Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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1999.07a
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pp.136-136
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1999
박막의 탄성특성을 평가하는 방법으로 nano-indentation, Brillouin light scattering measurement, ultrasonic surface wave measurement, bulge test, vibration membrane method 등 여러 가지가 제시되어 왔다. 최근에는 탄성특성을 평가할 수 있는 간단한 방법으로 기판 식각 기법을 이용한 freehang, bridge 방법이 제시되었다. 이중에서 bridge 방법은 간단한 식각 기법을 이용하여 얇은 박막에서도 탄성 특성을 평가할 수 있는 방법으로 제시되었다. 그러나 식각 과정에서 발생하는 patch 부분의 under-cut으로 인해 정확한 bridge의 길이를 측정할 수 없게 되어 오차가 발생하고 있다. 본 연구에서는 bridge 방법에서 발생하는 오차를 줄이기 위한 방법으로, patch 부분에 etch-stop을 제작해 줌으로서 식각 과정에서 발생하는 under-cut을 효과적으로 제거시켰다. Etch-stop은 2장의 mask를 align key를 이용하여 제작하였다. 먼저 산화막이 형성되어 있는 Si 기판위에 mask 1을 이용하여 patch 부분을 lithography 작업하고, 습식 식각 공정을 한 뒤 DLC 필름을 증착시킨다. 다음으로 mask 2를 이용하여 bridge pattern을 제작하고, DLC 필름을 증착시킨 후 lift-off 기술과 산화막 등방식각 공정을 통해 bridge를 제작하였다. 이렇게 제작된 bridge를 통해 필름이 기판에 부착되기 위해 필요한 변형률을 측정하고, 독립적으로 측정된 필름의 잔류응력과 함께 박막의 응력-변형률 관계식에 적용시켜 biaxial elastic modulus, E/(1-v)를 구할 수 있었다. Sidl 첨가된 DLC 필름은 rf-PACVD 장비를 이용하여 증착하였다. 이때 전극과 플라즈마 사이의 바이어스 음전압은 -400V로 합성압력은 10mTorr로 고정하였다. 사용한 반응가스는 벤젠(C6H6)과 희석된 실렌(SiH4:2H=10:90)이며, 희석된 실렌의 첨가량을 조절하여 필름 내에 함유된 Si의 양을 조절하였다. 각각의 조건에서 증착시간을 조절하여 필름의 두께를 조절하였다. 필름의 잔류응력은 압축잔류 응력에 의해 발생한 필름/기판 복합체의 곡률을 laser 반사법을 이용하여 측정하고, 이 결과를 Brenner 등에 의해 유도된 식을 대입하여 계산하였다.
We synthesized thermoplastic polyurethane elastomer(TPU) with acid group and nano zinc oxide, and characterized their mechanical properties, thermal properties, contact angle and grip property. The effects of the zinc oxide content and size on the physical property of TPU were investigated. When the nano zinc oxide was introduced in TPU with acid group, it had excellent mechanical properties and grip by formation of hydrogen and ionic bonding. The wet slip of TPU with zinc oxide was increased continuously as ionization rate increased due to increase of hydrophilicity and ionic interaction, and mechanical properties were increased with increasing ionization rate up to 50%.
Son, Dong Geon;Jeong, In Up;Kim, Dong-Ju;Byun, Yong-Hoon
Journal of the Korean Geosynthetics Society
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v.20
no.4
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pp.133-140
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2021
There are few attempts to estimate the strength and stiffness of controlled low strength material (CLSM) using existing field-testing methods. The objective of this study is to evaluate the resilient modulus of CLSM by using the Light Weight Deflectometer (LWD) and investigate the relationships between the resilient modulus from LWD and the unconfined compressive strength (UCS) and secant modulus of elasticity from unconfined compressive test. Five CLSMs with different mix designs are used to evaluate the flowability and the stiffening of the CLSM in the flow and Vicat needle tests, respectively. To evaluate the early strength and stiffness characteristics, unconfined compressive tests are performed using the CLSM specimens cured for 1 and 7 days. LWD tests are carried out to estimate the resilient modulus of the CLSM specimens. The experimental results show that for the curing time of 1 day, the UCS and secant modulus of elasticity generally increase with the fast setting mortar content (FC). The CLSM specimen with the highest FC shows the significant increase in the UCS and secant modulus of elasticity along the curing time. Overall, the resilient modulus for the curing time of 1 day increases with the FC, while that for the curing time of 7days decreases with an increase in the FC. From the results, the linear relationships between the resilient modulus and UCS and secant modulus of elasticity are established.
