• 제목/요약/키워드: 치수선택

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Critical dimension uniformity improvement by adjusting etch selectivity in Cr photomask fabrication

  • 오창훈;강민욱;한재원
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.213-213
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    • 2016
  • 현재 반도체 산업에서는 디바이스의 고 집적화, 고 수율을 목적으로 패턴의 미세화 및 웨이퍼의 대면적화와 같은 이슈가 크게 부각되고 있다. 다중 패터닝(multiple patterning) 기술을 통하여 고 집적 패턴을 구현이 가능해졌으며, 이와 같은 상황에서 각 패턴의 임계치수(critical dimension) 변화는 패턴의 위치 및 품질에 큰 영향을 끼치기 때문에 포토마스크의 임계치수 균일도(critical dimension uniformity, CDU)가 제작 공정에서 주요 파라미터로 인식되고 있다. 반도체 광 리소그래피 공정에서 크롬(Cr) 박막은 사용되는 포토 마스크의 재료로 널리 사용되고 있으며, 이러한 포토마스크는 fused silica, chrome, PR의 박막 층으로 이루어져 있다. 포토마스크의 패턴은 플라즈마 식각 장비를 이용하여 형성하게 되므로, 식각 공정의 플라즈마 균일도를 계측하고 관리 하는 것은 공정 결과물 관리에 필수적이며 전체 반도체 공정 수율에도 큰 영향을 미친다. 흔히, 포토마스크 임계치수는 플라즈마 공정에서의 라디칼 농도 및 식각 선택비에 의해 크게 영향을 받는 것으로 알려져 왔다. 본 연구에서는 Cr 포토마스크 에칭 공정에서의 Cl2/O2 공정 플라즈마에 대해 O2 가스 주입량에 따른 식각 선택비(etch selectivity) 변화를 계측하여 선택비 제어를 통한 Cr 포토마스크 임계치수 균일도 향상을 실험적으로 입증하였다. 연구에서 사용한 플라즈마 계측 방법인 발광분광법(OES)과 optical actinometry의 적합성을 확인하기 위해서 Cl2 가스 주입량에 따른 actinometer 기체(Ar)에 대한 atomic Cl 농도비를 계측하였고, actinometry 이론에 근거하여 linear regression error 1.9%을 보였다. 다음으로, O2 가스 주입비에 따른 Cr 및 PR의 식각률(etch rate)을 계측함으로써 식각 선택비(etch selectivity)의 변화율이 적은 O2 가스 농도 범위(8-14%)를 확인하였고, 이 구간에서 임계치수 균일도가 가장 좋을 것으로 예상할 수 있었다. (그림 1) 또한, spatially resolvable optical emission spectrometer(SROES)를 사용하여 플라즈마 챔버 내부의 O atom 및 Cl radical의 공간 농도 분포를 확인하였다. 포토마스크의 임계치수 균일도(CDU)는 챔버 내부의 식각 선택비의 변화율에 강하게 영향을 받을 것으로 예상하였고, 이를 입증하기 위해 각각 다른 O2 농도 환경에서 포토마스크 임계치수 값을 확인하였다. (표1) O2 11%에서 측정된 임계치수 균일도는 1.3nm, 그 외의 O2 가스 주입량에 대해서는 임계치수 균일도 ~1.7nm의 범위를 보이며, 이는 25% 임계치수 균일도 향상을 의미함을 보인다.

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AHP 기법을 이용한 최적 구조 설계 (Optimum Structural Design Using AHP Technique)

