• Title/Summary/Keyword: 측정기술

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스마트형 진공 배기 진단 제어 시스템 개발(3 세부과제)

  • Jeong, Wan-Seop;Im, Jong-Yeon;Im, Seong-Gyu;Lee, Su-Gap
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.08a
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    • pp.94-94
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    • 2011
  • 본 논문은 "차세대 반도체용 진공공정의 실시간 측정/진단/제어 기술개발"과제의 제 3 세부과제 "스마트형 진공 배기 진단 제어 시스템 개발"의 주요 연구 실적을 소개한다. 본 세부과제는 (1)진공펌프 및 배기 시스템의 다중 상태변수 측정 장치 개발, (2)공정별 펌프 상태 및 공정 조건 data base 구축 및 진단 알고리즘 개발(e-Diagnostics Level 2 FDC 수준), (3)공정별 펌프 상태 변수 측정을 통한 자기 진단 기술 개발(e-Diagnostics Level 2 FDC 수준), 그리고 (4)측정/통신 PMS (Pump Monitoring System) 개발(통신속도 56k bps 이상, e-Diagnostics Level 0~1)을 최종 목표로 추진되어 왔다. 첫 번째 주요실적은 진공배기시스템의 다중 상태변수 측정 및 평가 장치를 성공적으로 개발하였다. 본 장치는 현장에서 진공펌프의 배기속도를 3% 이내로 정밀하게 측정할 수 있는 소닉 노즐을 이용한 배기속도 측정 장치 및 기술을 성공적으로 개발 완료하였다. 그리고 측정 가능한 상태변수는 20종에 달하며 이들을 이용하여 진공펌프의 성능인자 15종과 특성치 9종을 종합적으로 평가할 수 있는 능력을 갖추었다. 두 번째 주요실적은 공정별 진공배기시스템의 자기진단 및 예지보수 기수 개발이다. 연구에서 개발된 적응형 인자모델을 이용한 상태진단 기술은 이미 학회 논문으로 소개되었으며 본 기법은 기존의 시계열 상태변수를 이용한 기존의 상태진단 기법보다 메모리 소요량을 100배로 줄였으며 그리고 연산양은 10% 이하로 줄인 획기적인 기법이라 할 수 있다. 세 번째 주요실적은 상태변수 측정, 통신, 제어 및 공정적응 기능 통합형(smart) PMS(pumper monitoring system) 개발이다. 본 장치는 CAN통신 기법을 새로이 채택하였으며 한 대의 PC로 64대의 단위 진공펌프들의 운전 상태변수를 실시간으로 수집할 수 있도록 하였다. 그리고 운전 중인 개별 진공펌프들의 운전 상태진단은 적응형 인자모델을 이용한 상태진단 기술을 응적용함으로써 매우 정확한 상태진단을 매 batch마다 수행할 수 있는 기능을 제공한다.

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Measurement of combustor surface temperature using phosphor thermometry (형광체를 이용한 연소기 표면온도 측정기술)

  • Kim, Yong-Gyoo;Lee, Seok Hwan;Kim, Sunghun;Yang, Inyoung
    • Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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    • 2017.05a
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    • pp.228-231
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    • 2017
  • The surface temperature of a combustor such as an aircraft engine is one of the important measuring factors related to the combustion performance. However, a conventional temperature measurement technique have a large measurement error due to a bad environment such as a combustion flame, vibration, and dust. In order to solve this problem, a technology has been developed which can measure the surface temperature of the combustor in real time using the wavelength change or attenuation time change according to the temperature of the phosphor. In this study, we developed a technique that can measure surface temperature of scram-jet combustor using phosphor thermometry. The calibration curve was obtained according to the temperature from $200^{\circ}C$ to $800^{\circ}C$ in the calibrated temperature chamber. So, we confirmed that phosphor thermometry can be used for measuring surface temperature of scram-jet combustor.

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New Sensing Technology Trends in Electric Power Equipment (전력설비분야의 새로운 센싱 기술 동향)

  • Lee, Chang-Hoan;Yeo, Woon-Dong;Kim, Jae-Woo;Bae, Sang-Jin
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2004.04a
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    • pp.33-36
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    • 2004
  • 세계적으로 전기수요와 전기풀질의 중요성의 증대로 진력설비의 감시 및 보호를 위한 센싱기술에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 그러나 기존의 전압 및 전류측정 장치인 철심형 변성기는 측정전압이나 전류가 증가될수록 전기적 절연설계가 어렵고 외형 부피가 커질 뿐만 아니라, 측정의 정확도, CT 철심의 자속포화로 인한 사고전류측정의 어려움 등의 문제점이나 단점을 가지고 있어서, 이를 해결하기 위해 센서기술의 개발이 진행되고 있다. 따라서 본 논문에서는 전력설비분야에서의 새로운 센싱기술에 대한 연구개발 동향 및 상용화동향을 분석하고, 이를 통해 국가 과학기술정보의 확산 및 국가 경쟁력 증대에 작으나마 도움이 되고자 한다.

