 문제점이 있다. 이 문제를 해결하기 위하여 청색 유기 발광 소자를 제작하고 색변환층으로 적색 형광체를 사용하면 그 단순한 구조에 기인한 간단한 공정으로 인해 가격과 소자성능의 안정성을 가지는 장점을 가질 수 있다. 색변환층의 두께를 통해 유기 발광 소자의 발광 스펙트럼을 아주 용이하게 조절할 수 있어 높은 연색지수를 갖는 백색 발광 유기 소자의 제작이 가능하여 조명으로의 적용 가능성이 아주 크다. 이를 바탕으로 높은 휘도를 갖는 청색 유기 발광 소자의 유리 기판 반대편에 적색 형광체층을 두께별로 도포하여 백색 유기 발광 소자를 제작하였다. 색변환층으로 사용될 적색 형광체는 $CaAl_{12}O_{19}:Mn^{4+}$ 화합물로써 졸-겔 방법을 사용하여 제작하였다. 제작한 $CaAl_{12}O_{19}:Mn^{4+}$ 화합물에 대한 X 선 회절 패턴은 형성된 형광체의 구조임을 알 수 있었다. 각기 다른 형광체의 도포 조건에 따른 구조적 성질과 색변환 효율의 변화를 알아보기 위해 주사전자 현미경 측정으로 확인하였다. 제작된 적색 형광체와 청색 유기 발광 소자는 광루미네센스 스펙트럼과 전계 발광루미네센스 스펙트럼 결과를 사용하여 발광 메커니즘을 분석하였다.

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The Applicability of Conditional Generative Model Generating Groundwater Level Fluctuation Corresponding to Precipitation Pattern (조건부 생성모델을 이용한 강수 패턴에 따른 지하수위 생성 및 이의 활용에 관한 연구)

  • Jeong, Jiho;Jeong, Jina;Lee, Byung Sun;Song, Sung-Ho
    • Economic and Environmental Geology
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    • v.54 no.1
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    • pp.77-89
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    • 2021
  • In this study, a method has been proposed to improve the performance of hydraulic property estimation model developed by Jeong et al. (2020). In their study, low-dimensional features of the annual groundwater level (GWL) fluctuation patterns extracted based on a Denoising autoencoder (DAE) was used to develop a regression model for predicting hydraulic properties of an aquifer. However, low-dimensional features of the DAE are highly dependent on the precipitation pattern even if the GWL is monitored at the same location, causing uncertainty in hydraulic property estimation of the regression model. To solve the above problem, a process for generating the GWL fluctuation pattern for conditioning the precipitation is proposed based on a conditional variational autoencoder (CVAE). The CVAE trains a statistical relationship between GWL fluctuation and precipitation pattern. The actual GWL and precipitation data monitored on a total of 71 monitoring stations over 10 years in South Korea was applied to validate the effect of using CVAE. As a result, the trained CVAE model reasonably generated GWL fluctuation pattern with the conditioning of various precipitation patterns for all the monitoring locations. Based on the trained CVAE model, the low-dimensional features of the GWL fluctuation pattern without interference of different precipitation patterns were extracted for all monitoring stations, and they were compared to the features extracted based on the DAE. Consequently, it can be confirmed that the statistical consistency of the features extracted using CVAE is improved compared to DAE. Thus, we conclude that the proposed method may be useful in extracting a more accurate feature of GWL fluctuation pattern affected solely by hydraulic characteristics of the aquifer, which would be followed by the improved performance of the previously developed regression model.

Community Analysis of Oribatid Mites(Acari: Oribatida) in Namsan and Kwangreung Coniferous Forests (남산과 광릉 침엽수림의 날개응애 군집분석)