  • 양영순;장범선
    • 한국전산구조공학회:학술대회논문집
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    • 한국전산구조공학회 1996년도 봄 학술발표회 논문집
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    • pp.190-201
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    • 1996
  • 설계자는 설계를 진행시켜 가면서 많은 의사 결정을 내려야 한다. 그 결정은 크게 선택 결정과 타협 결정으로 나뉘어질 수 있다. 선택 결정은 여러 평가 기준을 고려해 여러 대안들 중 하나를 선택하는 결정이며 타협 결정은 제한 조건과 목표들을 가장 잘 만족하는 설계 대안의 주요 치수를 결정하는 것이다. 이때 두 결정의 결과는 설계자의 의사에 크게 의존하게 된다. 따라서 설계자의 의사를 체계적이고 정확하게 반영시켜줄 필요가 있다. AHP 기법은 불분명한 선택 문제에 있어서 문제를 계층적으로 분석하여 평가함으로써 설계자의 의사를 체계적으로 반영시켜줄 수 있다. 또한 정성적인 성질들을 정량적인 판단 기준에 따라 평가함으로써 설계자의 의사를 보다 일관적으로 반영할 수 있다. 보통 공학 문제의 경우 하나의 설계 대안을 선택하고 또한 그 대안의 주요 치수를 동시에 결정해야 하는 결합된 문제이다. 이때 선택에 필요한 각 대안의 속성이 타협 문제 변수들의 함수로 표현되기 때문에 최적 과정 중에 계속 변화하게 된다. 또한 여러 속성을 고려할 경우 자릿수와 단위가 모두 다르기 때문에 속성들의 평가가 표준적으로 이루어져야 한다. 이 부분에 학습된 인공 신경망을 도입함으로써 변화하는 속성치를 자동적으로 평가할 수 있으며 설계자의 의사와 경험적인 지식도 반영할 수 있게 되었다.

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생활치수절단술시치수내의 혈액상에 관한 연구 (HEMATOLOGY OF THE DENTAL PULP ON VITAL PULPOTOMY)

  • 김영재
    • 대한치과의사협회지
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    • 제10권1호
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    • pp.53-57
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    • 1972
  • 저자는 임상적 진단과 치수내 혈액상과이 관계를 규명하기 위하여 치아 우식증에 의하여 심부로 이환된 이십개의 치아를 선택하여 치수절단술을 시행한 후 기 혈액을 검토한 결과 다음과 같은 결론을 얻었다. 1. 임상적으로 치수충혈로 전단된 일곱 개의 치아중, 세 개의 혈액표본을 정상 혈액상을 나타냈고 두개의 혈액표본은 약간의 급성 염증상을 나타냈으나 나머지 두개의 혈액표본은 심한 만성 염증상을 나타냈다. 2. 임상적으로 급성치수염으로 진단된 열세개의 치아중, 열개의 혈액표본은 심한 만성 염증상을 나타냈고 한 개의 혈액표본은 약간의 만성 염증상을 나타냈으며 나머지 두개의 혈액 표본은 급성 염증상을 나타냈다.

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홍수저류지 효과 극대화를 위한 최적위치 선정방안에 관한 연구 (A Study of the Optimal Location of Detention Dam)

  • 김용명;전인배
    • 한국수자원학회:학술대회논문집
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    • 한국수자원학회 2011년도 학술발표회
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    • pp.445-449
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    • 2011
  • 치수대책이 취약한 중 소규모 하천 상류유역에 갑작스런 홍수가 발생될 경우 홍수파뿐만 아니라 토석류에 의한 2차적인 피해도 발생하고 있고 이러한 홍수피해를 방지하기 위한 구조적 대책으로 홍수저류지를 도입하였다. 치수대책이 취약한 중 소규모 하천 상류유역에서 홍수저류지의 효과를 극대화하기 위해서는 적용지역에 대한 홍수저류지의 적절한 배치가 매우 중요하다. 먼저, 대상유역의 주요보호대상 지점 즉, 목표지점(Taget Point)을 결정하고 지형 및 지질, 산사태 위험도, 수몰현황, 지역경제 등을 고려하여 홍수저류지 설치 후보지를 다수 선정하였다. 그리고 강우 및 홍수분석, 저수지 홍수추적 등을 실시하여 목표지점을 보호할 수 있도록 홍수저류지간의 조합을 통해 최적 위치 및 개소수를 결정하였고 대상하천의 계획홍수량 즉, 하도분담량 이상의 호우에 대하여 분담할 수 있도록 홍수저류지 설치 개소수를 제한하였다. 그리고 여기서 결정한 홍수 저류지가 목표지점뿐만 아니라 대상 유역의 홍수저감에 얼마나 기여를 할 수 있는지 유역전체를 대상으로 수문학적으로 검토하였다. 홍수저류지는 현재 국가의 치수대책의 일환인 면중심의 유역치수계획, 선택적 방어, 홍수량할당제, 예방위주의 치수대책 등과 함께 하고 있는 유역분담형 치수 방안으로서 유역상류의 중소하천에 1차적인 홍수방어의 훌륭한 대안이 될 수 있다.

