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Buried Channel PMOS에서 이온 주입된 $BF_2$ 열처리 거동

  • 허태훈;노재상
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.374-374
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    • 2012
  • 반도체 소자의 크기가 100 nm 이하로 감소되면 통상적인 이온 주입 조건인 이온 에너지, 조사량 및 이온 주입 각도뿐만 아니라 Dose Rate 및 모재 온도가 Dopant Profile을 조절하는 데에 있어서 매우 중요한 인자로 작용한다. 본 연구에서는 Ribbon-beam 및 Spot-beam을 사용하여 활성화 열처리 후 Dopant Profile을 분석하였다. 이온 주입은 모든 시편에서 $BF_2$를 가속 에너지 10 keV 및 조사량 $2{\times}10^{15}/cm^2$로 고정하였다. 이온 주입 후 도펀트 활성화는 100% 질소 분위기 하에서 $850^{\circ}C$-30s 조건으로 RTA 열처리를 수행하였다. Boron 및 Fluorine의 Profile은 SIMS 분석을 통하여 구하였다. Spot-beam은 Ribbon-Beam에 비하여 Dose Rate 및 Cooling Efficiency가 높기 때문에 이온 주입 후 더욱 많은 양의 Primary-defect를 발생시키고 이에 따라 두꺼운 비정질 충을 형성한다. $BF_2$ 이온 주입 된 시편에서 B 및 F의 농도 Peak-height는 a/c 계면에 위치하는 것을 관찰하였다. 또한 B 및 F의 농도 Peak-height는 Silicon 모재의 온도가 증가할수록 증가하는 것을 관찰하였다. Silicon 모재의 온도가 증가함에 따라 Active-area의 면저항이 변화하지 않는 상태에서 Vt (Threshold Voltage)가 급격히 감소함을 관찰 하였다. 비정칠 층의 두께가 증가할수록 a/c 계면 하단에 잔존하는 Residual-defect의 양이 감소하고 이는 측면확산을 감소시키는 역할을 한다는 것이 관찰되었다.

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액화질소에 의한 간흡충 피낭유충의 살충에 대한 연구 (Larvicidal Action of Liquid Nitrogen against. Metacercariae of Clonorchis sinensis)

  • 송수복
    • Parasites, Hosts and Diseases
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    • 제25권2호
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    • pp.123-128
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    • 1987
  • The author investigated the larvicidal action of liquid nitrogen against the metacercariae of Clonorchis sinensis, with an observation on the freshness and change of taste in the flesh of fishes. The results obtained were as follows: 1. The metacercariae in the mesh of Pseudorasbora parve, which were treated with liquid nitrogen ($-192^{\circ}C$), were not killed within 10 seconds, but completely killed over 30 seconds. In comparison, the metacercariae in the flesh of p. parka kept in a refrigerator ($-12^{\circ}C$) were killed only in 84% in 10-hour exposure group. 2. The freezing speed of fishes by liquid nitrogen was 4 min.(') and 15 seconds(") for Cyprinus carpio, 1'22" for Carassius carassius and only $30^{\circ}C$ for Pseudorasbora larva. 3. As for the freshness and taste of raw fresh water fishes, they were not deteriorated after the treatment with liquid nitrogen. 4. In animal infection experiment of C. sinensis metacercariae after freezing, they were found not infective after they were treated with liquid nitrogen. From the results, it is inferred that the treatment of fresh water fishes for longer than 30 seconds with liquid nitrogen is helpful to reduce the possibility of C, sinensis infection without alteration of the freshness and taste of fishes.

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Remote Plasma Enhanced-Ultrahigh Vacuum Chemical Vappor Deposition (RPE-UHVCD)법을 이용한 GaN의 저온 성장에 관한 연구

