• Journal of Sensor Science and Technology
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• v.13 no.3
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• pp.207-212
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• 2004

We have investigated the optical characteristics of a directional coupler made of a side-polished polarization maintaining fiber in contact with a multimode planar waveguide and its applications as sensors. A device structural condition to achieve the polarization insensitive wavelength response has been presented. The fabricated devices revealed a superior immunity to the bending and the deformation of PM fibers in the input section. It is experimentally shown that the proposed device is suitable for a remote fiber sensor.

• The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers C
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• v.50 no.9
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• pp.466-470
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• 2001

We have developed a sub-micron gap fabrication technology using chemical-mechanical polishing (CMP) without /the sub-micron lithography equipments (0.18∼0.25 7m). And it has been applied to a lateral field emission device (FED), in which narrow gap distance is very important for reducing turn-on voltage. As a result, the turn-on voltage (at which the current level is 1 nA) of the fabricated device with the gap distance of 256 nm is as low as 4.0 V, which is the lowest turn-on voltage among lateral FEDs ever reported.

• Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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• v.27 no.3
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• pp.195-198
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• 2014

In this paper, a measurement method to obtain the optical properties of a liquid base on a side-polished single mode fiber was proposed and demonstrated. The device showed periodic resonance coupling against wavelengths. The refractive index and dispersion characteristics of a liquid were calculated by use of the spacings of periodic resonance wavelengths of the device. The thermo-optic coefficient of the liquid was obtained by monitering the shift of resonance wavelengths of the devices with change of environmental temperature.

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2009.11a
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• pp.40.1-40.1
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• 2009

생체용 금속 임플란트의 표면개질은 생체활성화를위하여 오래 전 부터 관심을 가지고 연구해오고 있다. 최근에 표면개질을위하여 화학적 에칭, 샌드 블래스팅, 또는 나노튜브형성등 표면에 임의의 요철을 만들어서 사용하는방법이 가장 일반적으로 적용되어 상용화되고있다. 그러나 샌드블래스팅이나 화학적 에칭은 가공은 쉽지만 가공표면에 인체에 해로운 잔류물의존재로 생체적합성에 해로운 영향을 미칠 수 있다. 이러한 문제점들을 해결하기위하여 레이저를 사용하여 임플란트 표면을 개질한 예가 보고 되었다. 레이저를 사용한 표면처리 방법의큰 장점은 잔류물이 남지 않고 비교적 표면 거칠기의 제어가 용이하다. 금속합금의 표면개질에사용되는 레이저는 주로 Nd:YAG 레이저의 파장을 반으로 줄인 녹색레이저 ($\lambda$=532nm)를 사용하거나, 자외선파장영역의레이저를 사용하는 경우가 일반적으로 가장 보 편화된 가공방법으로 연구되었다. 표면의 거칠기는 수마이크로의크기와 수십나노의 크기를 갖는 표면을 생체적합적인 측면에서 요구하고 있다. 따라서 이러한 표면의 거칠기를조절할 수 있는 펨토레이저를 사용하여 표면에 균질한 표면의 텍스춰링을 통하여 그 특성을 개선할 수 있는지를 확인하는 것이 본 과제이다. 본 실험에서는 Ti합금을 진공 아크로를 이용하여 3원계합금을 제조하고 $1000^{\circ}C$에서 24시간 열처리 후 급냉(water quenching)하였다. 열처리 후 시편은 두께 2mm로 절단 하여 #2000까지 연마 후 하여 펨토 초(10-15 second) 펄스폭 대역을 갖는 레이저를 이용하여 수마이크로 크기의 미세 요철을 표면에 형성한 후, 표면의 특성을 조사해 보았다.(NRF-2009-0074672)

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 1992.04a
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• pp.55-59
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• 1992

최근 신 연삭 공구인 미세한 지립의 다이아몬드 휠을 이용함으로써 고경도와 취성을 지니는 엔지 니어링 세라믹스등의 신소재및 초경재 등 난삭재류를 대상으로 경면 가공을 추구하고자 노력이 진행중이다. 이는 래핑이나 폴리싱 등의 유리 지립에 의한 경면 창성법에 비하여 가공 능률이나 가공 정도가 높고 곡면이나 홈 등의 복잡 형상부의가공에도적용할 수 있다는 잇점이 있기 때문이다. 따라서 현재 이러한 신 연삭 가공법은 지금까지 연삭 가공후에 연마 가공 공정을 부가함으로써 초정 밀 효과를 지닐 수 있었던 각종 부품들에대한 단일 최종 마무리가공 공정으로의 응용에많은 기대를 걸고 있다. 본 연구는 높은 압축 강도치, 고온경도치와 내마모성, 강성 등을 지님으로써 외부 압력에 대한 변형률이 극히 적어 금형 칫수에가까운 제품을 생산할 수 있다는 특성으로 근래그 사용도가 급증 하고 있는 초경합금 금형재를 대상으로 해그 동안 난삭재에 대한 최적 가공 조건 설정이 정립되어 있지 못했던 관계로 인하여 기존의 숙련자 경험에만 주로 의존 할 수 밖에 없었던 단순한 다이아몬드 연삭 공구의 활용추세로부터 탈피하고 Diamond wheel 및 범용 연삭 공구를 최적으로 활용함으로써 연삭 가공의 초정밀화를 달성하며후 가공을 생략할 수 있는 가공 공정을 창출 해내기위하여, 상관 관계를 연삭 저항 및 가공 표면 품위등의 측면으로분석, 평가해봄으로써 초정밀 가공 차원에서의 최적 가공 조건 설정을 위한 지침을 명확하게 규명하기 위하여 실험적으로 수행하게 된 것이다.