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유방용적 측정과 인체계측에 관한 연구 -중년여성을 대상으로- (Anthropometric Measurements and Volumetric Measurement of the Human Female Breast)

  • Lee, Kyung-Mi;Park, Hei-Sun
    • 대한가정학회지
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    • 제38권12호
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    • pp.249-256
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    • 2000
  • 본 연구는 유방절제수술을 받은 여성들이 착용하는 브래지어와 보정물의 중량을 결정하는데 필요한 예비자료를 수집하기 위하여 중년여성 12명을 대상으로 31항목에 대한 인체계측 및 석고법에 의한 유방용적측정을 실시하고 얻어진 유방관련 항목자료와 각 치수별 무게자료를 비교.분석하였다. 그 결과는 다음과 같다. 1.유방용적 측정결과 모든 피험자에 있어 오른쪽과 왼쪽 유방용적에 차이가 있는 것으로 나타났다. 2. 브래지어 컵 치수는 가슴둘레와 밑가슴둘레간의 차이로 결정되는 것이므로 유방용적과 브래지어 치수의 크기가 일치하지 않는 것으로 나타났다. 3.절반 이상의 피험자가 자신의 브래지어 치수를 잘못 선택하고 있는 것으로 나타났다.

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온라인 및 카탈로그 통신판매 의류 이용현황 및 치수선택에 대한 연구 (A Study of the Usage and Sizing Selecting of the Apparels listed in On-line and Catalog Shopping)

  • 김선희;최혜선
    • 한국의류학회지
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    • 제26권7호
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    • pp.1015-1025
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    • 2002
  • This study is aimed at investigating and developing the use and sizing system of the apparels listed in on-line and catalog shopping in Korea. This is a basic study for an apparel sizing system to be developed, which could be used to approach consumers more easily and provide improved fitness and accuracy in terms of size and style of apparels for fashion E-commerce. A survey was conducted among the consumers who are more than 18-years-old and purchased more than two times the apparels listed in on-line and catalog shopping of two selected catalog shopping enterprises, and its statistical results are analysed from 281 respondents' questionnaires. The results of the study are as follows: 1. According to the result of the survey on the use and sizing system of the apparels listed in. on-line and catalog shopping, the consumers who purchased once apparels continue doing so in the same manner. A catalog shopping is the most preferred form of shopping. The most dissatisfying part in purchasing apparels is a poor quality of 'texture', and the second biggest problem is about 'size'About 51.2 percent of the apparels were not worn or even returned, while the top reason for that is 'Inappropriate size' and 'color', and 'texture'comes next on the list. 2. According to the survey on the recognition-rate concerning common' body size, most respondents were aware of their height and weight, and So percent of respondents said that they were aware of their waist circumference. But, chest circumference and hip circumference were recognized only by 58.4 percent and 35.6 percent of respondents, respectively. 3. According to the survey on difference between men and women, the male consumers have less aware of hip circumference than the female counterparts. The females have much more dissatisfaction with apparel sizing system and show higher return-rate of purchased apparels than the males.

