상압 플라즈마 기술은 표면처리, 온존 발생장치, VOC (Volatile Organic compound) 제거등 다양한 산업분야에서 응용되고 있다. 상압플라즈마 기술 또한 DBD (Dielectric barrier discharge), Griding Arc, SDIP (Surface Discharge Induced Plasma) 등 다양한 기술들이 개발되어져 왔다. VOC를 제거하기 위한 다양한 플라즈마 기술중 특히 BDB 방법과 SDIP 기술들은 플라즈마에 의한 VOC 분해 뿐만 아니라 오존 발생을 통하여 VOC성분을 분해하는 것으로 알려져 있으며 효율이 매우 뛰어난 것으로 보고 되고 있다. 그러나 BDB 방전의 경우 방전이 발생하는 간격이 매우 작아 공기를 정화시키기 위해 좁은 유로를 통하여 일정넓이를 이동하여하 하기 때문에 압력감소가 심하며 이를 개선하기위해 다단으로 설계할 경우 구조가 복잡하고 가격이 고가인 단점이 있다. 본 연구에서는 두 개의 면 전극이 마주보는 형태로 된 DBD 구조의 단점을 보완하기 위하여 빗살무늬 모양의 다층구조의 선형전극으로 구조를 변화시켜 전극에 의한 압력감소를 방지하고 효율적으로 플라즈마 및 오존을 발생시킬 수 있는 VOC제거용 상압 플라즈마 발생장치를 개발하였다. 또한 플라즈마 발생 및 오존발생량이 우수한 것으로 알려져 있는 SDIP 장치 또한 제작하여 비교 평가를 하였다. 제작된 플라즈마 발생장치는 60 Hz와 20kHz의 교류 고압파워 서플라이를 이용하여 플라즈마 발생실험을 진행하였다. 선행 연구에서는 60 Hz의 고압 파워 서플라이를 이용하여도 플라즈마 방전이 잘 된다고 보고되었는데 본 실험에서 60 Hz 파워 서플라이를 사용할 경우 15 kV 이상이 인가될 때 아주 약하게 오존이 발생하는 현상이 관찰되었으나 육안으로 구분이 될 만큼의 플라즈마 방전은 발생하지 않았다. 20kHz의 고압파워 서플라이를 사용한 경우에는 비교적 낮은 전압인 7 kV에서 방전이 관찰되었으며 분당 22 mg의 오존이 발생하였다. SDIP를 이용한 경우 플라즈마가 발생하는 조건은 SDIP의 기하학적 형상에 많이 의존하게 된다. 본 실험에 SDIP 장치는 매우 낮은 전압에서 방전을 시작하였다. 기존의 DBD와는 다르게 1.7 kV에서 플라즈마 발생하였으며 1.8 kV에서 정상적인 플라즈마 방전이 발생하였다. 이때 분당 3.1 mg의 오존이 발생하였다. 오존 발생양은 앞에 빗살형 플라즈마 방전장치에 비하여 낮은데 인가되는 전력을 고려하면 입력된 전기 에너지당 오존발생양은 비슷한 수준이였다.
This paper proposes a method of fault diagnostics on switching mode power supply. When the error of switching mode power supply cannot be found when the conventional diagnostics is performed, this proposed method first performs diagnosis on the switching mode power supply strictly to judge the operating condition. This method analyzes the PWM wave which depends on the load change, to make sure the feedback control of the power supply to diagnosis the operation of the power supply system.
This paper presents a power supply of railway signal system using a Z-source inverter. The Z-source inverter overcomes the conceptual and theoretical barriers and limitations of the tradition voltage-source inverter and current-source inverter and provides novel power conversion concept. The Z-source inverter is a Buck-Boost inverter that has a wide range of obtainable voltage.
본 논문에서는 MMC 기반 HVDC 시스템용 밸브 성능시험회로에서 서브모듈(Sub Module) 커패시터 전압보다 낮은 전원전압을 사용하여 밸브(Valve) 단위의 서브모듈을 시험 할 수 있는 기법을 제안한다. 기존의 성능시험회로는 시험 전류를 만들기 위해 서브모듈 커패시터 전압보다 큰 DC 전원을 필요로 한다. DC 파워 서플라이는 성능시험회로의 가격의 대부분을 차지하므로 고전압 출력 DC 파워 서플라이의 사용은 시험회로 가격 상승의 주된 원인이 된다. 때문에 낮은 DC 전원 전압을 사용함으로 시험회로의 전반적인 가격을 낮출 수 있다. 시뮬레이션을 통하여 제안하는 시험회로의 타당성을 검증하였다.
본 논문에서는 스위칭시 ZVS 기능을 갖는 풀 브리지 위상전이 컨버터의 디지털 컨트롤러의 설계에 대해 연구하였다. 디지털 컨트롤러는 인버터나 전동기 구동 시스템에서 넓게 사용되었다. 그러나 디지털 컨트롤러는 고주파 스위칭 파워 서플라이 (특히 풀브리지 DC/DC 컨버터)에는 적용되지 못했었다. 따라서 본 논문에서는 ZVS 기능을 가진 풀 브리지 위상전이 컨버터의 디지털 컨트롤을 위한 방법을 제안하고, 기존의 아날로그 컨트롤러와 비교하였다. 수치 연산 패키지인 MATLAB을 이용한 컴퓨터 시뮬레이션을 통해 제어기 설계를 최적화하였다.
