Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2014.02a
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pp.109-110
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2014
주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy: SEM)은 고체상태에서 미세조직과 형상을 관찰하는 데에 가장 다양하게 쓰이는 분석기기로서 최근에 판매되고 있는 고분해능 SEM은 수 나노미터의 분해능을 가지고 있다. 그리고 SEM의 초점심도가 크기 때문에 3차원적인 영상의 관찰이 용이해서 곡면 혹은 울퉁불퉁한 표면의 영상을 육안으로 관찰하는 것처럼 보여준다. 활용도도 매우 다양해서 금속파면, 광물과 화석, 반도체 소자와 회로망의 품질검사, 고분자 및 유기물, 생체시료 nnnnnnnnn와 유가공 제품 등 모든 산업영역에 걸쳐 있다(Fig. 1). 입사된 전자빔이 시료의 원자와 탄성, 비탄성 충돌을 할 때 2차 전자(secondary electron)외에 후방산란전자(back scattered electron), X선, 음극형광 등이 발생하게 되는 이것을 통하여 topography (시료의 표면 형상), morphology(시료의 구성입자의 형상), composition(시료의 구성원소), crystallography (시료의 원자배열상태)등의 정보를 얻을 수 있다. SEM은 2차 전자를 이용하여 시료의 표면형상을 측정하고 그 외에는 SEM을 플랫폼으로 하여 EDS (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy), WDS (Wave Dispersive X-ray Spectroscope), EPMA (Electron Probe X-ray Micro Analyzer), FIB (Focus Ion Beam), EBIC (Electron Beam Induced Current), EBSD (Electron Backscatter Diffraction), PBMS (Particle Beam Mass Spectrometer) 등의 많은 분석장치들이 SEM에 부가적으로 장착되어 다양한 시료의 측정이 이루어진다. 이 중 결정구조, 조성분석을 쉽고 효과적으로 할 수 있게 하는 X선 분석장치인 EDS를 SEM에 일체화시킨 장비와 EDS 및 PBMS를 SEM에 장착하여 반도체 공정 중 발생하는 나노입자의 형상, 성분, 크기분포를 측정하는 PCDS(Particle Characteristic Diagnosis System)에 대해 소개하고자 한다. - EDS와 통합된 SEM 시스템 기본적으로 SEM과 EDS는 상호보완적인 기능을 통하여 매우 밀접하게 사용되고 있으나 제조사와 기술적 근간의 차이로 인해 전혀 다른 방식으로 운영되고 있다. 일반적으로 SEM과 EDS는 별개의 시스템으로 스캔회로와 이미지 프로세싱 회로가 개별적으로 구현되어 있지만 로렌츠힘에 의해 발생하는 전자빔의 왜곡을 보정을 위해 EDS 시스템은 SEM 시스템과 연동되어 운영될 수 밖에 없다. 따라서, 각각의 시스템에서는 필요하지만 전체 시스템에서 보면 중복된 기능을 가지는 전자회로들이 존재하게 되고 이로 인해 SEM과 EDS에서 보는 시료의 이미지의 차이로 인한 측정오차가 발생한다(Fig. 2). EDS와 통합된 SEM 시스템은 중복된 기능인 스캔을 담당하는 scanning generation circuit과 이미지 프로세싱을 담당하는 FPGA circuit 및 응용프로그램을 SEM의 회로와 프로그램을 사용하게 함으로 SEM과 EDS가 보는 시료의 이미지가 정확히 일치함으로 이미지 캘리브레이션이 필요없고 측정오차가 제거된 EDS 측정이 가능하다. - PCDS 공정 중 발생하는 입자는 반도체 생산 수율에 가장 큰 영향을 끼치는 원인으로 파악되고 있으며, 생산수율을 저하시키는 원인 중 70% 가량이 이와 관련된 것으로 알려져 있다. 현재 반도체 공정 중이나 반도체 공정 장비에서 발생하는 입자는 제어가 되고 있지 않은 실정이며 대부분의 반도체 공정은 저압환경에서 이루어지기에 이 때 발생하는 입자를 제어하기 위해서는 저압환경에서 측정할 수 있는 측정시스템이 필요하다. 최근 국내에서는 CVD (Chemical Vapor Deposition) 시스템 내 파이프내벽에서의 오염입자 침착은 심각한 문제점으로 인식되고 있다(Fig. 3). PCDS (Particle Characteristic Diagnosis System)는 오염입자의 형상을 측정할 수 있는 SEM, 오염입자의 성분을 측정할 수 있는 EDS, 저압환경에서 기체에 포함된 입자를 빔 형태로 집속, 가속, 포화상태에 이르게 대전시켜 오염입자의 크기분포를 측정할 수 있는 PBMS가 일체화 되어 반도체 공정 중 발생하는 나노입자 대해 실시간으로 대처와 조치가 가능하게 한다.