  • 김정국;김동준;박성주
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 1998년도 제14회 학술발표회 논문개요집
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    • pp.108-108
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    • 1998
  • 최근의 GaN에 관한 연구는 주로 MOCVD법과 MBE법이 이용되고 있으며 대부분 800¬1$\alpha$)()t 정도의 고옹에서 이루어지고 었다. 그러나 이러한 고온 성장은 GaN 성장 과청에서 질 소 vacancy를 생성시켜 광특성을 저하시키고 청색 발광충인 InGaN 화합물에 In의 유입울 어 렵게 하며 저온에서보다 탄소 오염이 증가하는 동의 문제캠을 가지고 있다. 이러한 고온 생장 의 문제점을 해결하기 위한 방법중의 한 가지로 제시되고 있는 것이 저온 성장법이다. 본 연구 에 사용된 RPE-UHVCVD법은 Nz률 rf plasma로 $\sigma$acking하여 공급함으로써 NI-h롤 질소원으 로 사용하는 고온 성장의 청우와는 다르게 온도에 크게 의존하지 고 질소원올 공급할 수 있 어 저옹 성장이 가능하였다. 기판으로는 a - Alz03($\alpha$)()1)를 사용하였고 3족원은 TEGa(triethylgallium)이며,5족원으로는 6 6-nine Nz gas를 rf plasma로 cracking하여 활성 질소원올 공급하였다 .. Nz plasma로 질화처리 를 한 sapphire 표면 위에 G따애 핵생성충을 성장 옹도(350 t, 375 t, 400 t)와 성장시간(30 분,50 분) 그리고 VIllI비(1$\alpha$)(), 2뼈)둥을 변화시키면서 성장시킨 후 GaN 에피택시충을 450 $^{\circ}C$에서 120 분 동안 성장시켰다 .. XPS(x-ray photoelectron spectroscopy), XRD(x-ray d diffraction), AFM(atomic force microscope)둥올 이용하여 표면의 조성 및 morphology 변화와 결정성을 관찰하였다. X XPS 분석 결과 질화처리를 한 sapphire 표면에는 AlN가 형성되었다는 것을 확인 할 수 있 었으며 질화처리를 한 후 G따J 핵생성충올 성장시킨 경우에 morphology 변화를 AFM으로 살 펴본 결과 표면에 facet shape의 island가 형성되었고 이러한 결파는 질화처리 과청이 facet s shape의 island 형성을 촉진시킨다는 것을 알 수 있었다. 핵생성충의 성장온도가 중가함에 따 라 island의 모양은 round shape에서 facet shape으로 변화하였다. 이러한 표면의 morphology 변화와 GaN 에피택시충의 결정성과의 관계를 살펴보면 GaN 에피택시충 표면의 rms(root m mean square) roughness가 중가하는 경 우 XRD (j -rocking curve의 FWHM(full width half m maximum) 값이 감소하는 것으로 나타났다. 이러한 현상은 결정성의 향상이 columnar 성장과 관계가 었다는 것올 알 수 있었다 .. columnar 성장은 결함의 밀도가 낮은 column의 형생과 G GaN 에피택시충의 웅력 제거로 인해 G값{의 결정성을 향상시킬 수 있는 것으로 생각된다. 톡 히 고온 성장의 경우와는 달리 rms roughness의 중가가 100-150 A청도로 명탄한 표면올 유 지하면서 결정성을 향상시킬 수 있었다. 본 실험에서는 핵생성충올 375 t에서 30 분 생장시킨 경우에 hexagonal 모양의 island로 columnar 성장을 하였고 GaN 에피태시충의 결정성도 가장 향상되었다 이상의 결과로부터 RPE-UHVCVD법용 이용한 GaN 저온 성장에서도 GaN의 결청성올 향 상시킬 수 있음융 확인할 수 있었다.

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재식밀도 및 시비량 차이가 신농흑찰 품질 및 수량에 미치는 영향 (Effects of Different Nitrogen Levels and Planting Densities on the Quality and Yield of the Black Rice Cultivar 'Shinnongheugchal')