  • 박홍현;이준호
    • Korean journal of applied entomology
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    • v.39 no.1
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    • pp.31-41
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    • 2000
  • Community analysis of oribatid mites was conducted in Namsan and Kwangreung coniferous forests which have been received by different degrees of environmental pressures through urbanization processes. Oribatid mites were sampled in the litter and soil layer of study sites from May 1993 to October 1994. Although two sites have been under similar weather condition, seasonal changes in oribatid mites density did not show a synchronized pattern. Density in spring and summer showed stable pattern with low fluctuations, but unstable pattern in autumn between 1993 and 1994. And these patterns were highly correlated with precipitation. The density and species number were higher in the litter layer than in the soil layer and showed no typical seasonal changes. The dominant species were Scheloribates latipes (1 l.78%), Pergalumna altera (8.92%), Eohypochthonius crassisetiger (7.58%), Scheloribates sp. (6.89%) and Suctobelbella yezoensis (5.04%) in Namsan, and Ceratozetes japonicus (25.72%), Punctoribates punctum (14.15%), Trichogalumna nipponica (10.96%) and Ramusella sengbuschi (5.08%) in Kwangreung. The number of species with high constany were 10 and 18 in Namsan and Kwangreung, respectively. Namsan showed the feature of urban forests. In analysis of species diversity, species richness was significantly higher in Kwangreung than in Namsan, while shannon (H') and evenness index (J') were higher in Namsan than in Kwangreung. The values of shannon index (H') in Namsan and Kwangreugn were 2.83 and 2.62, respectively and evenness index (J') were 0.78 and 0.67, respectively. The value of similarity index between two sites was 0.68.

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대면적 기판 위에서의 서브마이크로미터 주기와 크기를 갖는 홀 패턴 형성을 위한 포토리소그라피 공정 최적화

  • Kim, Do-Hyeong;Bae, Si-Yeong;Lee, Dong-Seon
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.08a
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    • pp.244-245
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    • 2010
  • 최근 광전자 분야에서는 미래 에너지 자원에 대한 관심과 함께 GaN 기반 발광다이오드 및 태양전지 연구가 활발히 진행되고 있다. GaN는 높은 전자 이동도와 높은 포화 속도 등의 광전자 소자에 유리한 특성을 가지고 있으나, 고 인듐 함유량과 막질의 우수한 특성을 동시에 구현하는 것은 매우 어렵다. 이를 극복하기 위한 방법으로써 선택 영역 박막 성장법(Selective Area Growth)은 마스크 패터닝을 통해 제한된 영역에서만 박막을 성장하는 방법으로써 GaN의 막질을 향상 시킬 수 있는 방법으로 주목받고 있다. 본 논문에서는 대면적 기판에서 GaN의 막질 향상뿐만 아니라 고인듐 InGaN 박막 성장을 위하여 서브마이크로미터 주기와 크기를 갖는 홀 패턴을 포토리소그라피 공정 최적화를 통해 구현할 수 있는 방법에 대해 논의한다. 그림. 1은 사파이어 기판 위에 선택 영역 박막 성장법을 이용하여 성장한 n-GaN/활성층/p-GaN의 구조를 나타낸 그림이다. 이를 통하여 서브마이크로미터 스케일의 반극성 InGaN면 위에 높은 인듐 함유량을 가지면서도 우수한 특성을 갖는 박막을 얻을 수 있다. 본 실험을 위하여 사파이어 기판 위에 SiO2를 증착한 후 포토레지스트(AZ5206)을 도포하고 포토리소그라피 공정을 진행하여 2um 크기 및 간격을 갖는 패턴을 형성했다. 그림. 2는 AZ5206에 UV를 조사(5초)하고 현상(23초)한 패턴을 윗면(그림. 2(a))과 $45^{\circ}$ 기울인 면(그림. 2(b)) 에서 본 SEM(Scanning Electron Microscope) 사진이다. 이를 통해 약 2.2um의 홀 패턴이 선명하게 형성 됨을 볼 수 있다. 그 후 수백나노 직경의 홀을 만들기 위해서 리플로우 공정을 수행한다. 그림. 3은 리플로우 온도에 따른 패턴의 홀 모양을 AFM(Atomic Force Microscope)을 이용하여 측정한 표면의 사진이다. 이를 통해 2차원 평면에서 리플로우 온도 및 시간에 따른 변화를 볼 수 있다. 그림.3의 (a)는 리플로우 공정을 진행하기 전 패턴이고, (b)는 $150^{\circ}C$에서 2분, (c)는 $160^{\circ}C$에서 2분 (d)는 $170^{\circ}C$에서 2분 동안 리플로우 공정을 진행한 패턴이다. $150^{\circ}C$$160^{\circ}C$에서는 직경에 큰 변화가 없었고, $160^{\circ}C$에서는 시료별 현상 시간 오차에 따라 홀의 크기가 커지는 경향이 나타났다. 그러나 $170^{\circ}C$에서 2분간 리플로우 한 시료 (그림. 3(d))의 경우는 홀의 직경이 ~970nm 정도로 줄어든 것을 볼 수 있다. 홀의 크기를 보다 명확히 표현하기 위해 그림.3에 대응시켜 단면을 스캔한 그래프가 그림.4에 나타나 있다. 그림.4의 (a) 및 (b)의 경우 포토레지스트의 높이 및 간격이 일정하므로, 리플로우에 의한 영향은 거의 없었다. 그림. 4(c)의 경우 포토레지스트의 높이가 그림.4(a)에 비해 ~25nm 정도 낮은 것으로 볼 때, 과도 현상 및 약간의 리플로우가 나타났을 가능성이 크다. 그림. 4(d)에서는 ~970nm의 홀 크기가 나타나서 본 연구에서 목표로 하는 나노 홀 크기에 가장 가까워짐을 확인할 수 있었다. 따라서, $170^{\circ}C$ 이상의 온도와 2분 이상의 리플로우 시간 조건에서 선택 영역 성장을 위한 나노 홀 마스크의 크기를 제어할 수 있음을 확인하였다.