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Implementation of Biosignal Mornitoring System for u-Health (유헬스를 위한 생체신호 모니터링 시스템의 구현)

  • Kim, Kyung Ho;Park, Ji Ho;Park, Young Sik;Hwang, Yu Min;Kim, Jin Young
    • Journal of Satellite, Information and Communications
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    • v.9 no.2
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    • pp.80-84
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    • 2014
  • As an integrated technology with IT and biomedical sciences, U-health offers various healthcare services without time and space limit. In order to make a proper diagnosis, doctors need two key technologies: biosignal measurement and high reliability communication technologies. In this paper, we introduce an implementation process of a bio signal system with using an electrocardiography(ECG) sensor, video, global positioning system(GPS), communication module and micro controller unit(MCU).

Atmospheric Extinction Measurement at 550 nm using a LP-DOAS System (550 nm에서 LP-DOAS를 이용한 대기 감쇄도 측정)

  • 이정순;이철규;김은영;김영준
    • Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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    • 2003.05b
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    • pp.111-112
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    • 2003
  • 자외선의 영역에서 에너지 흡수를 일으키는 기준 가스들을 측정하는 방법은 여러 가지가 있다. 근래에 이르러 분광학적인 방법으로 이들을 측정하는 시도가 늘어나고 있다. 유럽에서 널리 이용중인 도아즈는 현재는 위성에 응용되어 개발되고 있으며 가스의 파장에 대하여 흡수선을 이용하여 해당가스를 검출해내는 기술을 그 원리로 하고 있다. 지점 측정 방법에 대하여 많은 장점을 가지고 있으나 현재로서는 지속적으로 개발되고 있고 응용 기술의 난해함 등으로 그 응용범위가 한정되어 있다. 본 연구는 국내에서 개발된 도아즈 시스템으로부터 시정 거리를 산출하는 데 필요한 550 nm 에서의 광 감쇄도 측정을 내용으로 한다. (중략)

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A Study on the Noncontact Surface Roughness Measurement Method using LASER (레이저를 이용한 비접촉식 표면거칠기 측정방법에 관한 연구)

  • Ahn, In-Suk;Choi, Sung-Joo;Lee, Woo-Young;Kim, Kug-Won
    • Proceedings of the KAIS Fall Conference
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    • 2007.05a
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    • pp.256-260
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    • 2007
  • 본 논문에서는 비접촉식 표면거칠기 측정 방법에 관하여 접촉식과 비교 평가함으로 신뢰성을 확인하였으며, 비교측정하기 위하여 시편을 제작하고 접촉식 방법과 비접촉식 방법으로 측정하고 비교 분석하였다. 분석 결과 접촉식에 비해 비접촉식의 측정에서의 값은 신뢰할 수준으로 판단되었다.

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A Study on the Development for Smart Digital Multi-Meter (스마트 디지털 멀티미터 개발 기술에 관한 연구)

  • Son, young-dal;Eun, chang-soo
    • Proceedings of the Korea Contents Association Conference
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    • 2017.05a
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    • pp.267-268
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    • 2017
  • 본 논문에서는 스마트폰 USB 포트와 연결하여 전원을 공급받고 측정 결과를 스마트폰으로 전달하여 표시할 수 있는 디지털 멀티미터 기술을 제시한다. 스마트폰의 전원과 디스플레이를 사용하므로 디지털 멀티미터의 구성은 전기 신호를 측정하는 측정부와 측정 데이터를 스마트폰으로 전송하기 위한 통신부만 있으면 되므로 기존 제품보다 부피가 감소하고 가격이 낮아지며 스마트폰으로 전송된 측정 데이터의 저장과 전송이 용이해지므로 사용성이 확장될 수 있다.

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Designing of Rotational Raman Lidar system measuring Atmospheric Temperature (대기 온도 측정용 회전 라만 라이다 시스템의 설계)

  • ;;;Serguei Bobronikov
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2000.08a
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    • pp.208-209
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    • 2000
  • 라이다 방법을 이용한 대기의 온도 측정은 크게 1) DIAL 방법을 이용하는 방법 2) 공기분자의 밀도를 측정하는 진동 라만 산란을 이용하는 방법 3)공기분자의 회전 라만 산란을 이용하는 방법 4) Rayleigh 산란의 선폭을 이용하는 방법 등으로 나누어진다. 이 중에서 대류권의 온도 측정에 적용가능한 방법은 3 번째의 방법으로 질소나 산소의 회전 라만 산란(RRS:Rotational Raman Scattering)이 가장 흔히 사용되는 기술이다. 질소와 산소의 회전 라만 신호를 이용한 온도 측정 기술은 Cohen$^1$ 등에 의하여 처음 시도되었으며, 그 후 많은 사람들에 의하여 검증되었다.$^2$ (중략)

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