• Title/Summary/Keyword: 치수선택

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Critical dimension uniformity improvement by adjusting etch selectivity in Cr photomask fabrication

  • O, Chang-Hun;Gang, Min-Uk;Han, Jae-Won
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2016.02a
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    • pp.213-213
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    • 2016
  • 현재 반도체 산업에서는 디바이스의 고 집적화, 고 수율을 목적으로 패턴의 미세화 및 웨이퍼의 대면적화와 같은 이슈가 크게 부각되고 있다. 다중 패터닝(multiple patterning) 기술을 통하여 고 집적 패턴을 구현이 가능해졌으며, 이와 같은 상황에서 각 패턴의 임계치수(critical dimension) 변화는 패턴의 위치 및 품질에 큰 영향을 끼치기 때문에 포토마스크의 임계치수 균일도(critical dimension uniformity, CDU)가 제작 공정에서 주요 파라미터로 인식되고 있다. 반도체 광 리소그래피 공정에서 크롬(Cr) 박막은 사용되는 포토 마스크의 재료로 널리 사용되고 있으며, 이러한 포토마스크는 fused silica, chrome, PR의 박막 층으로 이루어져 있다. 포토마스크의 패턴은 플라즈마 식각 장비를 이용하여 형성하게 되므로, 식각 공정의 플라즈마 균일도를 계측하고 관리 하는 것은 공정 결과물 관리에 필수적이며 전체 반도체 공정 수율에도 큰 영향을 미친다. 흔히, 포토마스크 임계치수는 플라즈마 공정에서의 라디칼 농도 및 식각 선택비에 의해 크게 영향을 받는 것으로 알려져 왔다. 본 연구에서는 Cr 포토마스크 에칭 공정에서의 Cl2/O2 공정 플라즈마에 대해 O2 가스 주입량에 따른 식각 선택비(etch selectivity) 변화를 계측하여 선택비 제어를 통한 Cr 포토마스크 임계치수 균일도 향상을 실험적으로 입증하였다. 연구에서 사용한 플라즈마 계측 방법인 발광분광법(OES)과 optical actinometry의 적합성을 확인하기 위해서 Cl2 가스 주입량에 따른 actinometer 기체(Ar)에 대한 atomic Cl 농도비를 계측하였고, actinometry 이론에 근거하여 linear regression error 1.9%을 보였다. 다음으로, O2 가스 주입비에 따른 Cr 및 PR의 식각률(etch rate)을 계측함으로써 식각 선택비(etch selectivity)의 변화율이 적은 O2 가스 농도 범위(8-14%)를 확인하였고, 이 구간에서 임계치수 균일도가 가장 좋을 것으로 예상할 수 있었다. (그림 1) 또한, spatially resolvable optical emission spectrometer(SROES)를 사용하여 플라즈마 챔버 내부의 O atom 및 Cl radical의 공간 농도 분포를 확인하였다. 포토마스크의 임계치수 균일도(CDU)는 챔버 내부의 식각 선택비의 변화율에 강하게 영향을 받을 것으로 예상하였고, 이를 입증하기 위해 각각 다른 O2 농도 환경에서 포토마스크 임계치수 값을 확인하였다. (표1) O2 11%에서 측정된 임계치수 균일도는 1.3nm, 그 외의 O2 가스 주입량에 대해서는 임계치수 균일도 ~1.7nm의 범위를 보이며, 이는 25% 임계치수 균일도 향상을 의미함을 보인다.

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Optimum Structural Design Using AHP Technique (AHP 기법을 이용한 최적 구조 설계)