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Enhancement of Ionospheric Correction Method Based on Multiple Aperture Interferometry (멀티간섭기법에 기반한 이온왜곡 보정기법의 보완)

  • Lee, Won-Jin;Jung, Hyung-Sup;Chae, Sung-Ho;Baek, Wonkyung
    • Korean Journal of Remote Sensing
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    • v.31 no.2
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    • pp.101-110
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    • 2015
  • Synthetic Aperture Radar Interferometry (InSAR) is affected by various noise source such as atmospheric artifact, orbital error, processing noise etc.. Especially, one of the dominant noise source for long-wave SAR system, such as ALOS PALSAR (L-band SAR satellite) is the ionosphere effect because phase delays on radar pulse through the ionosphere are proportional to the radar wavelength. To avoid misinterpret of phase signal in the interferogram, it is necessary to detect and correct ionospheric errors. Recently, a MAI (Multipler Aperture SAR Interferometry) based ionospheric correction method has been proposed and considered one of the effective method to reduce phase errors by ionospheric effect. In this paper, we introduce the MAI-based method for ionospheric correction. Moreover we propose an efficient method that apply the method over non-coherent area using directional filter. Finally, we apply the proposed method to the ALOS PALSAR pairs, which include the west sea coast region in Korea. A polynomial fitting method, which is frequently adopted in InSAR processing, has been applied for the mitigation of phase distortion by the orbital error. However, the interferogram still has low frequency of Sin pattern along the azimuth direction. In contrast, after we applied the proposed method for ionospheric correction, the low frequency pattern is mitigated and the profile results has stable phase variation values within ${\pm}1rad$. Our results show that this method provides a promising way to correct orbital and ionospheric artifact and would be important technique to improve the accuracy and the availability for L-band or P-band systems.

광대역 및 전방향 높은 투과도를 갖는 사파이어 나노구조 제작 및 광학적 특성연구

  • Kim, Myeong-Seop;Im, Jeong-U;Go, Yeong-Hwan;Jeong, Gwan-Su;Yu, Jae-Su
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.08a
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    • pp.338-338
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    • 2012
  • 사파이어 ($Al_2O_3$)는 높은 밴드갭 에너지 (~19.5 eV)를 가진 물질로서 우수한 내마모성, 강도, 전기 절연성 및 안정한 화학적 특성을 갖고 발광다이오드 기판, 보석재료 등 각종 산업 및 기술적 분야에서 널리 사용되고 있다. 특히, 플립칩 발광다이오드 구조의 경우 광추출효율을 향상시키기 위해 높은 투과도를 갖는 사파이어 기판이 요구되어 왔으며, 지금까지 건식/습식식각방법을 이용한 사파이어 표면에 마이크로 크기의 심한 거칠기 또는 요철이 형성된 나노크기의 격자구조를 형성시키는 연구가 진행되어 오고 있다. 그 중, 나노 크기의 격자구조는 공기에서 반도체 기판까지 선형적인 유효굴절률 분포를 갖기 때문에 표면에서 생기는 Fresnel 반사 손실을 줄일 수 있다. 이러한 구조를 형성하기 위해서는 식각 마스크가 필요한데, 형성 방법으로 레이저 간섭 리소그래피, 전자빔 리소그래피, 나노임프린트 리소그래피 등이 있으나, 비싼 가격과 복잡한 공정 절차 등의 단점을 지니고 있다. 따라서 본 연구에서는 식각 마스크 패턴을 위해, 보다 저렴하고 간단한 실리카 나노구 및 열적응집 금 나노 입자를 이용하였다. 양면 폴리싱 c-plane 사파이어 기판을 사용하였고, 단일 층의 주기적인 실리카 나노구를 기판 표면에 스핀코팅에 의해 도포한 후 유도결합플라즈마 식각 장비를 이용하여 식각하여 주기적인 패턴을 갖는 렌즈모양의 격자구조를 형성하였다. 그리고 주기적으로 형성된 격자 위에 열 증착기를 이용하여 금 박막을 증착한 후 급속열적어닐닝(rapid thermal annealing)을 이용하여 열처리함으로써 비주기적인 금 나노입자를 형성시켰다. 형성된 금 나노패턴을 이용하여 동일한 조건으로 식각함으로써 광대역 및 전방향성 높은 투과도를 갖는 원뿔 모양의 사파이어 나노구조를 제작하였다. 제작된 샘플의 패턴 및 식각 형상은 전자현미경을 사용하여 관찰하였으며, UV-vis-NIR 분광광도계 (spectrophotometer)를 사용하여 투과율을 측정하였다. 렌즈 모양 표면 위에 원뿔모양의 나노구조를 갖는 사파이어 기판은 일반적인 사파이어 기판보다 향상된 투과율 특성을 보였다.

