• Title/Summary/Keyword: 투명재료

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Characterization of Al-doped ZnO Thin Films by Atomic Layer Deposition (원자층 증착법으로 증착한 Al을 도핑한 ZnO 박막의 특성평가)

  • Shin, Woong-Chul;Choi, Kyu-Jeong
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2008.06a
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    • pp.175-175
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    • 2008

  • 투명전극으로 사용되고 있는 Indium tin oxide (ITO) 박막은 전기적 전도도와 기판과의 접확성, 화학적 안정성, 광투과율 등의 특성과 함께 우수한 전기 광학적 거동을 보이고 있다. 그러나 ITO는 고가의 재료이기 때문에 대체 투명전극으로 Al을 도핑한 ZnO 박막의 연구가 활발히 진행되고 있다. ZnO:Al 박막은 chemical vapor deposition, reactive magnetron sputtering, electron-beam evaporation, pulsed laser deposition 등의 당양한 방법을 이용하여 증착하였다. 그러나 최근 낮은 온도에서 대면적의 균일성과 우수한 특성 때문에 atomic layer depositon (ALD) 방법을 이용하여 많은 연구가 진행되고 있으며, 이런 투명전극은 태양전지를 위해 연구되어지고 있다. 따라서 본 연구에서는 ALD 방법으로 Al의 도핑 양을 조절하여, ZnO:Al 박막을 제조하여 그 특성을 평가하고, 또한 ZnO TFT를 제작하여 발표하고자 한다. ZnO와 ZnO:Al 박막은 실리콘과 유리 기판 위에 ALD (Lucida-D200, NCD Technology) 장치로 증착하였다. DEZn, TMA, $H_2O$는 ZnO와 ZnO:Al 박막을 증착하기 위한 전구체와 반응가스로 사용하였다. 증착된 박막은 XRD와 HRTEM을 이용하여 결정구조와 미세구조를 분석하였다. AFM과 4-point probe를 이용하여 증착된 박막의 표면 거칠기와 면저항을 관찰하였다. semiconductor parameter 분석기를 이용하여 제작된 ZnO TFT를 평가하였다.

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Effects of Removing of Transparent Polyethylene Film on Garlic Growth, Yield and Weed Occurrence in double Layer mulching Cultivation (이중피복 마늘재배 시 투명P.E.필름 제거가 마늘 생육 및 수량과 잡초 발생에 미치는 영향)

  • Lee, Jae-Sun;Kim, In-Jae;Youn, Cheol-Ku;Ahn, Ki-Su;Kim, Ki-Hyen;Nam, Sang-Yong;Kim, Hong-Sig
    • Korean Journal of Organic Agriculture
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    • v.21 no.3
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    • pp.413-422
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    • 2013

  • This experiment was conducted to clarify the effect of double layer mulching on reducing the labor required to weed control and Leaf sheath training of the garlic cultivation. Six mulching methods(non-mulching, transparent P.E., rice hull+transparent P.E., sawdust+transparent P.E., rice straw+transparent P.E., black P.E. film+ transparent P.E.) were used for the experiment, and transparent P.E film was removed on April 10. Weed occurrence was in the order of black P.E. film< transparent P.E

  • https://doi.org/10.11625/KJOA.2013.21.3.413 인용 PDF KSCI

Fabrication of flexible organic solar cells on Roll-to-Roll sputter grown flexible indium tin oxide electrode (Roll-to-Roll 스퍼터로 성장시킨 플렉시블 ITO 전극을 이용한 플렉시블 유기태양전지 제작)

  • Choi, Kwang-Hyuk;Kang, Jae-Wook;Kim, Han-Ki
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2008.11a
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    • pp.64-64
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    • 2008

  • 연속공정이 가능한 Roll to Roll sputter system을 이용하여 플렉시블 indium tin oxide(ITO) 투명전극을 PET(polyethlyene terephthalate) 기판위에 성막하였다. 연속 성막공정을 위해 Roll to Roll sputter system에서의 unwinder roller와 rewinder roller를 이용한 servomotor의 rolling으로 기판의 움직임이 완벽히 제어되었으며, 외부 응력으로 부터의 안정성 및 성막 공정 시의 PET 기판의 열적 변형을 최소화하기 위한 접촉식 냉각방식의 cooling system을 main drum으로 사용하였다. 또한 고분자 기판과 투명전극 사이의 adhesion을 향상시키기 위한 전처리 공정으로 gridless linear ion beam source를 pretreatment system으로 구축하였다. 이렇게 제작된 Roll to Roll sputter system을 이용하여 PET 기판위에 연속공정을 통해 ITO 투명전극을 성막하였다. 성막된 플렉시블 ITO/PET 투명전극은 XRD, HREM, SEM 분석을 통하여 main drum의 cooling에 의해 완전한 비정질 구조를 나타내었음을 확인할 수 있었으며, 비록 Roll to Roll sputter system을 통하여 상온에서 성막 되었음에도 불구하고 최적화 된 조건에서 가시광선 영역 83.46 %의 높은 광투과도 값과 47.4 Ohm/square의 비교적 낮은 먼저항 값을 얻을 수 있었다. 또한 Bending test 결과를 통하여 ion source의 전처리 공정으로 굽힘/평의 반복적 응력에 따른 전기적 특성 열화를 최소화 할 수 있음을 보였다. 최적화된 플렉시블 투명전극을 이용하여 P3HT:PCBM 기반의 플렉시블 유기태양전지를 제작하였으며, 제작된 유기태양전지로부터 1.88%의 power conversion efficiency (PCE)을 확보함으로써 플렉시블 유기태양전지 제작을 위한 ITO/PET 투명전극 성막 공법으로써 Roll to Roll sputter system의 적용가능성을 확인할 수 있었다.

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