• 제목/요약/키워드: 터널간섭

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SONOS 형태의 플래쉬 메모리 소자에서 인접 셀 간 발생하는 간섭 현상

  • 장상현;유주형;김태환
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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    • pp.253-253
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    • 2010
  • Silicon-oxide-nitride-oxide-silicon (SONOS) 구조를 가지는 플래쉬 메모리 소자는 기존의 플래쉬 메모리 소자에 비해 쓰고 지우는 속도가 빠르고, 데이터의 저장 기간이 길며, 쓰고 지우는 동작에 의한 전계 스트레스에 잘 견뎌내는 장점을 가지고 있다. 그러나 SONOS 형태의 플래쉬 메모리 소자에 대한 전기적 특성에 대한 연구는 많이 진행되었으나, SONOS 형태의 플래쉬 메모리에서 소자의 셀 사이즈가 감소함에 따라 발생하는 인접한 셀 간의 간섭 현상에 대한 연구는 상당히 미흡하다. 본 연구에서는 SONOS 형태의 플래쉬 메모리에서 소자의 셀 사이즈가 작아짐에 따라 발생하는 인접한 셀 간의 간섭 현상에 대해 조사하였다. SONOS 형태의 플래쉬 메모리소자의 터널링 산화막, 질화막과 블로킹 산화막의 두께를 결정하였고, 각 셀의 크기가 감소함에 따라 발생하는 소자의 전기적 특성을 3차원 시뮬레이션 툴인 Sentaurus를 사용하여 계산하였다. 병렬 캐패시턴스에 의해 셀들 사이에 발생하는 커플링 효과를 확인하기 위해 선택한 셀의 문턱 전압이 주변 셀들의 프로그램 상태에 의해 받게되는 영향을 관찰하였다. 본 연구에서는 셀 사이에 간섭 방지층을 삽입함으로 인접 셀 간 발생하는 간섭현상의 크기를 크게 줄일 수 있음을 시뮬레이션 결과를 통하여 확인하였다. 이때 간섭 방지층의 깊이에 따라 감소하는 문턱전압의 변화량을 계산하였고, 방지층을 충분히 깊게 제작함으로 셀 간 간섭 현상을 막을 수 있음을 확인 하였다.

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암반 필라를 포함한 비대칭 근접 병설터널의 안정성 평가에 관한 연구 (A study on the stability analysis for asymmetry parallel tunnel with rock pillar)

  • 김도식;김영근
    • 한국터널지하공간학회 논문집
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    • 제9권4호
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    • pp.387-401
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    • 2007
  • 최근 용지매입의 제한, 주변 구조물과의 간섭 등으로 두 터널의 이격거리가 매우 작은 근접 병설터널의 시공이 증가하고 있다. 이러한 경우 터널의 안정성뿐만 아니라 중앙 필라부의 안정성 확보를 위한 보강공법의 선정은 매우 중요한 문제라 할 수 있다. 본 연구에서는 상 하행선의 터널단면이 다른 비대칭 형태이면서, 두 터널간의 이격거리가 매우 근접한 병설터널에 대한 안정성 평가 및 필라부 보강방안에 대하여 상세한 해석적 검토를 수행하였다. 또한 근접 병설터널의 안정성을 확보할 수 있도록 암반 필라의 안정성 검토와 보강공법 등 근접 병설터널의 사례연구를 토대로 보강공법의 적정성과 합리적인 대안을 제시하였다. 특히, 굴착순서, 이격거리, 굴착방법에 따른 터널 거동 파악을 위하여 암반 필라의 응력상태 및 터널변위를 분석하여 암반파괴이론에 근거한 안정성 평가를 수행하였다. 또한 암반 필라부 보강공법의 적정성 검토 및 향후 근접병설 터널에서의 암반 필라 안정성 확보를 위한 개선방안을 제안하였다

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생분해성 간섭나사를 이용한 전방십자인대 재건술 후 발생한 지연성 염증반응 - 증례 보고 - (The Delayed Inflammatory Reaction after Anterior Cruciate Lligament Reconstruction with a Bioabsorbable Interference Screw Fixation - A Case Report -)

  • 임홍철;노경선;양재혁
    • 대한관절경학회지
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    • 제10권1호
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    • pp.87-90
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    • 2006
  • 자가 슬개건을 이용한 전방십자인대 재건술 시 사용되는 생분해성 간섭나사로 인한 합병증은 많지 않다. 저자들은 슬개건을 사용한 전방십자인대 재건술 시 생분해성 간섭 나사로 이식건을 고정 후 경골과 대퇴골 터널에 발생한 지연성 염증반응 1예에 대해 보고하고자 한다.

