• Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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• v.30 no.3
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• pp.88-93
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• 2023

As the demand for High Bandwidth Memory (HBM) increases and the handling capability of larger wafers expands, ensuring reliable Total Thickness Variation (TTV) measurement for stacked wafers becomes essential. This study presents the design of a measurement module capable of measuring TTV across the entire area of a 300mm wafer, along with estimating potential mechanical measurement errors. The module enables full-area measurement by utilizing a center chuck and lift pin for wafer support. Modal analysis verifies the structural stability of the module, confirming that both the driving and measuring parts were designed with stiffness exceeding 100 Hz. The mechanical measurement error of the designed module was estimated, resulting in a predicted measurement error of 1.34 nm when measuring the thickness of a bonding wafer with a thickness of 1,500 ㎛.

• Clean Technology
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• v.26 no.4
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• pp.293-303
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• 2020

According to the World Health Organization (WHO), air pollution is a typical health hazard, resulting in about 7 million premature deaths each year. Sulfur dioxide (SO2) is one of the major air pollutants, and the combustion process with sulfur-containing fuels generates it. Measuring SO2 generation in large combustion environments in real time and optimizing reduction facilities based on measured values are necessary to reduce the compound's presence. This paper describes the concentration measurement for SO2, a particulate matter precursor, using a wavelength modulation spectroscopy (WMS) of tunable diode laser absorption spectroscopy (TDLAS). This study employed a quantum cascade laser operating at 7.6 ㎛ as a light source. It demonstrated concentration measurement possibility using 64 multi-absorption lines between 7623.7 and 7626.0 nm. The experiments were conducted in a multi-pass cell with a total path length of 28 and 76 m at 1 atm, 296 K. The SO2 concentration was tested in two types: high concentration (1000 to 5000 ppm) and low concentration (10 ppm or less). Additionally, the effect of H2O interference in the atmosphere on the measurement of SO2 was confirmed by N2 purging the laser's path. The detection limit for SO2 was 3 ppm, and results were compared with the electronic chemical sensor and nondispersive infrared (NDIR) sensor.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2005.06a
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• pp.515-518
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• 2005

현재 정밀한 길이를 측정하기 위해서는 광 간섭계를 이용한 측정기술이 주로 사용되어지고 있다. 이러한 광 간섭계의 발전과 더불어 이보다 더 높은 분해능을 얻기 위해 광파장보다 1000배 정도 짧은 엑스선을 이용한 변위 측정 기술개발이 진행되고 있다. 본 연구에서는 이러한 엑스선을 이용한 간섭계를 제작하고, 광 간섭계와 결합된 광/엑스선 복합간섭계를 구성하여 광 간섭계가 안고 있는 자체의 비선형성이 제거된 정밀 변위 측정 시스템을 구성하였다. 그 응용으로써, 제작된 광/엑스선 복합간섭계를 이용하여 나노미터 영역에 서 사용하는 transducer의 비선형성을 측정하였다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.396-396
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• 2010

최근에 자구벽 이동을 이용한 race track memory, 혹은 나노자성체의 자구 동역학 등에 대한 관심이 집중되고 있다. 용량은 하드디스크의 크기를 가지며 속도는 SRAM, 집적도는 DRAM에 필적하는 새로운 메모리의 실현은 지금까지 이용되는 대부분의 메모리를 대체할 가능성이 있다. 이러한 메모리의 개발에 가장 기본이 되는 측정기술은 나노크기의 자성 구조체에서 자구 혹은 자구벽 이동을 측정하는 기술로써 현재 국내에서 자성 나노구조의 자화방향과 더불어 topography를 동시에 측정할 수 있는 장치는 본 SEMPA가 유일하다. SEMPA는 기존에 사용되어지던 SEM(전자 현미경) 에서 알 수 있는 나노 구조의 형상이외에 전자의 스핀방향을 검출함으로써 형상과 스핀의 결함된 imaging 을 할 수 있다. 일반적으로 기존의 SEM의 경우 고 에너지빔의 전자빔을 주사시키고 이때 발생되는 이차 전자의 수를 2차원상의 영역에 따라 달라지는 비로 mapping 을 하게 된다. 이때 전자의 수뿐만 아니라 이들의 스핀편향(spin polarization) 을 측정할 수 있다면 형상뿐만 아니라 표면에서의 스핀상태를 동시에 측정 할 수 있게 된다. 본 발표에서는 이 방법을 이용하여 나노구조체의 자구측정 결과를 제시하고자 한다.

