• 제목/요약/키워드: 타겟

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A study on the effect of Cu amount thin films prepared by magnetron sputtering with Mo-Cu single alloying target (Mo-Cu 단일 합금타겟을 이용하여 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 박막의 Cu 함량에 따른 연구)

  • Lee, Han-Chan;Sin, Baek-Gyun;Mun, Gyeong-Il
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2015.05a
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    • pp.73-74
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    • 2015
  • 본 연구에서는 상호간의 고용도가 없는 Mo, Cu 재료의 합금화가 용이하도록 기계적 합금화법(Mechanical Alloying)을 이용하여 Mo-Cu 합금분말을 제조하였고, 준안정상태의 구조의 유지가 가능한 방전 플라즈마 소결법(Spark Plasma Sintering)을 이용하여 합금타겟을 제작하였다. Mo-Cu 박막을 제작하기 위해서 합금타겟을 이용하였고 스퍼터링 공정을 진행하여 박막을 제작하였다. 그 결과 Mo-10wt%Cu 단일타겟을 이용하여 제작한 박막의 경우 Ar : N 분위기에서 27.7GPa 로 가장 높은 경도값을 가지는 것을 확인하였다. 또한 Mo-5wt%Cu 단일타겟을 이용하여 Ar : N 분위기에서 제작한 박막은 건식조건에서의 마찰계수값이 0.69 로 가장 낮은 것을 확인할 수 있었으며 윤활조건(GF4)에서는 Mo-10wt%Cu 단일타겟을 이용하여 Ar : N 분위기에서 제작한 박막이 0.56 으로 가장 낮았다.

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Target Marketing using Inverse Association Rule (역 연관규칙을 이용한 타겟 마케팅)

  • 황준현;김재련
    • Journal of Intelligence and Information Systems
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    • v.9 no.1
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    • pp.195-209
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    • 2003
  • Making traditional plan of target marketing based on association rule has brought restriction to obtain the target of marketing. This paper is to present inverse association rule as a new association rule for target marketing. Inverse association rule does not use information about relation between items that customers purchase, but use information about relation between items that customers do not purchase. By adding inverse association rule to target marketing, we generate new marketing strategy to look for new target of marketing. There are three steps to apply the marketing strategy proposed by this Paper to target marketing. Firstly, a database is converted to an inverse database. Although inverse association rules can be generated from a database, it is easier to explain inverse association rule in an inverse database than in a database. Secondly, association rules and inverse association rules are generated from inverse database. Finally, two types of rules which are created in the previous steps are applied to target marketing. From new marketing rule, this paper is to show direct marketing about target item and indirect marketing about another item associated with target item to sell target item. The reason is that sales of the item associated with target item have an influence on sales of target item.

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An Empirical Study of Minimum Required Size and the Minimum Number of Targets for Pen Input on the Small Display (소형 정보기기의 화면 디자인에서 최적의 펜입력을 위한 구성요소의 크기와 개수에 대한 경험적 연구)

  • Park, Jeong-Soon
    • Archives of design research
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    • v.17 no.4
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    • pp.61-68
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    • 2004
  • A great variety of handheld device are coming onto the market. Some have advanced features compacted into very small sized hardware. In order to maximize the capability of these devices, we need to understand the characteristics of different input methods and utilize them in a sufficient way. Our study aims to understand characteristics of each device, so that we can design user interfaces more effectively. Two experiments were conducted to compare target pointing performance with a pen and with a hardware key on small displays. In experiment 1, we examined participants' performance of target pointing with both input methods at different target sizes. It was found that pen operation is more erroneous than key based operation when target size is smaller than 5mm, but at a target size of 5mm, the error rate decreased to the same level as for key input. In experiment 2, we examined the effect of the number of targets. The results showed, with a target size of 5mm, the pen could point to targets quicker than with key input, when the distance to the target exeeds a path length of 3 steps.