The capitalistic resistance movement attempted in most modern art areas was carried out through a complete convergence of the art and skill, which was the new formation of the symbolic boundary. Although this resistance movement was aimed at restoring artisan art through the revival of tbe work of handicraftsmen, it consequently caused the stratification of the art and became a de-artisan art excluding the autonomous labor. Hereupon, this study would focus on Bauhaus which attempted to dismantle the symbolic boundary through the convergence of the technology and art which actively used the condition the great industry brought only as an effort for the restoration of artisan labor, and would examine the actor-network of Bauhaus. Therefore, this study would examine the Bauhaus' artistic trend, the 16C Renaissance art promotion movement, and the 19C art crafts movement in the network-oriented relation, and would analyze the Bauhaus' ideological source which expressed design democracy through the bridging role of and analyze the artisan art and the mechanism that had the new technology fused. Furthermore, the convergence possibility of the 'collaboration spirit' being embodied as a philosophy of the democracy in the design continues with the tremendous influence of the new technology.
Ballistic impact analyses have been performed with the Kevlar fabric impregnated with STF(shear thickening fluid). Multi-layer laminates modeled with 3D isoparametric shell elements were used for the performance analysis and their results are compared with experimental results. Both experiments and numerical analyses have been done to verify the usefulness of STF to enhance the impact resistance performance. The results showed that STF increases friction within a bundle of fiber, and this phenomena is more apparent in the velocity range of under near 450 m/s. In this research, it is emphasized that FEA analyses of STF impregnated Kevlar fabric laminate were successfully conducted using shell elements. Moreover, the effectiveness of the technique and accuracy were verified through the comparison with reliable experimental data.
We investigates geochemical and tectonic characteristics for the Triassic Bojangsan trachyte in the southern margin of the Imjingang belt. The geochemical signatures of the thracyte are characterized by enrichments of REE and HFS, and show no Nb trough, suggesting that would not experience arc magmatic processes involving continental crustal materials. The trachyte reveals within-plate setting in tectonic discrimination diagrams using immobile HFS Nb and Y elements. And the trachyte shows typical signatures of A-type volcanic rocks with high Ga abundance and is classified as A1-type volcanic rocks rich in Nb. The geochemical signatures suggest that the trachyte was produced by the differentiation of mantle-derived magmatism at the continental rift in extensional setting subsequent to a major collision during the Permo-Triassic Songrim orogeny. The results provide robust evodence to consider the Imjingang belt as an extension of the the Qinling-Dabie-Sulu belt between the North and South China blocks.
Journal of the Korean Society of Marine Environment & Safety
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v.27
no.5
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pp.557-565
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2021
Path-following control is considered as one of the most fundamental skills to realize autonomous navigation of marine vessels in the ocean. This study addresses with the path-following control for a ship in which there are environmental disturbances in the directions of the surge, sway, and yaw motions. The guiding principle and back-stepping method was utilized to solve the ship's tracking problem on the reference path generated by a virtual ship. For path-following control, error dynamics is one of the most important skills, and it extends to the research fields of automatic collision avoidance and automatic berthing control. The algorithms for the guiding principles and error variables have been verified by numerical simulation. As a result, most error variables converged to zero values with the controller except for the yaw angle error. One of the most interesting results is that the tracking errors of path-following control between two ships are smaller than the existing safe passing distances considering interaction forces from near passing ships. Moreover, a trade-off between tracking performance and the ship's safety should be considered for determining the proper control parameters to prevent the destructive failure of actuators such as propellers, fins, and rudders during the path-following of marine vessels.