• Proceedings of the KAIS Fall Conference
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• 2008.05a
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• pp.68-72
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• 2008

최근 들어서 병원에서도 일반 기업에서와 같이 CRM시스템의 구축 및 운용 사례가 늘고 있다. 이런 환경에서 병원의 CRM 시스템의 구축 및 운용 현황에 관심을 갖는 것은 당연하다 할 것이다. 본 논문에서는 이와 같이 구축 운영 중인 병원 CRM 시스템의 성과를 측정하기 위한 분석 방법에 대해서 연구하였다. 이를 위해 선행 연구를 통한 CRM의 성공 요인을 도출하고, 실증분석을 통해 요인 분석의 타당성을 분석하였다. 요인 분석 결과 도출된 요인의 중요성의 측정을 위해서는 요인 간 중요도를 측정할 수 있는 AHP 기법을 적용하였다. 이는 요인의 분류 외에는 측정변수의 가중치 등의 주요 정보를 제공하지 못한다는 요인 분석방법론의 단점을 보완하기 위함이다. 결과적으로 본 연구를 통해서 병원의 CRM시스템의 운용 성과를 측정하기 위한 주요요인 도출과 가중치 분석을 통해 병원의 고객관리시스템의 운용 성과를 합리적으로 측정할 수 있는 지표를 제공하였다.

• Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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• 2016.05a
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• pp.100-100
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• 2016

전자파표면유속계는 대표적인 비접촉식 계측기기로 최근 유량조사를 위해 활발하게 활용되고 있다. 국내에서 사용되고 있는 전자파표면유속계는 평수기 저유속에서도 측정이 가능하고 편각 측정이 가능하도록 개발되어 한 측정 지점에서 다 지점의 유속이 측정이 가능해 평수기 홍수기에 비교적 적은 인원으로 빠른 시간에 유량측정이 가능하다. 하지만 국내의 경우 전자파표면유속계가 과연 얼마만큼의 정확한 유속을 측정하는지에 대한 분석이 다소 부족한 실정으로 특히, 실제 하천에서 정확한 분석은 수행되지 않은 상태에서 유량 측정에 사용되고 있다. 전자파표면유속계를 실제 하천에서 사용할 경우 발생 할 수 있는 오차의 요인으로는 교량과 같이 높은 지점에서 측정을 수행할 경우 측정영역(Footprint or Illuminated area)에 따른 오차가 발생할 수 있는 가능성이 있고, 동일 측정 지점에 대해 수직각과 편각에 변화에 따른 유속 측정 오차가 발생할 수 있다. 이에 본 연구에서는 국내에서 개발된 Mutronics사의 전자파표면유속계(MWSCM; Microwave Water Surface Current Meter)에 레이저포인터를 부착하여 표면유속 약 0.5m/s ~ 1m/s의 자연 하천과 매우 유사한 실제 소하천 규모의 한국건설기술연구원 안동실험센터 직선하천에서 수직각(Tilt angle) 및 편각(Yaw angle)을 변화시켜가며 유속를 측정하였다. 그리고 측정된 결과를 활용하여 수직각과 편각의 변화에 따른 전자파표면유속계의 측정영역을 검토하였고, 동일한 측정 지점에 micro-ADV를 이용해 측정된 연직유속분포를 외삽하여 산정된 표면유속과 비교하여 전자파표면유속계의 측정 정확도를 분석하였다. 분석결과, 수직각(Tilt angle) 15도 이하에서는 유속 측정의 정확도가 떨어지는 것으로 나타났고, 편각(Yaw angle)이 커질수록 측정영역이 커지게 되어 변동 계수가 증가하는 것으로 나타났다. 그리고 전자파표면유속계의 측정 오차는 측정영역에 민감하게 반응하는 것으로 나타나 실제 전자파표면유속계를 이용한 유량측정 시 측정영역을 고려한 측정이 수행되어야 할 것으로 판단된다.

• Information and Communications Magazine
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• v.28 no.12
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• pp.61-68
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• 2011

가시광 무선 통신 기술은 LED의 반도체 특성을 이용하여 디지털 신호를 송신하고, 빛의 유무를 판단할 수 있는 PD를 이용하여 광전 변환을 통해 디지털 데이터를 수신할 수 있는 차세대 무선 통신 기술로 평가받고 있으며, 이에 대한 많은 연구가 진행되고 있다. 본고에서는 특히 가시광 무선 통신 기술을 활용할 수 있는 응용서비스 분야를 설명하고, 특히 실내/실외 위치 측정 기술의 국내외 연구 동향에 대해 소개한다.

• Environmental engineer
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• v.23 s.243
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• pp.40-47
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• 2006

• Science & Technology Policy
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• v.2 no.35 s.35
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• pp.19-20
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• 1992

• Environmental engineer
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• s.174
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• pp.52-53
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• 2001