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생분해성 간섭나사를 이용한 전방 십자 인대 재건술 후 발생한 결절종 - 증례보고 - (Pretibial Ganglion after Anterior Cruciate Ligament Reconstruction with Bioabsorbable Interference Screw fixation $(Bioscrew^{\circledR})$ - A Case Report -)

  • 송은규;심상돈;김명선
    • 대한관절경학회지
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    • 제6권2호
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    • pp.188-191
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    • 2002
  • 자가 슬괵건을 이용한 전방 십자인대의 재건술시 사용되는 Poly-L-Lactic-Acid 성분의 생분해성 간섭나사로 인한 합병증은 많지 않다. 저자들은 전방 십자 인대 재건술시 생분해성 간섭나사로 이식건을 고정 후 경골 터널 전방에 발생한 결절종에 대해 결절종 절제술과 동시에 간섭나사를 제거한1예에 대해 보고하는 바이다.

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복층터널 분기부에서의 보강공법(루프형 강선)에 따른 수치해석 연구 (Numerical analysis study of reinforced method (loop type) at the double-deck tunnel junction)

  • 이석진;박스칸;이준호;진현식
    • 한국터널지하공간학회 논문집
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    • 제20권5호
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    • pp.823-837
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    • 2018
  • 도심지 교통정체를 해소하고 지상공간 활용도를 높이기 위해 세계 각국에서는 단일 면적에 최대 교통량을 확보할 수 있고 저수공간등 다목적 활용이 가능한 복층 터널 건설이 각국에서 진행되고 있다. 최근 국내에서도 복층터널 시공에 대한 수요가 증가하고 있으며 단일 노선 복층터널뿐만 아니라 지중에서의 분 합류부 및 교차로 시공까지 가능한 네트워크형 복층터널 개발 연구가 진행 중에 있다. 네트워크형 복층터널에서 지중 분기부 및 합류부 시공 시 형성되는 필라부는 복층터널 본선부와 분기터널간의 상호 간섭효과에 의해 응력집중이 발생되는 취약부로 지반조건에 따른 보강공법 적용이 필요하다. 본 논문은 강연선을 사용하여 loop 형태로 필라부를 구속함으로써 다축 방향으로 구속력을 발휘할 수 있는 보강공법을 제시하였다. 이 방법의 검증을 위하여 실제 복층터널 필라 형성부와 복층터널 상하부에서의 분기되는 구간을 각각 모델링하여 수치해석을 수행하였다. 이를 통해 적정 필라폭 확보에 대한 방안을 제시하였고 기존 보강방법과의 비교 및 보강효과에 대한 수치해석적 검증을 수행하여 실제 현장 적용 전 복층터널 분기부 시공방안을 강구하였다.

철도터널 진동 모니터링을 위한 광섬유 가속도계 개발 (Development of FBG Accelerometer for Railway Tunnel Vibration)

  • 이수형;신민호;김현기;이규완
    • 한국철도학회논문집
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    • 제14권4호
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    • pp.364-369
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    • 2011
  • 터널의 안전관리를 위해서는 효과적이고 지속적인 계측이 필요하다. 현재 적용되고 있는 대부분의 계측센서로는 터널의 국부적인 상태만을 파악할 수 있으므로 전체 터널의 안전상태를 파악하기 위해서는 다수의 설치가 필요하다. 철도터널의 경우 일정한 조건의 열차운행이 정기적으로 이루어지므로 터널구조물에 발생하는 진동을 지속적으로 관측하여 분석하면 상대적으로 넓은 범위의 영역에 대하여 터널 손상을 효과적으로 예측할 수 있다. 한편 철도터널 내에는 고전압으로 인한 전자기장의 간섭이 있으므로, 이를 배제할 수 있는 계측센서의 적용이 필요하다. 본 연구에서는 이러한 문제점을 해결하기 위하여 광섬유격자센서를 이용한 가속도계를 개발하였다. 기존 터널의 진동계측 결과를 검토하여 철도터널 진동 계측에 적합한 가속도계의 사양을 결정하였다. 민감도와 측정범위의 향상을 위하여 새로운 구조를 적용한 가속도계를 개발하였으며 실내시험을 통해 그 성능을 검증하였다. 개발된 광섬유 가속도계를 적용하여 고속철도 터널의 상시 진동모니터링 시스템을 구축한 사례를 소개하였으며, 열차운행에 의하여 발생하는 진동 측정 결과를 통해 개발된 가속도계의 유효성을 제시하였다.

Thermal Treatment Effects of Staggered Tunnel Barrier(Si3N4/Ta2O5) for Non Volatile Memory Applications

