측정이란 측정기기를 가지고 계량하는 것을 의미하며, 측정표준 보급은 측정기기의 보급 및 확산과 밀접한 관계를 갖고 있다. 따라서 측정기기산업의 분석을 통하여 측정표준 보급의 영향을 살펴볼 수 있는 바, 본 연구에서는 측정기기의 산업부문별 생산유발기여도를 도출하여 산업구조 변화와의 관계를 분석하였다. 분석 결과에 의하면, 측정표준의 대용변수(Proxy variable)라고 할 수 있는 측정기기의 투입은 각 산업에 생산유발을 주고, 이러한 생산유발 기여가 해당 부문의 생산을 증가시키는데 기여하는 것으로 나타났다.
W-대역 잡음온도 표준 확립에 필요한 잡음전력 수신기인 라디오미터를 제작하고, 성능을 평가하였다. 제작된 라디오미터를 사용하여 기준 상온 및 저온잡음원, 그리고 피측정잡음원의 잡음전력을 각각 측정하고, 라디오미터 식을 사용하여 피측정잡음원의 잡음온도를 구하였다. 결과에 대한 측정불확도를 평가하고, 국외 측정표준기관인 영국 NPL의 측정결과와 비교함으로써 측정의 유효성을 검증하였다. 확립된 W-대역 잡음온도 측정표준을 국내 산학연에 보급함으로써 자동차, 항공, 우주, 국방, 보안 등 다양한 분야의 잡음측정에 있어서 측정의 신뢰성을 높이는데 기여하게 될 것이다.
저 주파수에서 인덕턴스를 정밀하게 측정하는 방법은 RLC를 이용한 resonance 방법과 교류브리지를 이용한 방법이 있다. 현재 선진 국가표준기관에서의 인덕턴스 표준유지는 약 5 ppm정도이고, 인덕턴스 측정브리지는 국가에 따라 자체 개발하여 사용하며 평균적으로 약 20 ppm의 불확도로 보급을 하고 있다. 이러한 세계적 수준으로 인덕턴스 표준을 유지, 보급하기 위하여 10nF의 전기용량 표준으로부터 10 mH의 인덕턴스를 유도할 수 있는 Maxwell-wein bridge가 개발이 되었다. 이 브리지가 개발됨으로서 10 mH의 경우 400 Hz$\sim$5 kHz의 주파수 범위내에서 약 8 ppm($2{\sigma}$)의 불화도로서 인덕턴스 표준을 유지할 수가 있게 되었다.
이번 성원에드워드 학술상 수상자 선정은, 진공기술의 중요성에 공감하고 진공기술 발전을 위한 노력을 독려하자는 진공학회 회원들의 의견을 모아주신 결과로 생각한다. 본 발표에서는 그동안 한국표준과학연구원에서 수행해 온 진공 기술 연구 및 산학연 협력 네트워크 활동을 소개하고자 한다. 진공기술은 진공 환경을 발생시키고 측정 제어하며, 만들어진 진공 환경 안에서 원하는 작업을 할 수 있도록 하는 기술을 말한다. 우리나라의 주력산업인 반도체 및 디스플레이의 경우 그 생산 설비의 1/3이상이 진공 장비이며 진공 공정을 통해 만들어진다. 때문에 우리나라에서는 주력 산업분야나 그 전후방 산업의 경쟁력 강화 측면에서 진공기술 개발 중요성이 아주 크다. 한국표준과학연구원은 국가 대표 측정 기관으로 국가 측정 표준을 확립하고 측정관련 과학기술을 연구개발하며 그 성과를 보급하여 경제발전과 과학기술발전, 그리고 삶의 질 향상에 기여하는 것을 임무로 하고 있다. 우리나라에서 진공 측정 표준에 대한 연구가 본격적으로 시작된 것은 1984년으로 불용 장비로 불하받은 펌프와 챔버, 그리고 차관으로 도입된 Capacitance Diaphragm Gauge 몇 개만으로 시작되었다. 지금은 발전을 거듭하여 초음파 간섭 수은주 압력계를 비롯하여 정적 팽창시스템, 동적 팽창 시스템 등 진공도 범위별 국가 표준기와 리크 표준기를 자체 개발 하여 국가 측정 표준을 확립하고 있다. 우리나라의 진공 표준 및 측정 능력은 국제기구인BIPM에서 실시하는 국가 측정능력 비교시험을 통해 세계 최고 수준으로 인정 받은 바 있으며 교정검사 등을 통해 산학연에 보급되고 있다. 진공 측정 및 표준기술을 토대로, 1999년부터 과학기술부와 산업자원부의 지원을 받아 산학연이 필요로 하는 펌프 계측기 부품 소재 및 공정 특성을 평가하기 위한 장치와 절차를 개발하였다. 이를 이용해 보급되는 기술 data는 진공부품 및 장비 국산화, 국산제품 신뢰성 제고, 검증부품 사용을 통한 장비 품질 향상, 독자적 장비 기술 확보, 생산품 품질관리 등에 쓰이고 있다. 한국 표준연구원 진공센터의 교정 및 시험 능력은 ISO 9001 인증 획득과 국제 전문가의 review를 거쳐, 국제기구 측정능력표에 등재되어 있어 국제적 신뢰도도 확보하고 있다. 정기적인 진공기술 교류회를 개최하고 진공기술 홈페이지를 운영 하는 등 산학연 정보 교류 및 협력 네트워킹 활성화를 위해 노력한 바 있으며 이 분야의 연구 성과는 '국가 우수 연구성과 100선'에 선정된 바 있고, 산업자원부 지정 '산학연 연계 우수사례' 첫 번째로 선정되기도 하였다. 2008년부터는 진공기술 교류회 등을 통한 네트워킹 활동으로 도출된 기술 수요에 따라 대기업과 중소기업 학교 연구소들과 함께 진공공정 실시간 측정 진단 기술과 센서 개발 연구, 그리고 이들 개발품의 신뢰성 검증 및 평가 기술 개발을 위해 노력하고 있다.