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Process Characteristics and Applications of High Density Plasma Assisted Sputtering System (HiPASS)

  • Yang, Won-Gyun;Kim, Gi-Taek;Lee, Seung-Hun;Kim, Do-Geun;Kim, Jong-Guk
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.02a
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    • pp.95-95
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    • 2013
  • 박막 공정 기술은 반도체 및 디스플레이뿐만 아니라 대부분의 전자소자에 적용되는 매우 중요한 기술이다. 그 중, 마그네트론 스퍼터링 공정은 플라즈마를 이용하여 금속 및 세라믹 등의 벌크 물질을 박막으로 증착 가능한 가장 널리 사용되는 방법 중의 하나이다. 하지만, Fe, Co, Ni 같은 강자성체 재료는 공정이 불가능하며, 스퍼터링 타겟 효율이 40% 이하이고, 제한적인 방전압력 범위 및 전류 상승에 의한 높은 전압 인가 제한이 있다는 단점이 있다. 본 연구에서 사용된 고밀도 플라즈마 소스를 적용한 고효율 스퍼터링 시스템은 할로우 음극을 이용한 원거리에서 고밀도 플라즈마를 생성하여 전자석 코일을 통해 자석이 없는 음극으로 이온을 수송시켜 스퍼터링을 일으킨다. 따라서 강자성체 재료의 스퍼터링이 가능하며, 90% 이상의 타겟 사용 효율 구현 및 기존 마그네트론 스퍼터링 대비 고속 증착이 가능하다. 또한, $10^{-4}$ Torr 압력영역에서 방전 및 스퍼터링이 가능하다. 타겟 이온 전류를 타겟 인가 전압과 관계없이 0~4 A까지, 타겟 이온 전류와 상관없이 타겟 인가 전압을 70~1,000 V 이상까지 독립적으로 제어가능하다. 또한 TiN과 같은 질소 반응성 공정에서 반응성 가스인 질소를 40%까지 넣어도 타겟에 수송되는 이온의 양에 영향이 없다. 할로우 음극 방전 전류 40 A에서 발생된 플라즈마의 이온에너지 분포는 55 eV에서 가우시안 분포를 보였으며, 플라즈마 포텐셜인 sheath drop은 74 V 였다. OES를 통한 광학적 진단 결과, 전자석에 의한 이온빔 초점에 따라 플라즈마 이온화율을 1.8배까지 증가시킬 수 있으며, 할로우 음극 방전 전류가 60~100 A로 증가하면서 플라즈마 이온화율을 6배까지 증가 가능하다. 또한, 타겟 이온 전류와 관계없이 타겟 인가 전압을 300~800 V로 증가시킴에 따라 Ar 이온 밀도의 경우 1.4배 증가, Ti 이온 밀도의 경우 2.2배 증가시킬 수 있었으며, TiN의 경우 증착 속도도 16~44 nm/min으로 제어가 가능하다.

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Generation and Gender Differences in Physical Attractiveness and Likability Perception (세대와 성별에 따른 신체적 매력과 호감 지각의 집단 차이에 대한 검증)

  • Baek, Inhae;Jung, Taeyun
    • Korean Journal of Culture and Social Issue
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    • v.27 no.1
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    • pp.73-93
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    • 2021
  • The present study examined the relations between physical attractiveness and likability and we also investigated whether these variable's effects differ depending on generation (young and middle-aged) × evaluator gender (male and female) × target gender (male and female). Second, when assessing these variables, we figured out whether evaluators more preferred 'the same-sex preference' than 'the opposite-sex preference'. To that end, 120 college students participated in the 3D program to sample their ideal looks and bodies. Then, another 240 people (60 young men and women each, 60 middle-aged men and women each) evaluated the physical attractiveness, likeability, relationship preference, and personality of the sample. The result is that physical attractiveness is a positively related to likability. There were evaluator gender and target gender differences in the judgment of physical attractiveness, but there were generation and target gender differences in the judgment of likability. Lastly, the effect based on target-maker gender was different for evaluator gender in each factor evaluation. These results were discussed from the evolutionary and sociocultural perspectives on physical attractiveness.

Moving Target Detection Algorithm for FMCW Automotive Radar (FMCW 차량용 레이더의 이동타겟 탐지 알고리즘 제안)

  • Hyun, Eu-Gin;Oh, Woo-Jin;Lee, Jong-Hun
    • Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SC
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    • v.47 no.6
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    • pp.27-32
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    • 2010
  • 77GHz FMCW(Frequency Modulation Continuous Wave) radar system has been used for automotive active safety systems. In typical automotive radar, the moving target detection and clutter cancellation including stationary targets are very important signal processing algorithms. This paper proposed the moving target detection algorithm which improve the detection probability and reduce the false alarm rate. First, the proposed moving target beat-frequency extraction filter is used in order to suppress clutter, and then the data association is applied by using the extracted moving target beat-frequency. Then, the zero-Doppler target is eliminated to remove the rest of clutter.