  • 이동현;조원주
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.159-160
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    • 2012
  • 지난 30년 동안 플래시 메모리의 주류 역할을 하였던 부유 게이트 플래시 메모리는 40 nm 기술 노드 이하에서 셀간 간섭, 터널 산화막의 누설전류 등에 의한 오동작으로 기술적 한계를 맞게 되었다. 또한 기존의 비휘발성 메모리는 동작 시 높은 전압을 요구하므로 전력소비 측면에서도 취약한 단점이 있다. 그러나 이러한 문제점들을 기존의 Si기반의 소자기술이 아닌 새로운 재료나 공정을 통해서 해결하려는 연구가 최근 활발하게 진행되고 있다. 특히, 플래시 메모리의 중요한 구성요소의 하나인 터널 산화막은 메모리 소자의 크기가 줄어듦에 따라서 SiO2단층 구조로서는 7 nm 이하에서 stress induced leakage current (SILC), 직접 터널링 전류의 증가와 같은 많은 문제점들이 발생한다. 한편, 기존의 부유 게이트 타입의 메모리를 대신할 것으로 기대되는 전하 포획형 메모리는 쓰기/지우기 속도를 향상시킬 수 있으며 소자의 축소화에도 셀간 간섭이 일어나지 않으므로 부유 게이트 플래시 메모리를 대체할 수 있는 기술로 주목받고 있다. 특히, TBM (tunnel barrier engineered memory) 소자는 유전율이 큰 절연막을 적층하여 전계에 대한 터널 산화막의 민감도를 증가시키고, 적층된 물리적 두께의 증가에 의해 메모리의 데이터 유지 특성을 크게 개선시킬 수 있는 기술로 관심이 증가하고 있다. 본 연구에서는 Si3N4/Ta2O5를 적층시킨 staggered구조의 tunnel barrier를 제안하였고, Si기판 위에 tunnel layer로 Si3N4를 Low Pressure Chemical Vapor Deposition (LPCVD) 방법과 Ta2O5를 RF Sputtering 방법으로 각각 3/3 nm 증착한 후 e-beam evaporation을 이용하여 게이트 전극으로 Al을 150 nm 증착하여 MIS- capacitor구조의 메모리 소자를 제작하여 동작 특성을 평가하였다. 또한, Si3N4/Ta2O5 staggered tunnel barrier 형성 후의 후속 열처리에 따른 전기적 특성의 개선효과를 확인하였다.

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연속터널구간에서 터널간격에 따른 속도변화특성에 관한 연구 (A Study on the Speed Variation Characteristics According to Tunnel Intervals in the Continuous Tunnel Conditions)

  • 정충근;서승환;원제무
    • 대한교통학회지
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    • 제20권2호
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    • pp.47-58
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    • 2002
  • 본 논문은 중앙고속도로 금대2터널∼치악1터널 구간의 연속터널을 대상으로 하였다. 독립터널과 연속터널 구간에서 교통량에 의한 속도간섭 없이 자유속도로 주행할 때 터널구간에서의 속도변화를 살펴보고 이러한 속도변화를 고려한 터널간 이격거리 산출에 중점을 두었으며 연구결과를 요약하면 다음과 같다. 첫째, 독립된 터널에서 터널 전방 1km지점과 터널부(진입전·후지점)와의 속도변화 및 속도감소량은 평균 7.1km/hr(6.9%)로 나타났으며 연속터널구간에서도 터널진입부에서 평균 2.7km/hr(2.9%)의 속도가 감소하나, 터널진출부에서의 속도변화는 -3.6km/hr(-3.8%)의 속도감소에서 +4.1km/hr(+4.7%)의 속도증가까지 불규칙적으로 나타났다. 둘째, 연속터널에서는 터널간격이 짧을 경우는(조사대상 터널간 거리중 392m까지) 속도가 감소하고 터널간격이 길 경우에는(조사대상 터널간 거리중 782m부터) 속도가 증가하는 것으로 분석되었다. 셋째, 조사결과를 다중회귀분석을 이용하여 연속터널에서 속도변화가 없는 터널간 거리를 산정한 결과, 터널간 이격거리는 732m로 산정되었으며 이러한 거리는 연속터널간을 주행시 속도분포가 거의 균등화되어 교통상의 안정류를 가질 수 있는 것으로 분석되었다.

근접 병설터널에서 필라 압축방법에 따른 필라부 강도특성 변화에 관한 연구 (A Study on the Estimation of the Behaviors by Compression Method of Rock Pillar between Close Parallel Tunnels)

  • 김제경;이송
    • 한국지반공학회논문집
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    • 제29권12호
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    • pp.87-94
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    • 2013
  • 근래 들어 도심지 주변의 교통난 해소를 위한 터널 건설이 증가하고 있으나 기존 노선과의 선형, 주변 구조물과의 간섭, 용지 매입의 제한 및 매입비 증가 등과 같은 제한적인 요인과 터널예정 부지 주변의 민원 및 환경훼손 최소화 등과 같은 환경적인 요인으로 인해 터널 계획시 많은 어려움을 겪고 있다. 이를 해소하고자 터널간의 거리를 좁게하는 근접병설터널의 사례가 증가하고 있으나 이러한 근접병설터널의 경우 터널간 거리를 충분히 확보하고 있는 일반적인 터널에 비해 안정성 측면에서 불리한 점이 많은데, 특히 좁은 필라부의 강도를 증가시키기 위한 다양한 방법을 적용하고 있으나 필라부의 적정한 거동특성을 반영한 필라부 보강공법은 많지 않은 실정이다. 본 논문에서는 필라부의 적정한 거동특성을 반영한 보강공법을 비교, 분석하고 이를 수치해석을 통해 검증하였다.