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Loadbalancing for WDM Network using Dynamic Watermarks (WDM 네트워크에서 동적 워터마크 결정을 이용한 로드벨런싱)

  • Nahm, Jung-Joo;Kim, Sung-Chun
    • Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea TC
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    • v.44 no.2
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    • pp.1-5
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    • 2007
  • Wavelength-division multiplexed (WDM) networks are emerging to be the right choice for the future transport networks. In WDM networks, the optical layer provides circuit-switched lightpath services to the client layer such as IP, SONET and ATM. The set of lightpaths in the optical layer defines the virtual topology. Since the optical switches are reconfigurable, the virtual topology can be reconfigured in accordance with the changing traffic demand pattern at theclient layer in order to optimize the network performance. We present a new approach to the virtual topology reconfiguration and loadbalancing problem for wavelength-routed, optical wide-area networks under dynamic traffic demand. By utilizing the measured Internet backbone traffic characteristics, our approach follows the changes in traffic without assuming that the future traffic pattern is known. For the simulation traffic modeling, we collected the data from real backbone traffic. Experiments show that the standard deviation compared to previous technique is reduced.

Patterns and Factors Causing Construction Waste Generation in High-Rise Housing Projects in Korea : A Case Study (고층 주거건물 프로젝트에서 발생하는 폐기물 발생패턴 및 발생 유발 요인 분석)

  • Cha, Hee-Sung;Shin, Dong-Woo;Kim, Jee-Hye
    • Korean Journal of Construction Engineering and Management
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    • v.7 no.3 s.31
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    • pp.159-168
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    • 2006
  • In order to respond to interest and regulations in sustainable environment which is increasing, construction industry needs to establish a sustainable production system. When generation of wastes can be diminished and recycling of them raised in the construction site as a part of a sustainable production system, it might contribute to not only establishing a sustainable production system but also gaining economical profit. This study is a preliminary research for establishing a sustainable production system, which aims to identify construction waste generation patterns and factors causing construction waste generation. Case studies were implemented to investigate these patterns and factors.

A Study on Optimization of a Multi-Layered Metallic Disk Array Structure for Shaping of Flat-Topped Element Patterns (구형 빔 패턴 형성을 위한 다층 원형 도체 배열 구조의 최적화 연구)

  • 엄순영;박한규
    • The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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    • v.14 no.10
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    • pp.985-995
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    • 2003
  • In this paper, a study on optimization of three dimensional multi-layered metallic disk array structure(MDAS) excited by circular waveguides was performed to shape efficient flat-topped element patterns(FTEP) of ${\pm}$20$^{\circ}$ beam width. Each radiating element of the MDAS is composed of input, transition and radiation circular waveguides and finite metal disks stacked on radiation circular waveguide. It has an array structure of a hexagonal lattice appropriate for the conical beam scanning. The analytic algorithm for the MDAS was proposed and the code was also programmed using it. Optimal design parameters of the MDAS were determined through the optimal simulation process to obtain ${\pm}$20$^{\circ}$ FTEP. Also, bandwidth characteristics for FTEP and reflection coefficients of the MDAS were investigated and, as the results, it was shown that the MDAS could shape good FTEPs of ${\pm}$20$^{\circ}$ beam width in main planes at least within a 5.6 % frequency band.