Cloud-aerosol interactions are considered to be one of the most important forcing mechanisms in the climate system. However, there is considerable disagreement on the magnitude and even on the sign of how aerosol perturbations affect cloud fraction and lifetime. Furthermore, aerosol effects on clouds and precipitation are not readily separable from the effects of meteorology. This review paper summarizes the study of precipitation susceptibility $S_o$, which qualifies how aerosol perturbations alter the magnitude of the precipitation rate (R) while minimizing the effects of macrophysical factors such as cloud depth (H) and liquid water path (LWP). The analysis shows that the precipitation susceptibility $S_o$ for the warm marine boundary layer clouds is insensitive to aerosol perturbations at low LWP (equivalently low H). However, R decreases as aerosols increase at intermediate LWP. This is because aerosols act as cloud seed and produce numerous small-sized particles, which impede the collision and coalescence process that leads to precipitation. At high LWP, $S_o$ decreases with increasing LWP as there are enough water contents in the clouds. The LWP or H dependent $S_o$ behavior differs depending on the predominant cloud physics processes in the clouds.
In recent years, carbon dioxide ($CO_2$) bubbles emerged as the most widely applied material with the recycling of sequestrated storage to decrease global warming. Flotation using $CO_2$ as an alternative to air could be effective in overcoming the high power consumption in the dissolved air flotation (DAF) process. The comparison of DAF and DCF system indicated that, the carbon dioxide flotation (DCF) system with pressurized $CO_2$ only requires 1.5 ~ 2.0 atm, while the DAF system requires 3.0 ~ 6.0 atm. In a bid to understand the characteristics of particle separation, the single collector collision (SCC) model was used and a series of simulations were conducted to compare the differences of collision and flotation between $CO_2$ bubbles and air bubbles. In addition, laboratory experiments were sequentially done to verify the simulation results of the SCC model. Based on the simulation results, surfactant injection, which is known to decrease bubble size, cloud improved the collision efficiency of $CO_2$ bubbles similar to that of air bubbles. Furthermore, the results of the flotation experiments showed similar results with the simulation of the SCC model under anionic surfactant injection. The findings led us to conclude that $CO_2$ bubbles can be an alternative to air bubbles and a promising material as a collector to separate particles in the water and wastewater.
Journal of the Korea institute for structural maintenance and inspection
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v.26
no.2
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pp.28-36
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2022
As port structures are exposed to various extreme external loads such as wind (typhoons), sea waves, or collision with ships; it is important to evaluate the structural safety periodically. To monitor the port structure, especially the rubber fender, a fender segmentation system using a vision sensor and deep learning method has been proposed in this study. For fender segmentation, a new deep learning network that improves the encoder-decoder framework with the receptive field block convolution module inspired by the eccentric function of the human visual system into the DenseNet format has been proposed. In order to train the network, various fender images such as BP, V, cell, cylindrical, and tire-types have been collected, and the images are augmented by applying four augmentation methods such as elastic distortion, horizontal flip, color jitter, and affine transforms. The proposed algorithm has been trained and verified with the collected various types of fender images, and the performance results showed that the system precisely segmented in real time with high IoU rate (84%) and F1 score (90%) in comparison with the conventional segmentation model, VGG16 with U-net. The trained network has been applied to the real images taken at one port in Republic of Korea, and found that the fenders are segmented with high accuracy even with a small dataset.