Personalized Size Recommender System for Online Apparel Shopping: A Collaborative Filtering Approach

  • Dongwon Lee
    • 한국컴퓨터정보학회논문지
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    • 제28권8호
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    • pp.39-48
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    • 2023
  • 본 연구는 의류의 디자인 간 치수의 불일치와 비표준화로 인해 온라인 구매 시 발생하는 치수 선택의 오류 문제를 해결할 수 있는 방안을 제시하기 위해 수행되었다. 본 논문은 구매자에게 개인화된 치수를 제시할 수 있는 기계 학습 기반 추천 시스템의 구현 방안을 다루고 있다. 온라인 상거래로부터 발생된 구매 데이터를 사용하여 비음수 행렬 분해(NMF), 특이값 행렬 분해(SVD), k-최근접 이웃(KNN), 공동 클러스터링(Co-Clustering) 등 여러 검증된 협업 필터링 알고리즘을 훈련하였고, 이들 간에 성능을 비교하였다. 연구 결과, 비음수 행렬 분해 (NMF) 알고리즘이 다른 알고리즘들보다 뛰어난 성능을 보임을 확인할 수 있었다. 동일한 계정을 사용하는 여러 구매자가 포함되는 구매 데이터의 특성에도 불구하고, 제안 모형은 충분한 정확도를 보였다. 본 연구의 결과는 치수 선택의 오류로 인한 반품률을 감소하고 전자상거래 플랫폼에서의 고객 경험을 향상시키는 데 기여할 것으로 기대된다.

비만여성의 의복치수체계 연구 (A Study of Apparel Sizing System for Korean Obese Women)

  • 이경화
    • 한국의류학회지
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    • 제33권12호
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    • pp.1979-1990
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    • 2009
  • 본 연구는 20세 이상 비만여성을 위한 의류치수체계를 제안하기 위한 것으로, 2003~2004년 한국인 인체치수조사사업의 원시자료 중 선행연구에 의해 의류학 분야에서 주로 사용되는 비만판정지수 및 비만판정용 측정치 7개 항목(Rohrer지수, Vervaeck지수, BMI, 상대체중, 허리둘레, WHR, 젖가슴둘레) 중 5개 이상의 비만판정도구에서 비만으로 판정된 499명을 대상으로 하였다. 연구의 결과는 다음과 같다. 치수체계 제안에 앞서 2,212명의 성인여성 전체의 인체치수와 499명의 비만여성의 기초통계치수를 제시한 결과, 키 등의 높이항목 전체와 키와 상관관계가 높은 몇몇 길이항목을 제외한 대부분의 치수항목 즉, 둘레항 목, 두께 및 너비항목 등에서의 인체측정치가 크고, 비만판정지수도 높은 것으로 나타났다. 상의류의 치수체계 제안을 위해 젖가슴둘레, 엉덩이둘레, 키가 기본신체부위로 선정되었으며, 하의류의 치수체계 제안을 위해 허리둘레와 엉덩이둘레가 기본신체부위로 선정되었다. 치수체계 제안을 위한 교차분석표에서 젖가슴둘레, 허리둘레, 엉덩이둘레 등 둘레항목은 3cm 간격과 5cm 간격을 비교하여 제시하였으나 키는 5cm 간격으로만 한정하였다. 두 치수간격 중 보다 높은 커버율과 커버효율을 보이는 치수간격을 선택하고, 사용자의 분포율도 전체 비만여성의 1% 이상, 2% 이상 및 3% 이상으로 나누어 각각의 분포율별로 커버율과 커버효율이 높은 치수구간을 선정하였다. 상의류와 하의류 치수체계 모두에서 3% 이상의 사용자 분포율을 보이는 5cm 치수간격이 가장 높은 커버효율을 나타냈으므로, 이 결과를 바탕으로 상의류를 위한 치수호칭으로 10개, 하의류를 위한 치수호칭으로 9개를 제안하였으며, 각 호칭별로 기본신체부위의 평균 인체측정치와 참고신체부위의 평균 인체측정치를 제공하여 호칭별 의류제품의 설계에 기초자료로 활용할 수 있도록 하였다.

