• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 2003.03a
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• pp.62-62
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• 2003

고밀도 유도결합 플라즈마(high density inductively coupled plasma) 식각은 GaAs 이종접합 양극성 트랜지스터(HBTs)와 고속전자 이동도 트랜지스터(HEMTs)와 같은 GaAs 기반 반도체의 정교한 패턴을 형성하는데 더욱 많이 이용되고 있다 본 연구는 고밀도 플라즈마 소스(source)인 평판형(planar) 고밀도 유도결합 플라즈마 식각장치를 이용하여 $BCl_3$ 와 $BCl_3/Ar$ 가스에 따른 GaAs 식각결과를 비교 분석하였다. 공정변수는 ICP 소스 파워를 0-500W, RIE 척(chuck) 파워를 0-150W, 공정압력을 0-15 mTorr 이었다. 그리고 가스 유량은 20sccm(standard cubic centimeter per minute)으로 고정시킨 상태에서 Ar 첨가 비율에 따른 GaAs의 식각결과를 관찰하였다. 공정 결과는 식각률(etch rate), GaAs 대 PR의 선택도(selectivity), 표면 거칠기(roughness)와 식각후 표면에 남아 있는 잔류 가스등을 분석하였다. 20 $BCl_3$ 플라즈마를 이용한 GaAs 식각률 보다 Ar이 첨가된 (20-x) $BC1_3/x Ar$ 플라즈마의 식각률이 더 우수하다는 것을 알 수 있었다. 식각률 증가는 Ar 가스의 첨가로 인한 GaAs 반도체와 Ar 플라즈마의 충돌로 나타난 결과로 예측된다. $BCl_3$ 와 $BC1_3/Ar$ 플라즈마에 노출된 GaAs 반도체 모두 표면이 평탄하였고 수직 측벽도 또한 우수하였다. 그리고 표면에 잔류하는 성분은 Ga와 As 이외에 $Cl_2$ 계열의 불순물이 거의 발견되지 않아 매우 깨끗함을 확인하였다. 이번 발표에서는 $BCl_3$ 와 $BCl_3/Ar$ 플라즈마를 이용한 GaAs의 건식식각 비교에 대해 상세하게 보고 할 것이다.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.18 no.6
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• pp.426-434
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• 2009

A global simulation of $SiH_4/H_2$ discharge is conducted in a planar-type inductively coupled plasma (ICP) discharge. We numerically solve a set of spatially averaged fluid equations for electrons, positive ions, negative ions, neutrals, and radicals. Absorbed power by electrons is determined by an analytic electron heating theory including the anomalous skin effect. Also, we investigate functional dependence of various discharge quantities such as the densities of various species and the temperature of electron on external controllable parameters such as ratio between $SiH_4$ and $H_2$, power and pressure.

• Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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• v.48 no.7
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• pp.529-536
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• 2020

Reaction Control System of the third stage of the Korean Space Launch Vehicle II conducts roll control and 3 axis control throughout third stage engine start, satellite separation, and collision and contamination avoidance maneuver. Reaction control system consumes its propellant in each thruster operation. Hence, loading of proper amount of the propellant is important for mission success. It is needed to have a rough estimation method of propellant consumption during the flight. In this paper, we developed a energy equation using pressure and temperature data which are acquired in the on-board reaction control system. We constructed a test system which is similar with the on-board reaction control system to verify the energy equation. Test results using deionized water were compared with estimated propellant consumption. We also conducted an error analysis of the energy equation. We also presented the propellant consumption result of a system level operation test.

• Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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• v.36 no.11
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• pp.1056-1062
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• 2008

The interaction between thrust plume and satellite base region was investigated by using direct simulate Monte-Carlo calculations. For the accurate simulation of N2 and H2 collisions and rotation-translation transition, a variable soft-sphere model and a recent rotational relaxation model of N2 and H2 were used. For the investigation of the interaction between thrust plume and base region, the number density distribution for each species, translational and rotational temperature distributions, heat flux, and pressure were examined by direct simulation of Monte-Carlo calculations. It was found that most of the surface properties are affected by H2 collisions and a strong non-equilibrium state is observed at the base region. It was demonstrated that an accurate model is needed to simulate H2 collisions and the rotation-translation transition. The results by the present calculation are more accurate than previous direct simulation Monte-Carlo calculations because more accurate rotational relaxation models were used in simulating the inelastic collisions.