  • 양영순;장범선
    • Proceedings of the Computational Structural Engineering Institute Conference
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    • 1996.04a
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    • pp.190-201
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    • 1996
  • 설계자는 설계를 진행시켜 가면서 많은 의사 결정을 내려야 한다. 그 결정은 크게 선택 결정과 타협 결정으로 나뉘어질 수 있다. 선택 결정은 여러 평가 기준을 고려해 여러 대안들 중 하나를 선택하는 결정이며 타협 결정은 제한 조건과 목표들을 가장 잘 만족하는 설계 대안의 주요 치수를 결정하는 것이다. 이때 두 결정의 결과는 설계자의 의사에 크게 의존하게 된다. 따라서 설계자의 의사를 체계적이고 정확하게 반영시켜줄 필요가 있다. AHP 기법은 불분명한 선택 문제에 있어서 문제를 계층적으로 분석하여 평가함으로써 설계자의 의사를 체계적으로 반영시켜줄 수 있다. 또한 정성적인 성질들을 정량적인 판단 기준에 따라 평가함으로써 설계자의 의사를 보다 일관적으로 반영할 수 있다. 보통 공학 문제의 경우 하나의 설계 대안을 선택하고 또한 그 대안의 주요 치수를 동시에 결정해야 하는 결합된 문제이다. 이때 선택에 필요한 각 대안의 속성이 타협 문제 변수들의 함수로 표현되기 때문에 최적 과정 중에 계속 변화하게 된다. 또한 여러 속성을 고려할 경우 자릿수와 단위가 모두 다르기 때문에 속성들의 평가가 표준적으로 이루어져야 한다. 이 부분에 학습된 인공 신경망을 도입함으로써 변화하는 속성치를 자동적으로 평가할 수 있으며 설계자의 의사와 경험적인 지식도 반영할 수 있게 되었다.

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HEMATOLOGY OF THE DENTAL PULP ON VITAL PULPOTOMY (생활치수절단술시치수내의 혈액상에 관한 연구)

  • Kim, Young-Jae
    • The Journal of the Korean dental association
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    • v.10 no.1
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    • pp.53-57
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    • 1972
  • 저자는 임상적 진단과 치수내 혈액상과이 관계를 규명하기 위하여 치아 우식증에 의하여 심부로 이환된 이십개의 치아를 선택하여 치수절단술을 시행한 후 기 혈액을 검토한 결과 다음과 같은 결론을 얻었다. 1. 임상적으로 치수충혈로 전단된 일곱 개의 치아중, 세 개의 혈액표본을 정상 혈액상을 나타냈고 두개의 혈액표본은 약간의 급성 염증상을 나타냈으나 나머지 두개의 혈액표본은 심한 만성 염증상을 나타냈다. 2. 임상적으로 급성치수염으로 진단된 열세개의 치아중, 열개의 혈액표본은 심한 만성 염증상을 나타냈고 한 개의 혈액표본은 약간의 만성 염증상을 나타냈으며 나머지 두개의 혈액 표본은 급성 염증상을 나타냈다.

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Anthropometric Measurements and Volumetric Measurement of the Human Female Breast (유방용적 측정과 인체계측에 관한 연구 -중년여성을 대상으로-)

  • Lee, Kyung-Mi;Park, Hei-Sun
    • Journal of the Korean Home Economics Association
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    • v.38 no.12
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    • pp.249-256
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    • 2000
  • 본 연구는 유방절제수술을 받은 여성들이 착용하는 브래지어와 보정물의 중량을 결정하는데 필요한 예비자료를 수집하기 위하여 중년여성 12명을 대상으로 31항목에 대한 인체계측 및 석고법에 의한 유방용적측정을 실시하고 얻어진 유방관련 항목자료와 각 치수별 무게자료를 비교.분석하였다. 그 결과는 다음과 같다. 1.유방용적 측정결과 모든 피험자에 있어 오른쪽과 왼쪽 유방용적에 차이가 있는 것으로 나타났다. 2. 브래지어 컵 치수는 가슴둘레와 밑가슴둘레간의 차이로 결정되는 것이므로 유방용적과 브래지어 치수의 크기가 일치하지 않는 것으로 나타났다. 3.절반 이상의 피험자가 자신의 브래지어 치수를 잘못 선택하고 있는 것으로 나타났다.

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A Study of the Optimal Location of Detention Dam (홍수저류지 효과 극대화를 위한 최적위치 선정방안에 관한 연구)

