Proceedings of the KSME Conference (대한기계학회:학술대회논문집)

2005.11a
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Pages.156.2-156.2
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2005

The Korean Society of Mechanical Engineers (대한기계학회)

권호 표지

Design and Control of High-precision Decoupled Dual-stage

초정밀 Decoupled 이중 스테이지의 설계 및 제어

Choi Young-Man (KAIST) ;
Kim Kihyun (KAIST) ;
Kim Jungiae (KAIST) ;
Gweon Dae-Gab (KAIST) ;
Lee Moon G. ;
Lee Sukwon ;
Park Jungwoo ;
Kim Hyuk

최영만 ;
김기현 ;
김정재 ;
권대갑 ;
이문구 (삼성전자) ;
이석원 (삼성전자) ;
박정우 (삼성전자) ;
김혁 (삼성전자)

Published : 2005.11.01

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