• 한국광학회지
• /
• 제13권2호
• /
• pp.98-104
• /
• 2002

비구면 광학부품의 수차 측정 및 성능 평가를 위해 특별 설계된 층밀리기 간섭계를 소개하고, 이와 더불어 층밀리기 간섭계가 갖는 자체의 계통오차를 측정결과로부터 제거하기 위한 보정 방법을 제안한다. 층밀리기 간섭계의 계통오차는 크게 간섭광학계가 갖는 광학오차와 간섭계의 기구부의 불완전에 기인한 층밀리기 방향의 직교오차로 구분할 수 있다. 이들 두 계통 오차들은 모두 본 논문에서 제안하는 방법으로 모두 보정될 수 있다. 보정 방법은 측정 대상물을 간섭계의 광축을 중심으로 회전하여 측정결과로부터 계통오차를 분리하는 자가보정 원리에 근거한다.

• 한국광학회지
• /
• 제3권3호
• /
• pp.172-177
• /
• 1992

레이저 광선의 시준정도를 정확하게 측정하기 위하여 새로운 양방향 층밀리기 간섭계를 구성하였다. 한개의 쐐기판과 두개의 평면거울로 구성된 간섭계는 서로 반대방향으로 층밀리기된 두개의 간섭무늬 모양에 의햐여 시준정도를 나타낸다. 새로운 간섭계는 기존의 방법들에 비하여 분해능이 두 배로 향상되었으며 또한 간섭무늬 자체내에 시준된 경우를 나타내는 기준표시도 갖는다. 쐐기판의 $90^{\circ}$ 회전에 의한 간섭무늬 변화와 두 간섭무늬를 서로 중첩시켜 생긴 무아레 무늬 등에 의한 시준측정에 관하여 자세리 논하였으며 측정결과도 제시하였다.

• 한국광학회지
• /
• 제5권2호
• /
• pp.198-203
• /
• 1994

구면의 긴 곡률반경을 측정하기 위하여 양방향 층밀리기 간섭계를 이용하는 새로운 방법을 제시하였다. 시준장치의 광원을 미세이동시켜 출사광선의 곡률중심과 시험구면의 초점을 일치시키는 비시준 조명방법을 사용하였으며 양방향 층밀리기 간섭계를 사용하여 시험구면에서 출사한 광선의 시준 여부를 정확히 확인하였다. 이 방법은 렌즈의 긴 초점길이도 측정할 수 있으며 여러가지 변수에 의한 측정정확도를 자세히 분석하였다.

• 한국광학회:학술대회논문집
• /
• 한국광학회 2001년도 하계학술발표회
• /
• pp.54-55
• /
• 2001

• 한국광학회:학술대회논문집
• /
• 한국광학회 2002년도 제13회 정기총회 및 2002년도 동계학술발표회
• /
• pp.208-209
• /
• 2002

• 한국광학회지
• /
• 제8권3호
• /
• pp.189-193
• /
• 1997

광 pick-up용 비구면 대물 렌즈는 컴퓨터와 멀티미디어 기기 등의 발달로 수요가 급증하고 있으며 사출성형에 의하여 대량 생산되고 있다. 광 pick-up용 비구면 대물 렌즈의 생산성 향상을 위해서는 생산공정중의 전수검사를 요구하며 이는 측정환경에 강인한 측정기를 필요로 하고 있다. 본 연구에서는 생산공정중에 광 pick-up용 비구면 대물 렌즈를 측정할 수 있는 개선된 층밀리기 간섭계를 제안하고자 한다. 본 층밀리기 간섭계는 3개의 직각 프리즘과 1개의 광분할 코팅된 프리즘으로 구성되며 index matching oil에 의하여 상대이동이 가능하도록 조합되어 있다. 간섭무늬를 정확히 분석하기 위한 위상천이와 층밀림량의 조절은 프리즘 간의 상대 이동에 의하여 가능하며 이를 위한 구동 기구부를 제작하였다. 또한, 본 연구에서는 반복연산에 의한 일반 알고리즘을 도입하여 위상천이 시에 발생하는 index matching oil의 유막 두께변화에 의한 기준위상 오차를 보상하였다. 광 pick-up용 비구면 대물 렌즈의 수차량을 정량적으로 산출하기 위하여 Zernike 다항식 맞춤을 수행하였다. 본 간섭계는 측정환경에 매우 강인하며 방진과 밀폐가 없는 열악한 측정환경하에서 반복측정을 수행하였을 때 .lambda./100 이하의 반복능을 얻었다.

• 한국광학회지
• /
• 제2권1호
• /
• pp.7-12
• /
• 1991

광학렌즈의 굴절률을 비파괴적인 방법으로 측정하였다. 세 종류의 단일 매질속에 각각 넣은 동일 렌즈를 Murty 층밀리기 간섭계의 시준장치를 사용하여 초점길이를 측정하였으며 이로부터 굴절률을 계산하였다. 초점 종이동 오차와 간섭무늬 간격의 관계를 수식적으로 유도하고 실험적으로 증명하였으며, 초점길이에 따른 렌즈의 파면수차를 조사하였다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
• /
• 한국정밀공학회 1995년도 추계학술대회 논문집
• /
• pp.384-387
• /
• 1995

Two axes lateral-shearing interferometer(LSI) specially devised for production line inspection lenses is presented. The interferometer composed with four prisms and a dove prism can test the lens performance including asymmetric aspheric lens. The dove prism which rotates the input image with respect to optical axis makes it possible. The wavefront passing through the test lens is reconstsucted by the phase derivative obtained form the two axes LSI system. Zernike-polynomials fitting of this wavefront is presented for determinating quantitative aberration of aspherical lenses.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
• /
• 한국정밀공학회 1996년도 추계학술대회 논문집
• /
• pp.459-463
• /
• 1996

The lateral-shearing interferometer specially devised for production line inspection lenses is presented. The interferometer is composed with immersion oil and four prisms whose relative sliding motion provide lateral-shearing and phase-shifting. A special phase-measuring algorithm of a-bucket is adopted to compensate the phase-shifting error caused by the thickness reduction in the immersion oil Three different algorithm for determinating quantitative aberration of aspherical lenses are presented and compared with one another.

• 한국정밀공학회지
• /
• 제31권3호
• /
• pp.199-205
• /
• 2014

We propose a new variant of lateral shearing interferometer with a tunable laser source that enables 3D surface profile measurements of freeform optics with high speed, high vertical resolution, large departure, and large field-of-view. We have verified the proposed technique by comparing our measurement result with that of an existing technique and measuring a representative sample of freeform optics. Moreover, we propose a new algorithm that is able to compensate the rotational inaccuracy.