  • Kim, Yong-Myung;Jun, In-Bae
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2011.05a
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    • pp.445-449
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    • 2011
  • 치수대책이 취약한 중 소규모 하천 상류유역에 갑작스런 홍수가 발생될 경우 홍수파뿐만 아니라 토석류에 의한 2차적인 피해도 발생하고 있고 이러한 홍수피해를 방지하기 위한 구조적 대책으로 홍수저류지를 도입하였다. 치수대책이 취약한 중 소규모 하천 상류유역에서 홍수저류지의 효과를 극대화하기 위해서는 적용지역에 대한 홍수저류지의 적절한 배치가 매우 중요하다. 먼저, 대상유역의 주요보호대상 지점 즉, 목표지점(Taget Point)을 결정하고 지형 및 지질, 산사태 위험도, 수몰현황, 지역경제 등을 고려하여 홍수저류지 설치 후보지를 다수 선정하였다. 그리고 강우 및 홍수분석, 저수지 홍수추적 등을 실시하여 목표지점을 보호할 수 있도록 홍수저류지간의 조합을 통해 최적 위치 및 개소수를 결정하였고 대상하천의 계획홍수량 즉, 하도분담량 이상의 호우에 대하여 분담할 수 있도록 홍수저류지 설치 개소수를 제한하였다. 그리고 여기서 결정한 홍수 저류지가 목표지점뿐만 아니라 대상 유역의 홍수저감에 얼마나 기여를 할 수 있는지 유역전체를 대상으로 수문학적으로 검토하였다. 홍수저류지는 현재 국가의 치수대책의 일환인 면중심의 유역치수계획, 선택적 방어, 홍수량할당제, 예방위주의 치수대책 등과 함께 하고 있는 유역분담형 치수 방안으로서 유역상류의 중소하천에 1차적인 홍수방어의 훌륭한 대안이 될 수 있다.

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A Study of the Usage and Sizing Selecting of the Apparels listed in On-line and Catalog Shopping (온라인 및 카탈로그 통신판매 의류 이용현황 및 치수선택에 대한 연구)

  • 김선희;최혜선
    • Journal of the Korean Society of Clothing and Textiles
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    • v.26 no.7
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    • pp.1015-1025
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    • 2002
  • This study is aimed at investigating and developing the use and sizing system of the apparels listed in on-line and catalog shopping in Korea. This is a basic study for an apparel sizing system to be developed, which could be used to approach consumers more easily and provide improved fitness and accuracy in terms of size and style of apparels for fashion E-commerce. A survey was conducted among the consumers who are more than 18-years-old and purchased more than two times the apparels listed in on-line and catalog shopping of two selected catalog shopping enterprises, and its statistical results are analysed from 281 respondents' questionnaires. The results of the study are as follows: 1. According to the result of the survey on the use and sizing system of the apparels listed in. on-line and catalog shopping, the consumers who purchased once apparels continue doing so in the same manner. A catalog shopping is the most preferred form of shopping. The most dissatisfying part in purchasing apparels is a poor quality of 'texture', and the second biggest problem is about 'size'About 51.2 percent of the apparels were not worn or even returned, while the top reason for that is 'Inappropriate size' and 'color', and 'texture'comes next on the list. 2. According to the survey on the recognition-rate concerning common' body size, most respondents were aware of their height and weight, and So percent of respondents said that they were aware of their waist circumference. But, chest circumference and hip circumference were recognized only by 58.4 percent and 35.6 percent of respondents, respectively. 3. According to the survey on difference between men and women, the male consumers have less aware of hip circumference than the female counterparts. The females have much more dissatisfaction with apparel sizing system and show higher return-rate of purchased apparels than the males.

Personalized Size Recommender System for Online Apparel Shopping: A Collaborative Filtering Approach

  • Dongwon Lee
    • Journal of the Korea Society of Computer and Information
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    • v.28 no.8
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    • pp.39-48
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    • 2023
  • This study was conducted to provide a solution to the problem of sizing errors occurring in online purchases due to discrepancies and non-standardization in clothing sizes. This paper discusses an implementation approach for a machine learning-based recommender system capable of providing personalized sizes to online consumers. We trained multiple validated collaborative filtering algorithms including Non-Negative Matrix Factorization (NMF), Singular Value Decomposition (SVD), k-Nearest Neighbors (KNN), and Co-Clustering using purchasing data derived from online commerce and compared their performance. As a result of the study, we were able to confirm that the NMF algorithm showed superior performance compared to other algorithms. Despite the characteristic of purchase data that includes multiple buyers using the same account, the proposed model demonstrated sufficient accuracy. The findings of this study are expected to contribute to reducing the return rate due to sizing errors and improving the customer experience on e-commerce platforms.