• The Journal of Korean Academy of Prosthodontics
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• v.50 no.4
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• pp.311-317
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• 2012

When wearing complete dentures, patients want to function naturally within a physiologically stable range. To do this, recovery of esthetics, biologically stable arrangement and contour, and occlusal contacts with denture stability are necessary. In this case report, a complete denture patient of adverse conditions was presented. To increase stability of the dentures, functional impression was made by border molding using the neutral zone. The dentures were checked for physiological centric relations and stable occlusion. The clinical results showed satisfactory results on function and esthetics.

• Korean Journal of Optics and Photonics
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• v.14 no.2
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• pp.169-174
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• 2003

We report theoretical and experimental investigation of a polarizer made of single mode side-polished fiber covered with a metal film. The influence of the metal film thickness and the refractive index of overlay on the device performance has been analyzed in terms of the normal mode theory. Based on the theoretical prediction, a polarizer with 40 ㏈ of polarization extinction ratio and 0.5 ㏈ insertion loss at optical communication wavelength has been realized.

• Journal of Sensor Science and Technology
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• v.19 no.6
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• pp.428-434
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• 2010

In this study, a novel gas sensor based on evanescent field coupling between single mode side polished fiber and solvatochromic dye dispersed polymer waveguide was demonstrated. We fabricated a side polished optical fiber device as a volatile organic compounds gas detector. Solvatochromic dye was coated on the top of the side polished optical fiber to take advantage of evanescent field coupling. The solvatochromism can be defined as the phenomenon whereby a compound changes color, either by a change in the absorption or emission spectra of molecule, when reacted in different VOCs. The device reacted to polarity gases like a hexane, butane, xylene etc. The resonance wavelength was shifted by the xylene concentration which range was 0.1 ppm ~ 100 ppm. Also, the response with the concentration was lineer and the detection limit was 0.1 ppb.

• Design & Manufacturing
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• v.11 no.2
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• pp.42-45
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• 2017

Currently, the mobile device is required to be miniaturized and lightweight according to the needs of the consumer. For this purpose, each part is produced and assembled in units of modules. Accordingly, the display part is also composed of a cover glass, a touch screen, And it costs a large amount to replace the whole when it is damaged. Therefore, we propose a method to improve the durability of display part using ANOVA (Analysis of Variance) and MR fluid polishing. Before MR fluid polishing process, surface treatment was performed to obtain a polishable surface. A series of experiments were carried out to very fine surface roughness and to secure durability of cover glass. Polishing depth, feed rate, and abrasive size were selected to examine the MR fluid polishing results.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2004.07a
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• pp.252-255
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• 2004

반도체는 high integrated, high speed, low power를 위하여 design 뿐만 아니라 재료 측면에서도 많은 변화를 가져오고 있으며, RC delay time을 줄이기 위하여 Al 배선보다 비저항이 낮은 Cu와 low-k material 적용이 그 대표적인 예이다. 그러나, Cu 배선의 경우 dry etching이 어려우므로, 기존의 공정으로는 그 한계를 가지므로 damascene 또는 dual damascene 공정이 소개, 적용되고 있다. Damascene 공정은 절연막에 photo와 RIE 공정을 이용하여 trench를 형성시킨 후 electrochemical plating 공정을 이용하여 trench에 Cu를 filling 시킨다. 이후 CMP 공정을 이용하여 절연막 위의 Cu와 barrier material을 제거함으로서 Cu 배선을 형성하게 된다. Dual damascene 공정은 trench와 via를 동시에 형성시키는 기술로 현재 대부분의 Cu 배선 공정에 적용되고 있다. Cu CMP는 기존의 metal CMP와 마찬가지로 oxidizer를 이용한 Cu film의 화학반응과 연마 입자의 기계가공이 기본 메커니즘이다. Cu CMP에서 backside pressure 영향이 uniformity에 미치는 영향을 살펴보았으며, electrochemical plating 공정에서 발생하는 hump가 CMP 결과에 미치는 영향과 dishing 결과를 통하여 그 영향을 평가하였다.