삼차신경절의 나트륨 채널 조절을 통한 치수염 통증 완화 효과 (Pulpitis pain relief by modulating sodium channels in trigeminal ganglia)

  • Kyung-Hee Lee
    • 한국치위생학회지
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    • 제24권3호
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    • pp.219-227
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    • 2024
  • 연구목적: 치수는 신경과 혈관을 포함하고 있는 부위로 다양한 자극이나 세균에 의해 염증이 생기면 이를 치수염이라고 한다. 치수염은 말초 신경조직 변화와 심한 통증을 유발하는 질환으로 만성적 통증을 유발하나, 삼차신경절의 신경세포 활성화와 특정 나트륨 채널(Nav1.7) 발현 사이의 관계는 잘 알려져 있지 않다. 이에 본 연구에서는 실험적으로 유도된 치수염이 말초신경에서 Nav1.7 나트륨 채널의 발현을 활성화시켜, 삼차신경절의 뉴런을 활성화함으로써 통증을 유발한다는 사실을 발견하고 이를 조절하는 신호기전을 규명하고자 하였다. 연구방법: 실험동물(Male C57BL/6 생쥐, 6주, 20-25 g)의 상악 제1대구치 치수에 AITC를 처리하여 급성 치수염을 유발하고, 3일 후 실시간 광영상 이미지를 이용하여 삼차신경절의 뉴런 활성화를 측정 및 비교 분석하였다. 단백질 분석을 통해 뇌간(SpVc)에서 치수염 통증유발 신호조절기전에 관여하는 여러가지 단백질들(p-ERK, c-FOS, TRPA1, p-CRMP2)의 발현을 관찰하였다. 연구결과: 시공간적 광영상 이미지를 통해 삼차신경절의 뉴런세포들은 대조군과 비교 시 급성 치수염 모델에서 흥분성 활성화가 유도되어 신경학적 변화가 일어남을 관찰하였다. 또한 조직학 및 분자생물학적 결과를 통해 치수염으로 인한 특정 나트륨 채널(Nav1.7)의 증가가 통증을 유발한다는 사실을 확인하였다. 또한, ProTxII(Nav1.7의 선택적 억제 약물) 처리를 통해 뉴런의 과흥분성 활성이 억제됨에 따라, 치수염이 삼차신경절에서 나트륨 채널(Nav1.7)의 증가를 유도하고 이러한 특정 나트륨 채널을 효과적으로 제어하면 치수염의 통증을 줄이는 방법이 될 것이라 생각된다. 결론: 본 연구의 결과를 통해 과 발현된 특정 나트륨 채널(Nav1.7)을 억제하면 삼차신경절에서 통각 신호 처리를 조절하고 치수염에 의해 유발되는 통증을 효과적으로 조절할 수 있음을 시사한다.

Cl2/HBr/O2 고밀도 플라즈마에서 비정질 실리콘 게이트 식각공정 특성 (Characteristics of Amorphous Silicon Gate Etching in Cl2/HBr/O2 High Density Plasma)

  • 이원규
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • 제47권1호
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    • pp.79-83
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    • 2009
  • 본 연구에서 고밀도 플라즈마 식각 장치를 사용한 비정질 실리콘 막의 게이트 전극선 형성공정에서 여러 가지 식각 변수가 치수 제어와 식각 속도 및 식각 선택비 등 식각 특성에 미치는 영향을 분석하였다. $Cl_2/HBr/O_2$로 구성된 식각 기체의 전체 유량을 증가시키면 비정질 실리콘의 식각 속도가 증가하나 식각 전후의 형상치수는 변화없이 거의 일정하였다. 전체 유량을 고정시키고 $Cl_2$와 HBr 간의 유량비를 변화시키면 HBr의 유량이 커질수록 비정질 실리콘의 식각 속도가 감소하였다. $O_2$의 유량을 증가시키면 산화막의 식각 속도가 상대적으로 낮아져 식각 선택비를 증가시켜 식각 공정의 안정성을 높이나 게이트 전극선을 경사지게 하는 특성을 보인다. Source power의 증가는 비정질 실리콘 식각 속도의 증가와 더불어 형상치수의 증가를 가져오며, bias power의 증가는 비정질 실리콘과 산화막의 식각 속도를 증가시키나 식각 선택비를 크게 감소시키는 경향을 보였다.