Journal of the Computational Structural Engineering Institute of Korea
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v.12
no.3
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pp.281-292
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1999
지반-기초 상호작용계를 해석할 때 실제로 지반은 다양한 지반종류와 다층으로 형성되어 있으므로 지반 특성의 변화를 고려해야 한다. 초기의 대부분의 상호작용계의 정·동적 해석은 지반의 복잡한 성질을 역학적으로 탄성거동을 한다고 가정한 Winkler 지반모델 혹은 지반을 등방성이고 균질한 반무한 탄성체로 가정한 반무한 탄성지반 모델로 보아 수행되었다. 본 연구는 유한 요소법을 이용하여 지반-기초 상호작용계의 동적 거동을 해석하기 위해 기초는 4절점 후판요소를 사용하고 지반은 지반특성을 고려할 수 있도록 8절점 6면체 요소를 사용하였고, 지반의 감쇠효과 및 지반특성을 고려한 지반-기초 상호작용계의 동적 거동을 유한요소법으로 해석하고 지반의 영향범위를 결정하는 것이다.
Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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2004.05a
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pp.93-93
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2004
형상기억합금은 2원 또는 3원 합금에 의해 외력과 온도 변화에 따라 오스테나이트 상과 마르텐사이트 상으로의 상변환을 유발한다. 이와 같은 형상기억합금은 두 가지의 고유한 특성으로 인해 최근에는 의학용 기구나 소형 액츄에이트 및 여러 분야에서 적용되어지고 있다. 이때 형상기억합금의 고유한 특성은 모상인 오스테나이트 상의 형상을 기억하여 외력에 의해 마르텐사이트 상으로 변형된 후에도 오스테나이트 종료온도 이상으로 가열하게 되면 원래의 형상으로 되돌아가는 형상기억 효과와 오스테나이트 종료온도 이상에서 넓은 탄성 영역을 가지는 초탄성 효과 등이다.(중략)
Elastic wave scattering from an acoustically rigid or soft object is studied and compared with the acoustic wave scattering. The behavior of phases as well as magnitudes of partial waves and their total summation of scattered wave are numerically analyzed and discussed. The effect of mode conversion, which occurs between longitudinal and transversal waves in elastic wave scattering. on the magnitudes and phases of scattered waves is identified.
Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers
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v.17
no.8
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pp.1971-1979
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1993
In this paper, a new method to estimate stress status in metal nondestructively by using nonlinear dependency of sound speed on stress is proposed. For the purpose, equivalent nonlinear elastic constants up to fourth-order are introduced and a new characteristic parameter given as a function of these constants is presented. And a concrete system to measure the characteristic parameter is constructed by electromagnetic pumping wave and ultrasonic probing wave system. Some experimental results for Al alloy showed that the estimation of stress status in metal is possible by the proposed method.
Proceedings of the Acoustical Society of Korea Conference
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spring
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pp.297-302
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1999
평판의 일반적인 형태의 진동을 해석하기 위해서는, 외면진동뿐만이 아니라 내면진동을 해석하여야 한다. 평판 내면진동의 경우 탄성파인 종파와 전단파의 전파에 의한 영향으로 발생하며, 진동 변위, 진동 에너지, 진동 인텐시티 등의 특성들을 이해하기 위해서는 각 파동의 영향을 분리하여 낼 필요가 있다. 내면진동을 해석하기 위하여 진동 모드법을 사용할 수 있으나, 각 파동에 의한 영향을 분리하여 낼 수가 없다. 본 논문에서는 진동장을 탄성파들에 의한 영향의 합으로 나타냄으로써, 각 파동에 의한 진동 변위, 진동 에너지, 진동 인텐시티 둥의 영향들을 분리할 수 있는 해석 방법을 제안하고자 한다. 이러한 해석 방법을 이용하여 점가진력에 의하여 강제 진동하는 평판의 내면 진동장에 대한 수치 계산을 수행하였다. 결과로써 진동 변위, 진동 에너지, 진동 인텐시티 등을 이루는 탄성파들의 기여도와 특성들을 분석함으로써 본 해석기법의 유용성을 보였다.
Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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v.35
no.2
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pp.101-106
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2007
The optical performance of the mirror for satellite camera is highly dependent on the adhesive properties between the mirror and its support. Therefore, in order to design a mirror with high optical performance, the mechanical properties of adhesives should be well defined. In this paper, the mechanical properties of three kinds of space adhesives are studied. Elastic moduli of the adhesives are determined by tensile tests. Stress-strain relation is obtained by using exponential curve fitting for the adhesive which shows non-linear behavior. In case of the linear behavior material, elastic modulus is calculated through linear curve fitting. For the tensile tests, several points have been selected in the operating temperature range of the adhesive. The elastic modulus of each adhesive is expressed as a function of temperature. Characteristics of the adhesives are discussed regarding their temperature sensitivity.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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