현재 전기용량의 국가표준은 1 kHz, 1592 Hz에서만 유지 및 보급이 되고 있다. 그러나 전기용량 및 임피던스를 측정하는 브리지와 LCR meter들은 비교적 넓은 주파수 범위에서 측정이 가능하도록 생산이 되고 있다. 따라서 이러한 기기들의 교정은 실제적으로 사용되고 있는 주파수 전 영역이 아닌 1 kHz 만 되고 있어서 완전한 교정이라고 할 수 없다. 본 논문에서는 이를 해결하기위하여 임피던스 analyzer의 one-port 측정기술을 사용하여 4-terminal-pair(이하 4TP) 전기용량 표준기 각각의 terminal에서 임피던스를 필요 주파수에서 측정하고, 측정된 임피던스 matrix를 이용하여 4TP의 transfer 어드미턴스와 출력임피던스를 계산 하였다.
소프트웨어 품질 평가와 관련하여 국제 표준에 대한 연구가 활발히 진행되어지고 있다. 소프트웨어 품질은 사용자와 개발자에 있어서 더욱더 중요해 지고 있다. 본 논문에서는 첫째, 소프트웨어 품질을 객관적이고 정량적으로 평가하기 위해서 소프트웨어 품질 평가에 대한 국내외 표준 동향을 조사 연구 한다. 둘째, 소프트웨어 품질 평가를 위한 국내외 표준의 새로운 연구 방향에 대해서 제시하고 셋째, 소프트웨어 품질 평가 중 신뢰성 분야에 대한 평가 방안을 소프트웨어 신뢰성 성장 모델에 적용하여 평가할 수 있도록 제시한다. 넷째, 소프트웨어 품질 평가 국제 표준의 보급 방안에 대해서 연구하고 다섯째, 소프트웨어 품질 평가와 관련해서 ISO/IEC 9126과 ISO/IEC 25000 시리즈의 소프트웨어 품질 평가 국제 표준 내용을 통한 적용방안에 대해서 연구한다.
산업이 고도로 발달함에 따라 자기장의 정밀 측정 및 발생 등에 대한 관심이 증대되고 있다. 정밀 자기장 측정기를 이용하여 생체.의료공학, 지하광물 및 매설물 탐사, 지진 및 전파방해 예측, 지구물리탐사 및 우주 자기장 분포 측정, 항법장치, 국방 및 우주항공분야, 송유관 부식 연구 등에 활용되고 있다. KRISS에서는 첨단 자기분야의 표준/정밀측정 보급 지원을 위해 자기장 범위 $20\;{\mu}T$ ~ 1.2 mT에서 비자성 실험실, 지구자기장 상쇄장치 등을 이용하여 불확도 (4 ~ 21) ${\mu}T$/T, 자기장 범위 1 mT ~ 2.5 T에서는 헬름홀스 코일, 전자석, NMR 자기장 측정기 등을 사용하여 불확도 (10 ~ 80) ${\mu}T$/T의 표준을 유지하고 있다. 자기장는 자속(magnetic flux) 및 자속밀도(magnetic flux density)로 나눌수 있으며, 그 SI 단위는 웨버(Wb, weber)와 테슬러(T, tesla)이다. 그러나 아직까지 자성재료 등의 특성을 측정하는 전문가들은 SI 단위보다는 지금까지 널리 사용되어온 cgs 단위인 맥스웰(Mx, maxwell), 가우스(G, gauss), 외르스테드(Oe, oersted) 등에 익숙해져 있다. 앞으로 자기분야 전문가들도 기본 SI 단위로부터 소급이 유지되는 SI 자기단위의 사용을 기대해 본다.
본 연구에서는 XRR 측정에 있어 박막두께 표준보급을 하기 위하여 표준물질을 이온빔 스퍼터링 증착법을 이용하여 제작하였다. 시편제작 시 공기 중 노출에 의해 산화가 되지 않는 산화물 박막과 산화물 기판을 선택하였다. 기판 및 타겟물질 등을 변화시키면서 제작된 시편의 특성을 살펴보았다. 사용된 타겟 물질로는 HfO2, Ta2O5, Cr2O3를 사용하였으며, 기판으로는 glass, sapphire, quartz, SiO2(1 ${\mu}m$-thermal oxidation)를 사용하였다. 산화물 타겟을 사용하여 증착 시 타겟 주위로 생기는 전하들의 charge build-up 되는 현상은 neutralizer를 사용함으로써 문제를 해결하였다. 제작된 시편은 XRR을 이용하여 측정하였고, XRR simulation과 curve fitting을 통하여 박막의 두께, 표면 및 계면의 거칠기, 밀도를 평가하였다. 기판으로 사용된 glass, quartz는 타겟 물질과 관계없이 표면 거칠기가 좋지 않아 XRR 반사율이 급격히 떨어지면서 측정되는 각도의 영역이 작아졌다. sapphire로 제작한 시편에서는 측정된 데이터와 simulation의 curve fitting이 양호하지 않았다. 이 문제는 현재 조사중에 있다. SiO2 기판으로 제작한 시편의 경우 타겟 물질과 관계없이 XRR curve fitting 결과가 양호 하였다. 그 중 Cr2O3의 결과가 다른 타겟 물질에 비해 x 2 값이 작았고 반사율 곡선에서의 거칠기와 진폭도 양호하였다. 위 연구결과로써 SiO2 기판을 사용한 Cr2O3 타겟 물질로 제작된 시편이 XRR 박막 두께 표준물질로써 적합한 것으로 판단된다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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