  • 이인석;이덕렬;조승현;이송이;김갑철;이기권;송영주
    • 한국작물학회지
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    • 제61권2호
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    • pp.79-86
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    • 2016
  • 본 연구는 질소시비량과 재식거리 차이에 따른 신농흑찰의 미질 및 수량 차이를 분석하여 안토시아닌 함량에 변화가 없으면서 최고 수량을 생산할 수 있는 적정 재배기술의 자료를 얻고자 수행하였고 그 결과는 다음과 같다. 1. 출수기는 70주 및 80주 시험구+15 kg 조합에서 8월 22일로 동일하였고 다른 조합에서는 8월 21일로 조사되었다. 출수 후 40일에 경수는 70주 시험구+13 kg시비량 조합에서 가장 높았다. 2. 도복지수는 시비량이 증가할수록 증가하였지만 모든 처리구에서 포장도폭은 발생하지 않았고 병해충도 발생하지 않았다. 3. 질소함량은 잎>종자>줄기 순으로 증가하였고, 줄기 및 잎의 질소함량은 80주 시험구의 평균이 70주보다 조금 높았지만 종자의 질소함량은 70주 시험구가 80주보다 높았다. 종자의 최대 질소 함량은 70주+13 kg 조합에서부터 통계적으로 유의성 있는 증가를 보였다. 4. 수당립수는 70주+13 kg 시비량 조합에서 가장 높았고, 등숙률은 80주+13 kg 시비량 조합에서 가장 높았다. 정현비율은 70주+15 kg 시비량 조합에서 가장 높았고, 천립중은 80주+15 kg 시비량 조합에서 가장 높았으나 통계적으로 큰 차이는 없었다. 5. 현미 수량은 70주 시험구의 평균이 80주 시험구보다 높았고, 70주+13 kg 시비량 조합에서 다른 처리구보다 가장 높은 수량을 보였다. 회귀분석에 의해 최대 수량은 14.67 kg/10a로 추정되었다. 6. 관능평가 결과 착색정도는 70주 시험구가 80주보다 높았지만 C3G는 80주가 더 높았다. 완전착색립 수량은 70주+13 kg 시비량에서 가장 높았다. 7. 그러므로 현미수량, C3G 함량 및 100% 착색립 수량을 기준으로 신농흑찰 최고수량을 위한 최적 질소 시비량은 13~14 kg/10a까지 높일 필요가 있을 것으로 판단된다.

무인 항공기 이용 벼 병해충 방제기술 연구 (Application of unmanned helicopter on pest management in rice cultivation)

  • 박광호;김장규
    • 현장농수산연구지
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    • 제10권1호
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    • pp.43-58
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    • 2008
  • 항공방제, 특히 무인헬기에 의한 병해충 방제작업은 작업 자체의 편리성, 기동성, 생력 방제, 생산비 절감, 농촌 노동력 완화, 넓은 면적에 적기 일제 방제, 긴급 추가방제시의 효과 등(Nakashima 등, 2002) 유리한 측면이 많아 일본에서는 이용실적이 급격히 증가하는 추세이다. 우리나라에서도 1960년대 말 대여한 유인헬기로 김제, 김포, 김해 등지에서 이삭도열병과 이화명충에 대한 방제작업을 실시하여(식물환경연구소, 1970) 방제효율, 약해 문제 등 장단점을 비교적 상세히 검토하였다. 그 후 항공방제에 대한 적용약제 선발시험이 실시되었으나(농촌진흥청 2002~'03) 무인헬기에 의한 포장에서의 방제시험은 본 시험이 첫 단계라 생각된다. 본 시험 결과 잎도열병과 잎집무늬마름병의 발생정도가 초기에는 대체적으로 균일한 편이었으나 1차 방제 후의 정도에 차이가 있는 것은 약효의 측면도 있으나 고온 저습 상태의 지속, 벼의 성장에 따른 기주체 저항력의 증가, 포장별 비배관리에 따른 복합적인 요인이 작용했기 때문이라 생각된다. 예를 들어 포장 2의 경우 금년에는 시비를 하지 않았으나 벼의 생육상태와 번무도를 볼 때 전년도까지 많은 량의 질소질 비료가 투여 되었던 것으로 추측된다. 따라서 우수한 약제를 사용하더라도 과비상태에서는 병 발생이 많기 때문에(Kim 등, 1985) 약제방제 효과는 미흡하기 마련이다. 금년도 시험을 실시한 5개의 포장은 각각 다른 농가포장을 이용했기 때문에 무인헬기에 의한 방제효과를 단적으로 판정하기는 어려운 실정이다. 무인헬기에 의한 병해충 방제효과는 벼 뿐 아니라 잡초(農林水産航空協會, 2003), 채소류, 과수, 산림병해충에 대하여 실용성이 입증된 상태지만 우리나라에서 무인헬기를 본격적으로 도입, 방제작업에 활용하기 위해서는 다음 사항들이 고려되어 할 것이다. 1. 동일 포장에서 균일한 경종방법에 의한 시험 2. 병해충의 발생이 다른 기상조건하에서의 연차적 시험 3. 환경영향평가 등 결론적으로 위의 미비점이 보완되어 충분한 연구 자료가 뒷받침 된다면 무인헬기를 이용한 농작물, 산림병해충방제에 획기적인 계기가 마련될 것으로 기대된다.