Journal of the Korean Data and Information Science Society
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제22권4호
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pp.735-740
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2011
최근 전자기기의 소형화, 인텔리전트화, 다기능화, 광대역화에 관심이 집중되어 많은 발전이 이루어졌으며, 이들 전자기기들에 이용되는 모듈형의 전원장치 (SMPS : Switching-mode power supply)도 소형화, 경량화, 고효율화, 고신뢰성화, 저노이즈화를 실현하고 있다. 85~265 볼트교류전압(VAC : Voltage alternating current) 상용 전원을 공급받아 DC 출력을 공급하는 전원장치인 파워모듈은 마이크로컨트롤러, 릴레이 등 전기, 전자 회로용 전원 공급기를 간단하고 쉽게 설계하도록 개발되고 있다. 이 모듈은 전원을 사용하는 장비에 광범위하게 적용할 수 있어 에너지 절감이라는 세계적인 대과제에 적합한 제품이기는 하나 제품의 품질과 성능에 대한 통계적분석이 필요한 바 적용제품의 부하별, 출력전압별 성능분석을 하여 그 문제점을 찾아보려고 한다.
반도체 공정에서 기존보다 큰 30cm 웨이퍼훌 이용하기 위해서 기존의 ECR, Helicon, ICP, 등 공정용 고 밀도 플라즈마 원들의 대면적화에 대한 연구가 세계적으로 진행되고 있다 현 상황에서는 평판형 안테 나룰 이용한 TCP가 대면적용 폴라즈마 원의 가장 유력한 후보로 여겨지고 있다 TCP롤 대면적화 하는 데 있어서 중요한 문제점으로는 대면적에서의 큰 안테나 인되턴스로 인한 임피던스 정합과 대면적에서 의 유전울질의 기계적 강도이다. 앓은 유전물질올 사용힐 수 있도록 대면적 TCP 플라즈마 원올 실계 저l작하였고 이차원 가열이론올 이용한 TCPRP code 률 이용하여 안테나의 반경옳 결정하였디 안테나의 인덕턴스 값올 줄이기 위해서는 주m수는 13.56MHz 보다 낮은 4-5MHz 부근에서 작동하는 RF 파워룰 선택하였다 이 파워 서플라이는 보통 사용되는 50n 흩력 입묘$\mid$던스훌 갖는 형태가 Of니라 LC 공진현상 올 이용하여 부하에 파워률 전달하는 형태이다 .. TCP 장치에 사용할 수 있도록 파워 서플라이 흩력 단에 안테나와 직혈로 가변 콘덴서를 달아서 임11I던스 정합올 힐 수 있게 하였다 안테나에 직훌로 달Of줌으 로써 안테니의 인덕턴스훌 훌여주는 효과훌 얻올 수 있다 안테나에 흐르는 전류룰 측정하기 위해서 사 각형 루프로 전류 픽업 코일을 만들었고 진공상태에서 RF 파워률 인가하고 안테나의 전류와 전압을 측정하여 픽업 코일걸과훌 조정하였다. 발생기체로는 헬륨올 사용하였고 1-100mTorr 의 압력범위에서 실험을 하였다 플라즈마롤 빌샘시키고 파워를 증가 시킴에 따라 E-H mode transition 현상이 관찰되었고 그 때의 임계 전류 값을 측정하였다. 압력이 낮올수록 모드 변화가 일어나는 전류의 값이 작았다 임계 전류는 압력에 대해서 선형적인 특성을 보였다 이는 압력이 낮을수록 유도걸힘이 더 잘 된다는 것을 의미한다 1 1 mTorr에서는 H-mode에서 안테나의 전류가 파워훌 증가시킴에 따라 계속 증가하였으니, 압력이 올라 갈수록 조금씩 증가하는 정도가 줄어들고. 100mTorr에서는 포화된 값을 나타냈다 H-mode로 넘어간 후 에는 파워가 증가황에 따라 안테나의 임피던스 값이 모든 압력영역에서 줄어드는 경황을 보였고, 이는 플라즈마의 인덕턴스에 의해서 안테나의 인덕턴스 기 감소되기 때문이다, 파워가 증가할수록 안테U오} 플라즈마 루프사이의 상호걸합이 증가하는 걸로 해석힐 수 있다 안테나의 인되턴스 변화보다는 저항.성 분의 변화가 컸다 하지만 전체 임피던스로 볼 때 저항성분이 상대적으로 작기 때문에 인덕턴스의 감소 가 더 큰 영향을 미치는 걸로 볼 수 있다. 하지만 플라즈마로의 파워 전달에는 저항성분만이 영향올 미 치므로 저항성분의 큰 변화는 파워가 많이 전달될올 의미한다 피워전달 효율을 계산해 본 결과 수 r mTorr 부근이 80-90% 정도의 높은 효율올 보였고 5mTorr 일 때가 가장 좋았다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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