Journal of the Korean Institute of Landscape Architecture
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v.51
no.1
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pp.29-41
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2023
In landscape studies, the concept of naturalness was vast in its categories from physical space to cognitive systems, making it difficult to define terms at once. Therefore, this study summarized the concept and evaluation attributes of 'naturalness' used in the literature through systematic review (SR), and identified the scope of individual attributes that constitute the meaning of naturalness. In addition, the individual attributes classified in previous studies were identified as the meaning chain, one of the cognitive linguistic research methods, and applied to papers targeting naturalness among domestic landscape studies to organize a polysemous meaning system. Meaning chain is a suitable method for grasping words whose meaning expands in a chain due to family resemblance around prototypical meaning, and the dimension is classified according to the classification of naturalness evaluation items and a multi-semantic chain system of naturalness concepts discussed in domestic academia. The results of the study are as follows. First, the attributes of naturalness extracted through foreign landscape literature were classified into four areas: nature perceived as wilderness, nature as non-artificiality, nature as visual landscape, and nature as experience, and 13 detailed attributes. Second, these detailed attributes are generally consistent with domestic landscape studies, but their specific cases were different, and a Korean context was presented in perception of time accumulation, also they suggested that there may be a mutual conflict between naturalness attributes.
The current state of performance halls in South Korea is closely related to the performance art and culture of the nation as the culture of putting on and enjoying a performance is deeply rooted in public culture and arts halls representing each area at the local government level. Today, public culture and arts halls have multiple management purposes, and the subjects of their management are in the public domain including the central and local governments or investment and donation foundations in overwhelming cases. Public culture and arts halls thus have close correlations with the institutional aspect of cultural policies as the objects of culture and art policies at the central and local government level. The full-blown era of public culture and arts halls opened up in the 1980s~1990s, during which multi-purpose performance halls of a similar structure became universal around the nation. Public culture and arts halls of the uniform shape were distributed around the nation with no premise of genre characteristics or local environments for arts, and this was attributed to the cultural policies of the military regime. The Park Chung-hee regime proclaimed Yusin that was beyond the Constitution and enacted the Culture and Arts Promotion Act(September, 1972), which was the first culture and arts act in the nation. Based on the act, a five-year plan for the promotion of culture and arts(1973) was made and led to the construction of cultural facilities. "Public culture and arts" halls or "culture" halls were built to serve multiple purposes around the nation because the Culture and Arts Promotion Act, which is called the starting point of the nation's legal system for culture and arts, defined "culture and arts" as "matters regarding literature, art, music, entertainment, and publications." The definition became a ground for the current "multi-purpose" concept. The organization of Ministry of Culture and Public Information set up a culture and administration system to state its supervision of "culture and arts" and distinguish popular culture from the promotion of arts. During the period, former President Park exhibited his perception of "culture=arts=culture and arts" in his speeches. Arts belonged to the category of culture, but it was considered as "culture and arts." There was no department devoted to arts policies when the act was enacted with a broad scope of culture accepted. This ambiguity worked as a mechanism to mobilize arts in ideological utilizations as a policy. Against this backdrop, the Sejong Center for the Performing Arts, a multi-purpose performance hall, was established in 1978 based on the Culture and Arts Promotion Act under the supervision of Ministry of Culture and Public Information. There were, however, conflicts of value over the issue of accepting the popular music among the "culture and arts = multiple purposes" of the system, "culture ≠ arts" of the cultural organization that pushed forward its establishment, and "culture and arts = arts" perceived by the powerful class. The new military regime seized power after Coup d'état of December 12, 1979 and failed at its culture policy of bringing the resistance force within the system. It tried to differentiate itself from the Park regime by converting the perception into "expansion of opportunities for the people to enjoy culture" to gain people's supports both from the side of resistance and that of support. For the Chun Doo-hwan regime, differentiating itself from the previous regime was to secure legitimacy. Expansion of opportunities to enjoy culture was pushed forward at the level of national distribution. This approach thus failed to settle down as a long-term policy of arts development, and the military regime tried to secure its legitimacy through the symbolism of hardware. During the period, the institutional ground for public culture and arts halls was based on the definition of "culture and arts" in the Culture and Arts Promotion Act enacted under the Yusin system of the Park regime. The "multi-purpose" concept, which was the management goal of public performance halls, was born based on this. In this context of the times, proscenium performance halls of a similar structure and public culture and arts halls with a similar management goal were established around the nation, leading to today's performance art and culture in the nation.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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