A Study of Apparel Sizing System for Korean Obese Women (비만여성의 의복치수체계 연구)

  • Yi, Kyong-Hwa
    • Journal of the Korean Society of Clothing and Textiles
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    • v.33 no.12
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    • pp.1979-1990
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    • 2009
  • This study suggests apparel sizing systems for obese women in their twenties to fifties. Size Korea body measurement data were used for sampling the obese subjects by obesity judgment indices. A total of 7 obesity judgment indices frequently used in the clothing field were inspected and the measurement data of 499 females defined as "obese" by over 5 obesity judgment indices were analyzed. The results of the study were as follows: A total of 2,212 female body measurement data for the Size Korea Project were collected. These were compared with the 499 data of the obese women in the study. Except for all heights and some lengths correlating with heights, the measurements of obese women were larger than the entire group of females. Bust girth, hip girth, and height were selected as control dimensions of the outerwear covering the upper body; waist girth and hip girth were selected as control dimensions of the outerwear covering the lower body. In each crosstabulation table, 3cm pitches and 5cm pitches by bust girth, waist girth, and hip girth were compared in the aspects of coverage and coverage efficiency. Finally, sizing charts for outerwear covering the upper body and the lower body of obese women were established in the study through the comparison of the coverage and the coverage efficiency. These Size charts were given by 5cm pitches as final sizing systems. Size number of outerwear covering the upper body was 10 and size number of outerwear covering the lower body was 9. In addition, the body measurements of control dimensions and referable dimensions for making garments are given.

Pulpitis pain relief by modulating sodium channels in trigeminal ganglia (삼차신경절의 나트륨 채널 조절을 통한 치수염 통증 완화 효과)

  • Kyung-Hee Lee
    • Journal of Korean society of Dental Hygiene
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    • v.24 no.3
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    • pp.219-227
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    • 2024
  • Objectives: The pulp is the center of the tooth containing nerves and blood vessels. The condition in which the pulp becomes inflamed due to caries or periodontitis is called pulpitis. Pulpitis is a difficult-to-treat disease and causes peripheral nerve tissue changes and severe pain; however, the relationship between neuronal activity and voltage-gated sodium channel 1.7 (Nav1.7) expression in the trigeminal ganglion (TG) during pulpitis has not been well studied. In this study, we found that experimentally induced pulpitis activates Nav1.7 expression in the periphery, leading to neuronal overexpression in the TG. Thus, we sought to identify ways to regulate this process. Methods: Acute pulpitis was induced in rat maxillary molars by treating the pulp with allyl isothiocyanate (AITC). Three days later, in vivo optical imaging was used to record and compare neural activities in the TG. Western blotting was used to identify molecular changes in terms of the expression of extracellular signal-regulated kinase (ERK), c-Fos, transient receptor potential ankyrin 1 (TRPA1), and collapsin response mediator protein-2 (CRMP2) in the brain stem. Results: The results confirmed the neurological changes in the TGs of the pulpitis model, and histological and molecular biological evidence confirmed that increased Nav1.7 expression induced by pulpitis leads to pain. Furthermore, selective inhibition of Nav1.7 resulted in changes in neural activity, suggesting that pulpitis induces increased Nav1.7 expression, and that effective control of Nav1.7 could potentially reduce pain. Conclusions: The inhibition of overexpressed Nav1.7 channels may modulate nociceptive signal processing in the brain and effectively control pain associated with pulpitis.

Characteristics of Amorphous Silicon Gate Etching in Cl2/HBr/O2 High Density Plasma (Cl2/HBr/O2 고밀도 플라즈마에서 비정질 실리콘 게이트 식각공정 특성)

  • Lee, Won Gyu
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • v.47 no.1
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    • pp.79-83
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    • 2009
  • In this study, the characteristics of amorphous silicon etching for the formation of gate electrodes have been evaluated at the variation of several process parameters. When total flow rates composed of $Cl_2/HBr/O_2$ gas mixtures increased, the etch rate of amorphous silicon layer increased, but critical dimension (CD) bias was not notably changed regardless of total flow rate. As the amount of HBr in the mixture gas became larger, amorphous silicon etch rate was reduced by the low reactivity of Br species. In the case of increasing oxygen flow rate, etch selectivity was increased due to the reduction of oxide etch rate, enhancing the stability of silicon gate etching process. However, gate electrodes became more sloped according to the increase of oxygen flow rate. Higher source power induced the increase of amorphous silicon etch rate and CD bias, and higher bias power had a tendency to increase the etch rate of amorphous silicon and oxide.