투명 박막 트랜지스터 활성층 제조에 있어 원자층 증착법과 스퍼터링법으로 성장한 산화아연 박막의 물성 비교

  • 임성준 (포항공대 신소재공학과) ;
  • 김형준 (포항공대 신소재공학과)
  • Published : 2006.05.19