• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.463-463
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• 2010

고휘도 고효율 백색 LED (lighting emitting diode)가 차세대 조명광원으로 급부상하고 있다. 백색 LED를 생산하기 위한 공정에서 MOCVD (유기금속화학증착)장비를 이용한 Epi wafer공정은 에피층과 기판의 격자상수 차이와 열팽창계수차이로 인하여 생성되는 에피결함의 제거를 위하여 기판과 GaN 박막층 사이에 완충작용을 해줄 수 있는 버퍼층 (Buffer layer)을 만들고 그 위에 InGaN/GaN MQW (Multi Quantum Well)공정을 하여 고휘도 고효율 백색 LED를 구현할 수 있다. 이 공정에서 기판의 온도가 불균일해지면 wafer 파장 균일도가 나빠지므로 백색 LED의 yield가 떨어진다. 균일한 기판 온도를 갖기 위한 조건으로 기판과 induction heater의 간격, 가스의 흐름, 기판의 회전, 유도가열코일의 디자인 등이 장비의 설계 요소이다. 코일에 교류전류를 흘려주면 이 코일 안 또는 근처에 있는 도전체에 와전류가 유도되어 가열되는 유도가열 방식은 가열 효율이 높아 경제적이고, 온도에 대한 신속한 응답성으로 인하여 열 손실을 줄일 수 있으며, 출력 온도 제어의 용이성 및 배출 가스 등의 오염 없다는 장점이 있다. 본 연구에서는 유도가열방식의 induction heater를 이용하여 회전에 의한 기판의 온도 균일도 측정을 하였다. 기초 실험으로 저항 가열 히터를 통하여 대류에 의한 온도 균일도를 평가하였다. 그 결과 gap이 3 mm일 때, 평균 온도 $166.5^{\circ}C$ 에서 불균일도 6.5 %를 얻었으며 이를 바탕으로 induction heater와 graphite susceptor의 간격이 3 mm일 때, 회전에 의한 온도 균일도를 측정을 하였다. 가열원은 induction heater (viewtong, VT-180C2)를 사용하였고, 가열된 graphite 표면의 온도를 2차원적으로 평가하기 위하여 적외선 열화상 카메라(Fluke, Ti-10)을 이용하여 온도를 측정하였다. 기판을 회전하면서 표면 온도의 평균과 표준 편차를 측정한 결과 2.5 RPM일 때 평균온도 $163^{\circ}C$ 에서 가장 좋은 5.5 %의 불균일도를 확인할 수 있었고, 이를 상용화 전산 유체 역학 코드인 CFD-ACE+의 모델링 결과와 비교 분석 하였다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2002.07b
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• pp.577-579
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• 2002

Propose of this paper is VCM (voice coil motor) design for application of Nanoindenter, which enable control of extremely small force and displacement. This paper present the VCM shape to produce a very small force by the difference of flux density of lower part from higher one. In wide range of current. VCM produces linear driving force and operate on regular thrust having maximum displacement(100um) was practiced.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2004.07c
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• pp.1957-1959
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• 2004

In this paper, maxwell 3D finite element analysis program was used to obtain electromagnetic properties associated with the coil and nearby structures. The electromagnetic emitting properties were presented by 3D simulation software operated at 2.56[MHz] and some specific conditions.

• The Proceeding of the Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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• v.2 no.2
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• pp.69-78
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• 1991

전자파장해 측정에 사용되는 대표적인 측정시설에는 접지면(ground plane)을 갖춘 야외시험장 (open area test site), 전자파반무향실(semianechoic chamber), TEM(transverse Electromagnetic) cell, 평행판선로(parallel plate line), 헬름홀츠코일(Helmholtz coil), 전자파잔향실(reverberating chamber) 등이 있으며, 이러한 시설은 시험대상기기의 크기, 주파수대역, 적용규격의 규제치, 측정하고자 하는 전자기장의 형태 및 편파면, 그리고 시험신호의 전기적 특성(주파수영역 또는 시간영역) 등을 고려하여 선택되고 구성되 어야 한다. 실제로 시험장소를 건설하는데 막대한 비용이 소요되고, 큰 측정오차를 유발시킬 수 있기 때문에 매우 신중 하게 설계, 구성하여야 한다.

• Proceedings of the KSME Conference
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• 2005.11a
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• pp.156.2-156.2
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• 2005

• Proceedings of the KSMRM Conference
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• 2001.11a
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• pp.177-177
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• 2001

목적： Head coil이나 Knee coil로 촬영하기에 부피가 작은 신체의 부위나 동물을 촬영하기 위하여 3T small birdcage coil을 개발하고 실험을 통해 코일의 효율성을 조사하였다. 대상 및 방법： 원통형 아크릴과 구리테이프를 사용하여 원통의 내경이 Knee coil보다 작은 8개의 elements를 가진 birdcage coil을 설계 제작하였고 팬톰, 지원자, 동물에 대한 MR 영상으로 그 가치를 평가하였다.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2006.10a
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• pp.299-300
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• 2006

• Proceedings of the Korea Electromagnetic Engineering Society Conference
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• 2001.11a
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• pp.106-110
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• 2001

In this paper, a broadband sleeve monopole antenna using a loading coil in sleeve is proposed. The antenna of the proposed structure has the same of the single sleeve monopole antenna, except for using the coil instead of the inner conductor in sleeve. As a result, it is found that the bandwidth is 1.239～2.154 GHz(above 53.9%) for S$\sub$11/=-10dB(VSWR<2), and the antenna impedance is good for a communication system and feeder which the impedance has 50$\Omega$.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.3 no.3
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• pp.331-336
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• 1994

Electron cyclotron resonance plasma chemical vapor deposition (ECRPCVD) 장치에서 공정변 수에 따른 수소플라즈마 특성을 조사하였다. 균일한 플라즈마 밀도를 얻기 위하여 전자공명층이 기판과 평행하게 형성되도록 정자장 코일을 설계하였으며 기판근처에 부가적으로 형성된 multicusp field 에의 해서 기판 근처에서의 플라즈마 균일도를 개선시킬수 있었다. 또한 절연된 공진실과 기판에의 독립적인 DC bias에 의해서 기판으로 입사하는 하전입자들이 에너지와 유량을 조잘할 수 있었다. 이러한플라즈마 특성을 갖는 ECRPCVD장치를 다양한 특성을 갖는 박막 합성에 응용할 수 있으리라 사료된다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2011.07a
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• pp.1117-1118
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• 2011

NMR이나 MRI와 같은 고자장을 필요로 하는 마그넷은 높은 운전전류를 갖는 초전도 선재를 이용하여 제작된다. 이때 마그넷은 여러 코일을 겹쳐서 제작하는 것이 일반적이고, 크게 내측마그넷과 외측 마그넷으로 구분할 수 있다. 본 논문에서는 15T 외측마그넷 안에서 동작하는 5T급 내측마그넷의 설계 과정을 나타내었다. 내측마그넷은 2세대 고온초전도 선재를 이용하여 설계되고, 4.2K의 액체헬륨 안에서 동작한다. 마그넷의 임계전류는 초전도 선재의 $I_c$-B 특성을 고려하여 산정하였고, 임계전류를 바탕으로 운전전류를 결정하였다. 내측마그넷의 발생자장이 5T를 만족하는 운전전류와 마그넷의 형상을 계산을 통하여 제시하였다.