Design and Verification of PCI 2.2 Target Controller (PCI 2.2 타겟 컨트롤러 설계 및 검증)

  • Seo, Kyung-Ho;Choi, Eun-Ju;Seo, Kwang-Duck;Hyun, Eu-Gin;Seong, Kwang-Su
    • Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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    • 2005.05a
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    • pp.1671-1674
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    • 2005
  • PCI 2.2 마스터 디바이스가 타겟 디바이스로부터 데이터를 읽어 오고자 할 때 타겟 장치는 내부적으로 데이터를 준비해야 함으로 인해 PCI 버스가 데이터 전송 없이 점유되는 상황이 발생한다. 이를 위해 PCI 2.2 사양에서는 지연전송을 제안하여 전송 효율을 향상시켰지만 이 역시 타겟 디바이스가 얼마의 데이터를 미리 준비 해둘지를 알 수 없어 인해 버스 사용 및 데이터 전송 효율을 떨어뜨리는 원인을 제공한다. 본 논문에서는 먼저 이를 해결하기 위한 새로운 방법을 제안한다. 그리고 이 방법을 지원하는 PCI 타겟 컨트롤러와 로컬 디바이스를 설계하였다. 설계되어진 PCI 타겟 컨트롤러는 PCI 2.2를 전혀 모르는 사용자도 쉽게 PCI 인터페이스를 지원할 수 있도록 한 프로토콜 변환기로 사용될 수 있다. PCI 타겟 컨트롤러와 로컬 디바이스는 먼저 행위 모델로 설계하였으며 또한 이들을 검증하기 위한 테스트벤치를 설계 하였다. 이를 통해 제안되어진 방법의 성능을 측정하였으며 후에 다시 실제 하드웨어로 설계하였다. 설계되어진 하드웨어를 효과적으로 검증하기 위해 참조모델, 랜덤발생기, 비교엔진으로 구성된 랜덤 테스트 환경을 제안하였다. 이 검증 환경에서 수행된 결과를 비교함으로써 일반적인 테스트 벡터에서 발견하기 어려운 에러들을 발견할 수 있었다.

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선형 대향 타겟 스퍼터 시스템을 이용하여 성막한 Ti-doped $In_2O_3$ 박막의 전기적, 광학적, 구조적 특성 연구

  • Lee, Ju-Hyeon;Sin, Hyeon-Su;Kim, Han-Gi
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.02a
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    • pp.325-325
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    • 2013
  • 본 연구에서는 선형 대향 타겟 스퍼터(Linear Facing Target Sputtering: LFTS) 시스템을 이용하여 성막한 Ti-doped In2O3 (TIO) 투명 전극의 전기적, 광학적 특성을 연구하였다. LFTS 시스템을 이용하여 유리기판 위에 TIO 박막을 증착시킬 때, 타겟과 기판 사이의 거리(Target-to-Substrate Distance)를 30 mm, 타겟과 타겟 사이의 거리(Target-to-Target Distance)를 65 mm, Ar/$O_2$ 가스의 비율 100:1로 각각 고정한 후, TIO 타겟에 인가되는 DC 파워와 공정압력을 변수로 TIO 박막을 하였다. LFTS 공정을 이용한 TIO 투명전극의 성막 공정 중 DC파워와 공정압력 변화에 따른 구조적, 표면적 특성 변화는 field-effect scanning electron microscopy (FE-SEM) 과 x-ray diffractometry (XRD) 분석을 통해 관찰되었다. 이렇게 증착된 200 nm 두께의 TIO 투명전극은 급속열처리 시스템으로 700도에서 후 열처리를 진행하였으며 상온에서 217.5 ohm/sq의 면저항을 나타내는 TIO박막이 열처리후 35 ohm/sq로 면저항이 급격히 감소됨을 확인하였다. 뿐만 아니라 열처리후 가시광선 영역 (400~800 nm)에서의 TIO 박막의 평균 투과율이 81.02%에서 83.4%로 향상됨을 UV/visible spectrometry 분석을 통해 확인하였다. 본 연구에서는 다양한 분석을 통해 TIO 박막의 특성과 ITO와 구별되는 다양한 장점을 소개한다.