$RuO_2$박막의 미세 구조가 박막형 마이크로 슈퍼캐패시터의 특성에 미치는 영향 (Effect of RuO$_2$ Thin Film Microstructure on Characteristics of Thin Film Micro-supercapacitor)

  • 김한기;윤영수;임재홍;조원일;성태연;신영화
    • 한국재료학회지
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    • 제11권8호
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    • pp.671-678
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    • 2001
  • $RuO_2$ 박막을 전극으로 하여 Pt/Ti/Si 기판 위에 $RuO_2$ /LiPON/$RuO_2$의 다층 구조로 이루어진 전고상의 박막형 마이크로 슈퍼캐패시터를 제작하였다. 전극용 $RuO_2$박막은 반응성 dc 마그네트론 스퍼터를 이용하여 $O_2$/[Ar+$O_2$]비를 증가시키며 성장시켰고, 비정질 LiPON 고체전해질 박막은 순수한 질소분위기 하에서 rf 스퍼터링으로 성장시켰다. 상온에서의 충-방전 측정을 통해 $RuO_2$ 박막의 미세구조에 따라 슈퍼캐패시터의 사이클 특성이 영향을 받는 것을 알 수 있었다. Glancing angle x-ray diffraction(GXRD)과 transmission electron microscopy (TEM) 분석을 통해 산소 유량의 증가가 $RuO_2$박막의 미세 구조의 영향을 주는 것을 알 수 있었고, X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) 분석을 통해 산소 유량 비의 증가가 Ru과 산소간의 결합에도 영향을 줌을 알 수 있었다. 또한 사이클 후 슈퍼캐패시터의 TEM 및 AES depth profiling 분석을 통해, 충-방전 시 $RuO_2$와 LiPON과의 계면반응에 의해 형성된 계면 층이 사이클 특성에 영향을 줌을 알 수 있었다.

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탄소펠트의 산화처리 방법이 바나듐 레독스 흐름 전지의 전극 성능에 미치는 영향 (Effect of Carbon Felt Oxidation Methods on the Electrode Performance of Vanadium Redox Flow Battery)

  • 하달용;김상경;정두환;임성엽;백동현;이병록;이관영
    • 전기화학회지
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    • 제12권3호
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    • pp.263-270
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    • 2009
  • 레독스 흐름 전지의 전극으로 사용하기 위해 탄소펠트를 열처리와 산처리 방법으로 산화 개질하였다. 열중량 분석결과 열처리 또는 산처리에 의하여 탄소펠트의 섬유 표면에 고분자 물질이 제거되고 산소 관능기가 도입된 것을 확인할 수 있었으며 습식 방법인 산처리 방법보다 건식방법인 열처리 방법이 기계적 안정성을 유지하는데 효과적인 처리 방법으로 나타났다. XPS, 원소분석을 통하여 500$^{\circ}C$에서 4시간 열처리한 탄소펠트의 표면에 산소 관능기가 부가된 것을 확인하였으며 질소흡착실험에서 거의 없던 표면적이 96 $m^2/g$로 증가한 것을 알 수 있었다. CV실험 및 분극 실험을 수행한 결과 500$^{\circ}C$ 열처리 전극의 활성화 저항이 가장 낮게 나타났다. 산처리한 탄소펠트와 400$^{\circ}C$, 500$^{\circ}C$에서 열처리한 탄소펠트를 이용하여 바나듐 레독스 흐름 전지를 구성하고 충/방전 실험을 실시한 결과 충/방전 전압효율이 산처리 전극의 경우 86.6%, 400$^{\circ}C$ 열처리 전극의 경우 89.6%, 500$^{\circ}C$ 열처리 전극의 경우 90.6%로 500$^{\circ}C$ 열처리 전극이 가장 우수하였다.

자운영 환원답의 벼 품종간 생육특성과 수량에 관한 연구 (Growth Characteristics of Six Rice Cultivars under Rice-Chinese Milk Vetch (Astragalus sinicus L.) Cropping System)

  • 이병진;안종웅;황동용;오성환;김준환;김상열;구연충;최진룡
    • 한국작물학회지
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    • 제51권spc1호
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    • pp.84-91
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    • 2006
  • 자운영답에서 벼의 생육특성 등을 조사하여 벼-자운영 작부체계에 적합한 품종의 생리생태적 특성을 구명하고자 영남농업연구소 답작 포장에서 실시한 시험결과를 요약하면 다음과 같다. 1. 자운영 재배답은 무재배답에 비해 이앙 후 환원장애에 의한 초기 활착이 떨어졌으나, 풍미벼, 소비벼, 화영벼가 초장 및 개체군생장률 감소가 적은 편이었다. 2. 부위별 질소함량은 자운영 재배답이 무재배답에 비해 높았고, 반대로 질소흡수량은 단위면적당 건물중이 높았던 자운영 무재배답에서 높았다. 3. 자운영 재배답이 무재배답에 비해 수량이 낮았던 원인은 단위면적당 수수가 적었기 때문이다. 4. 수량에 영향을 미친 수량구성요소로써 자운영 재배답에서는 단위면적당 영화수가, 자운영 무재배답에서는 등숙율이 크게 작용하였다. 5. 쌀의 완전미율과 단백질 함량은 자운영 재배답이 자운영 무재배답에 비해 높게 나타났으며, 식미값은 유의적인 차이가 인정되지 않았다.

