• 월간 기계설비
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• s.230
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• pp.49-64
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• 2009

과거 건설업이 태동되던 시절 구들난방과 수도꼭지가 전부였던 기계설비는 최근들어 건축물의 첨단화, 다양화에 따라 전체 공사비에서 일반건축물은 20% 이내, 병원 및 첨단 인텔리전트빌딩은 30%, LCD, 반도체 크린룸은 50% 이상을 차지하고 있다. 이러한 기계설비의 발전에 견인차 역할을 담당한 대한설비건설협회는 올해로 창립 20 주년을 맞이했다. 본지는 기계설비의 태동과 성장, 그리고 대한설비건설협회의 활동을 통해 기계설비의 발전사를 조명해 보고자 한다.

• Journal of the KSME
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• v.32 no.3
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• pp.268-289
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• 1992

미크론 단위의 부유분진인 미립자를 취급하고 제어하는 초청정 공간인 클린룸 기술은, 산업의 꽃이라고 불리우는 첨단기술 분야로 주도적 역할을 담담하고 있는 반도체 제조산업의 발달과 함께 눈부시게 발달되었고 그 시장도 급속히 확대되고 있다. 반도체 산업뿐 아니라 하이테크의 파도에 편승해서 고도로 미세화, 무균화되고 있는 산업화의 추세에 따라 클린룸 필요로 하는 산업분야도 날로 넓어지고 있다. 각종 전자부품, 광학기기, 자기테이프, 정밀기계, 우주항공산업 등 산업용 클린룸과 또한 제약, 의료, 유전공학 등 바이오 클린룸의 응용범위는 점점 다양화되며 고도화되고 있다. 이러한 각종 산업분야의 요구에 부응하여 관련기술의 건축 및 공조설비, 제조 공정 설비 등의 관점에서 현재의 클린룸의 기술 및 발전현황을 살펴보고 파악하는 것이 관련분야 에서 연구 및 개발에 종사하고 있는 공학인들에게 도움이 될 것으로 사료된다.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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• v.26 no.6
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• pp.1178-1186
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• 2002

Clean stockers are being used by semiconductor and TFT-LCD manufacturers to store and buffer work in process. The only way to keep the stored product clean is to provide constant clean airflow the product and through stocker. Up to now, stockers typically have been configured to receive their laminar airflow from fan filter units that are located on the side of the stocker. This type of stocker may have such problems as complexity of structure, increment of temperature, mechanical vibration, initial investment and running cost. In this study, in order to solve the above mentioned problems, new air control system in stocker is proposed, which is to control open ratios of exits that are located on the side of the stocker without fan filter units. In this study, static pressure regain was used for the analysis of the open ratios of exits theoretically and experiment was also conducted using actual clean stocker for TFT-LCD manufacturers and CFDesign, was used for simulating airflow in stocker. As a result, open ratios of exits can be obtained by the analysis of static pressure regain and was verified by experiment and simulation results. Therefore, new air control system in stocker can be used by the semiconductor and TFT-LCD manufacturers.

• Proceedings of the Korean Society of Computer Information Conference
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• 2010.07a
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• pp.63-66
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• 2010

기존의 입자계수기(Particle Counter)는 0.3um의 최소 인식 크기와 샘플링 유량이 2.83 lpm을 갖는다. 본 논문에서는 0.1um의 최소 인식 크기와 샘플링 유량이 28.3lpm과 50lpm을 갖는 입자 계수기를 개발하였다. 이와 함께 온도, 습도, 정전기를 실시간으로 측정하여, 이를 무선 인터페이스를 통해서 모니터링 프로그램과 연동, DB화하여 크린룸 현장의 환경을 실시간으로 유지 관리하도록 하였다.

• Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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• 2003.05a
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• pp.1099-1106
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• 2003

진동에 민감한 각종 정밀장비를 갖추고 있는 공장구조물은 설립하는 설계 초기단계에서부터 정밀장비가 정상 운용을 위하여 공장구조물의 진동허용규제치 및 동특성허용규제치를 결정해야 한다. 이를 만족할 수 있도록 공장구조물 설계시 진동측면에 대하여 동적 특성을 검토해야만 한다. 이때 반드시 필요한 자료로 정밀장비 Maker에게서 제공되는 진동허용규제치 및 구조물의 동특성허용규제치 등 설치시방의 상세한 자료를 제공받아야 한다 이러한 선계조건을 만족시켜주기 위한 방안으로 외부에서 정밀장비로 유입되는 진동에 대한 진동절연을 위하여 진동전달률 이론을 적용하여 방진효율 산출하는 방법과 정밀장비에서 발생하는 동하중을 고려하여 공장구조물에 대한 동적설계를 수행하는 것으로, 구조물 동특성을 요구되는 만큼 구조물 동특성 변경 SDM(Structural Dynamic Modifacation)방법이 주로 활용된다. 이에 본 연구에서는 앞서 언급한 구조물의 동적설계시 후자조건인 구조물의 동특성을 변경하고자 하는 경우에 실구조물에 하중을 정량적으로 조절하며 가할 수 있는 VSD 시스템을 이용하여 구조물의 동특성을 변화시키는 것을 동적해석으로 예측하였고, 현장에서 실제 동적실험으로 구한 결과를 동적설계 목표치와 비교하여 유용성에 대하여 확인하였다.

• Journal of the Korean Magnetics Society
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• v.9 no.1
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• pp.48-54
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• 1999

For the high speed linear motor and the transportation device at clean room, a magnetic levitation rail without contact using the repulsive force of permanent magnets was newly developed. The characteristics of repulsive and lateral forces of the magnetic levitating system using permanent magnet was studied and the devised magnetic levitating system was evaluated by analytical and experimental approaches. This system is composed of two fixed guide rails with the rare earth permanent magnet array and a moving unit which is attached two magnet pairs at each sides. Because this system was forcedly levitated by the face to face repulsive forces, levitating air gap length can be repulsive force of an auxiliary magnetic repulsion system on the center of moving unit.

• Korean Journal of Air-Conditioning and Refrigeration Engineering
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• v.24 no.7
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• pp.578-584
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• 2012

In this study, the analysis on the distribution of indoor airflow velocity and temperature by using numerical simulation has carried out to make fundamental data for establishing the optimum design of laboratory animal facilities. From the results, it was found that replacement of cage lacks, air supply and exhaust system, supply air temperature, supply air velocity affect to the optimum design of laboratory animal facilities as a important element.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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• v.26 no.1
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• pp.121-130
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• 2002

Clean stockers are being used by semiconductor and TFT-LCD manufacturers to store and buffer work in process. Since an important function of a stocker is to keep the contained material clean. The only way to keep the stored product clean is to provide constant clean airflow the product and through stocker, The airflow across the product prevent contamination from settling on the product. Up to now, stocker typically have been configured to receive their laminar airflow from fan filter units that are located on the side of the stocker This type of stocker may have such problems as complexity of structure, increment of temperature, mechanical vibration, initial investment and running cost. In this study, In order to solve the above mentioned problems, new air control system in stocker is proposed, which is to control open ratios of exits that are located on the side of the stocker without fan filter units. Open ratios of exits need to be optimized for the same quantities of airflow in each exit. In this study, static pressure regain was used for the analysis of the open ratios of exits theoretically and Blue Ridge Numerics FEM software, CFDesign, was used fur simulating airflow in stocker. As a result, Open ratios of exits important to provide constant clean airflow can be obtained by the analysis of static pressure regain and was verified by simulation results. Therefore, new air control system in stocker can be used by the semiconductor and TFT-LCD manufacturers.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.1 no.2
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• pp.33-40
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• 2000

The present invention relates to a absorption rotor for removed VOC(volatile organic compound) and humidity in semiconductor clean room system. A absorption rotor medium is made by NaX zeolite and TS-1 zeolite formed on a honeycomb matrix of ceramic papers. The crystallization of NaX zeolite was hydrothermal reaction, and NaX zeolite crystals of a uniform particle size of 5$\mu$m were synthesized that NaX zeolite seed crystals (2~3$\mu$m) added in a batch composition at levels of 3~15 wt$\%$. The seeding resulted in an increase in the fraction of large crystals compared with unseeded batches and successfully led to a uniform NaX zeolite crystal. The microporous zeolite-type titanosilicate(TS-1) was synthesized by different of the reactant solution pH. The pH range of reactant solution has been changed from 10.0 to 11.5 TS-1 zeolite (ETS-10), having a large pore(8~10 $\AA$), was synthesized at 10.4 of pH, since TS-1 zeolite (ETS-4), having a small pore(3~5$\AA$), was synthesized at 11.5 of pH.

• Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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• 1992.10a
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• pp.48-52
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• 1992

진동원을 가진 장비를 임의의 구조물에 설치할 경우 관심이 되는 문제는 구 조물의 임의의 위치에서의 진동 수준을 추정하는 일이다. 특히 정밀장비를 다루는 반도체 공장에서 크린룸이나, 정밀측정, 분석 실험실등 미진동을 제 어해야 하는 분야에서는 더욱 그 필요성이 대두되고 있다. 진동제어가 필요 한 공간에 대한 진동수준의 예측이 가능할 경우 진동윈이나 수진점(active and passive type)방진에서 최적화된 전달률(transmissibility)을 명확히 결정 할 수 있어 설계와 시행오차를 최소화 할 수 있다. 그러나 이러한 실제문제 를 다룰 경우 대부분 진동제어 구조물은 복잡하고 설치 운용되는 장비들은 대형, 복합장비가 사용되는 것이 일반적이고 수행기간도 여러가지 공정상 단 시간에 이루어져야 하는 현실적인 어려움이 있다. 진동제어가 필요한 구조물 에 대한 임의의 공간에서 진동수준을 신속하고 정확하게 예측하기 위해서는 최소한 두 가지 정보만이라도 명확히 해야 한다. 하나는 장비의 주파수별 정 확한 가진력의 산정이고 다른 하나는 장비가 설치되고 진동제어가 필요한 구조물에 대한 동적특성(dynamic property)이다. 가진력에 대한 정보는 일반 적으로 장비제작사가 제시하는 것이 원칙이나 그렇지 못할 경우 구조해석 기술자(structure engineer)가 해석적으로 추정하거나 또는 명확히 가진 특성 을 알지 못하는 복잡한 장비는 실험적으로 결정해야 한다. 구조물의 동적 특 성을 나타내는 모빌리티(mobility)를 구하는 방법은 해석적인 방법과 실험적 인 방법이 있으나 복합재료, 복잡한 구조형태나, 지지조건, 다양한 결합부의 동적 특성을 정의하여 해석적으로 정확히 해결하기에는 어려움이 있다. 이러 한 제한조건을 손쉽게 해결하는 방법은 실 구조물에 대한 동적실험(dynamic test)을 통하여 단기간에 동적특성을 결정하고 SDM(structure dynamic modification)이나 FRS(force response simulation)를 수행하여 임의의 좌표 공간에 대한 진동수준을 해석적으로 예측할 뿐만 아니라 구조물의 진동제어 를 위한 동적인자를 변경시킬 수 있는 정보를 제공하며 장비를 방진할 경우 신뢰성 있는 전달률을 결정할 수 있다. 실험적으로 철교, 교량이나 건물의 철골구조 및 2층 바닥 등 대,중형의 복잡한 구조물에 대항 동특성을 나타내 는 모빌리티를 결정할 경우 충격 가진 실험이 사용되는 실험장비 측면에서 나 실험을 수행하는 과정이 대체적으로 간편하다. 그러나 이 경우 대상 구조 물을 충분히 가진시킬수 있는 용량의 대형 충격기(large impact hammer)가 필요하게 된다. 이러한 동적실험은 약 길이 61m, 폭 16m의 4경간 교량에 대 하여 동적실험을 수행하여 가능성을 확인하였다. 여기서는 실험실 수준의 평 판모델을 제작하고 실제 현장에서 이루어질 수 있는 진동제어 구조물에 대 한 동적실험 및 FRS를 수행하는 과정과 동일하게 따름으로써 실제 발생할 수 있는 오차나 error를 실험실내의 차원에서 파악하여 진동원을 있는 구조 물에 대한 진동제어기술을 보유하고자 한다.