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이종 타겟을 지닌 대향 타겟 스퍼터링 방법으로 제작된 AZO 박막의 광학적·전기적 특성에 관한 연구

  • ;Seo, Seong-Bo;Bae, Gang;Kim, Dong-Yeong;Choe, Myeong-Gyu;Kim, Hwa-Min
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2014.02a
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    • pp.337-337
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    • 2014
  • 투명 전도성 산화물(transparent conductive oxide: TCO) 박막은 높은 투과율과 낮은 비저항 덕분에 LCD (liquid crystal display), PDP (plasma display panel), OLED (organic light emitting display) 등 평판 디스플레이에 널리 사용되고 있다. 현재 양산되고 있는 ITO (indium tin oxide)는 90% 이상의 높은 투과율과 우수한 전도성으로 인해 TCO 박막 가운데서 디스플레이 산업에서 가장 널리 쓰이고 있다. 그런데, ITO의 인듐산화물에 의한 간질성 폐렴(interstitial pneumonia)의 유발 위험이 있다든가, 인듐의 매장량이 적어 원자재 가격이 비싼 단점도 가지고 있다. 이에 최근 ITO를 대체할 수 있는 TCO물질로 많은 연구가 이루어지고 있는데, 특히 AZO (aluminum-doped zinc oxide)는 그 중 대표적인 대체물질로서 독성이 없고 가격도 저렴하여 많은 관심이 증폭되고 있다. 현재 AZO는 sol-gel 방법이나 CVD (chemical vapor deposition) 또는 스퍼터링 방법 등으로 증착되고 있다. 본 연구에서는 두 개의 이종타겟(hetero target)을 장착한 대향 타겟 스퍼터링(facing target sputtering: FTS) 장치를 사용하여 AZO 박막을 제작한다. 기존의 여러 증착법과 달리, FTS 장치는 두 타겟 사이에 형성되는 플라즈마 내의 ${\gamma}$-전자를 구속하게 되며, 낮은 가스 압력에서 고밀도 플라즈마가 생성되어 빠른 증착 속도와 안정적인 방전을 유지한 상태에서 박막을 증착할 수가 있다. 또한 기판과 플라즈마가 이격되어 있어 높은 에너지를 갖는 입자들의 기판 충돌을 억제할 수 있는 장점들을 갖는다. 이종 타겟인 ZnO와 Al2O3를 사용하고 각 타겟에 인가되는 파워 변화를 통해 AZO 박막 내 Al2O3의 성분비를 조절하였다. ZnO 타겟의 증착 파워를 100 W로 고정할 경우, Al2O3 타겟의 증착 파워가 (50~90) W으로 실험을 하였으며, Al2O3 타겟의 증착 파워가 70 W일 때 AZO 박막의 Al2O3 성분비는 2.02 wt.%이며 박막의 비저항 값은 $5{\times}10^{-4}{\Omega}{\cdot}cm$로 최소값을 보였다. 이러한 비저항의 변화는 파워에 따른 AZO 박막의 캐리어 이동도(Hall mobility)와 캐리어의 농도(Carrier Concentration)의 변화와 밀접한 관계가 있음을 보여주며, 특히 AZO 박막의 캐리어 농도와 캐리어 이동도는 AZO 박막을 형성하고 있는 결정립의 크기에 의존하는 것이 X-선 회절 패턴과 SEM으로부터 확인되었다. 특히, 본 연구에서는 두 개의 이종 타겟(hetero target) Al2O3와 ZnO를 장착하고 각각의 파워를 변화시켜 도핑 량을 조절할 수는 대향 타겟 스퍼터링(FTS: facing-target sputtering) 방법을 이용하여 제작된 AZO 박막에 대해 전기적, 광학적 및 구조적 특성을 분석하고 ITO의 대체물로서의 가능성을 검토하고자 한다.

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펄스레이저 증착법의 원리와 응용

  • 이상렬
    • 전기의세계
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    • v.45 no.5
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    • pp.17-22
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    • 1996
  • PLD 장치는 진공 또는 반응가스가 채워진 챔버안에 다층 박막을 증착시킬 수 있는 여러개의 타겟홀더와 기판홀더가 존재하고 물질을 기화시켜 박막을 증착시키기 위해 외부 에너지원으로 고출력 레이저가 사용되며, 일련의 광학장치들은 타겟표면에 레이저 빔을 접속시키고 주사하기 위해 사용된다. 타겟표면에 접속된 레이저 빔은 타겟표면 물질을 플라즈마 (또는 플룸) 상태로 만들고 이 플룸이 결정화에 알맞는 온도로 가열된 기판위에서 결정구조를 가진 박막을 형성한다. 진공장치와 기화에너지원의 분리는 PLD 시스템을 유연하게 해서 내부적으로 기화에너지원의 사용에 의한 제한없이 다른 동작 모드에 쉽게 적용할 수 있다.

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