수도(水稻) 등숙기간(登熟期間中) 동화산물(同化産物)(14C)의 전유특성과 무기성분(無機成分)의 영향(影響) (Translocation Pattern of Photosynthate(14C) and Nutrient Effect on Translocation during Ripening in Rice)

  • 홍영표;석순종;황영수;류인수
    • 한국토양비료학회지
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    • 제15권4호
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    • pp.233-240
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    • 1982
  • 수도(水稻) 등숙기간중(登熟期間中) 동화산물 전류의 품종간 특성과 식물체내 무기성분조성이 동화산물 전류에 미치는 영향 등을 구명하기 위하여 표식탄소(標識炭素)($^{14}C$)를 이용, 본 시험이 실시되었다. 곡실로의 $^{14}C$ 전류와 수기충(受器充) 전속도(塡速度)는 일치하는 경향이었고 품종 및 특성은 등숙 후기전류우세형(I형 : 아끼바레), 등숙초기전류우세형(II형 ; 태백벼, 추풍벼), 중간형(III형 ; 밀양 23호, 밀양 42호, 유신)등 3群으로 분류되었다. 질소영양상태와 $^{14}C$의 곡실로의 전류간에는 역상관의 경향을 보였다. 유수형성기부터 출수기까지 인산, 가리. 석회, 고토, 및 규산의 공급중단은 곡실입중을 약 4~12% 감소시켰으나 출수기에 동화된 $^{14}C$의 곡실로의 전류를 증가시켰고 출수 후 이들 성분의 재공급효과는 인산>고토>가리, 석회의 순(順)이었으며 규산의 재공급효과는 인정하기 어려웠다. 광합성능은 질소영양에 크게 좌우되었으며 인산, 가리, 석회의 공급중단은 단엽광합성능(單葉光合成能)을 현저히 감소시켰으나 반면에 규산의 공급중단은 광합성능을 증가시켰다.

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햄스터 시각피질에서 Neuronal nitric oxide synthase-면역반응성 뉴런: parvalbumin과의 co-localization 부재 (Neuronal Nitric Oxide Synthase-Immunoreactive Neurons In the Hamster Visual Cortex: Lack of Co-localization with Parvalbumin)

  • 진미주;이지은;예은아;전창진
    • 생명과학회지
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    • 제15권3호
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    • pp.344-351
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    • 2005
  • 산화질소(NO)와 칼슘 결합 단백질은 중추신경계의 다양한 세포들에서 나타나며, 이들은 각각 중요 신호전달 분자와 칼슘 완충 분자이다. 본 연구는 햄스터의 시각피질에서 뇌산화질소 합성효소 (nNOS)와 parvalbumin을 포함하는 뉴런들의 분포와 이들의 co-localization 양상을 면역세포화학적 기법을 이용하여 알아보았다. 햄스터 시각피질에서 parvalbumin에 대한 면역 반응성을 나타내는 뉴런들의 전체 수는 nNOS에 대한 면역 반응성을 보이는 뉴런들의 수보다 17배나 많았다. 가장 큰 차이는 시각피질 제5충에서 발견되었으며, 이곳에서 parvalbumin-면역 반응성 뉴런이 nNOS-면역 반응성 뉴런들의 수보다 54.7배나 높았다. nNOS-또는 parvalbumin-면역 반응성 뉴런들은 크기와 형태, 분포 방식이 시각피질에서 유사하게 나타났다. 그러나 이색 면역형광 기법은 햄스터 시각피질에서 nNOS와 parvalbumin을 모두 발현하는 뉴런은 없음을 보여주었다. 본 연구의 결과는 nNOS와 칼슘 결합 단백질 사이의 co-localization양상이 종간에 차이가 존재함을 나타내며 또한 시각피질에 있는 nNOS-면역 반응성 뉴런들의 다양성과 이질성뿐만 아니라 동물 다양성 이해의 중요성을 함께 제시한다고 볼 수 있다.