• KSCE Journal of Civil and Environmental Engineering Research
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• v.13 no.2
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• pp.61-71
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• 1993

The stress waves generated by the mechanical energies by impact or the chemical energies by the explosions are transmitted through medium. The wave propagation process through medium is a very complicated procedure due to the reflections and refractions of the waves at the free surfaces and interfaces. In this study the pressure independent Von-Mises model is employed for the wave propagation analysis in the layered systems. Governing equations of this study are conservation equations of momentum and mass in Lagrangian coordinate system which is fixed to the material. Due to the shock-front which violates the continuity assumptions inherent in the differential equations numerical artificial viscosity is used to spread the shock front over several computational zones. These equations are solved by Finite Difference Method with discretized time and space coordinates. The associate normality flow rule as a plastic theory is implemented to find the plastic strains.

• Journal of the Korean Chemical Society
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• v.36 no.5
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• pp.644-651
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• 1992

The kinetics of the gas phase reaction of ozone(∼0.5 torr) with sulfur trioxide was investigated in the range of 6∼12 torr pressure at 69∼150${\circ}C$. The reaction rate of ozone with sulfur trioxide was faster than the reaction rate of $O_3 in the presence of CO_2 alone. No evidence for a molecular reaction of O_3 with SO_3 was found and the faster rate is probably due to impurity (HX) from the SO_3 reactant which gives rise to a chain reaction initiated by O_3 ＋ HX → OH ＋ O_2 ＋ X and also SO_3 has a larger collision diameter, which may be attributed to the O3 thermal decomposition more feasibly. The proposed experimental law [-d(O_3)/dt] = k_a(SO_3)(O_3) ＋ k_b(O_3)^{3/2} gives a rate constant ka(M-1 s-1) = (1.55 {\pm} 0.67) {\times} 105 e-{(9.27 0{\pm}0.43)kcal/RT}.$

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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• v.26 no.7
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• pp.1031-1038
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• 2002

The pressure sensitive paint (PSP) has recently received a considerable attention in the fields of aerodynamics and fluid mechanics as a new revolutionary optical technique to measure pressure fields on a body surface. In this study, the feasibility and effectiveness of the PSP pressure field measurement technique have been investigated experimentally. Seven different PSP formulations including two porphyrins(PtOEP and PtTFPP) and four polymers(Polystyrene, cellulous acetate butyrate, GP-197 and Silicon-708) were tested to check the performance and characteristics of each combination. The static calibration of each PSP formulation was carried out in a constant-pressure chamber. The PSP technique was applied to an oblique impinging jet flow to measure variation of pressure field on the impinging plate at on oblique jet angle of ${\theta}=60^{\circ}$. Pressure field images were captured by an 12bit intensified CCD(ICCD, $1K{\times}1K$)camera. As a result, the dynamic response of PSP depends on the oxygen permeability of polymer and the photochemical interaction between luminophore and polymer as well as the reaction of luminophore itself. The reaction of luminophore was changed by employing different polymers. In conclusion, Among 7 PSP formulation tested, the combination of PtTFPP and cellulous acetate butyrate show the best performance. In addition, the detail pressure field of an oblique high-speed impinging jet was measured effectively using the PSP technique.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2011.08a
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• pp.149-149
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• 2011

아르곤 기체의 방사세기 또는 그 세기 비는 플라즈마 공정 진단에서 일반적으로 사용된다. 본 실험에서는 100 mTorr 압력 조건하의 유도결합 플라즈마(13.56 MHz)에서 E-H 모드 전이 영역, rf 바이어스(12.5 MHz) 전력 인가 및 N2 혼합 시 단순화한 충돌-방사 모델에 기초한 광방사 세기비 방법을 적용하여 플라즈마 변수를 진단하였다. 개발 프로그램 기반의 분광기를 사용하여 아르곤 기체의 특정 파장(750.4, 751.5 그리고 811.5 nm)들을 관측하였고, 동일한 조건하에서 정전 탐침법으을 이용하여 전자 에너지 분포함수의 변화도 측정 하였다. 맥스웰 전자 에너지 분포를 가정하는 일반적인 경우와 비교하여 볼 때 실제적인 전자 에너지 분포함수의 측정은 전자의 가열 메커니즘에 대한 상세한 정보를 제공함과 동시에 플라즈마 재흡수에 대한 보정을 가능하게 해준다. 광방사 세기비법에 의해 측정된 결과에 의하면, 750.4 nm/751.5 nm는 높은 에너지(>13.08 eV)의 전자들의 유효 전자온도에 대한 정보를 나타내는 반면 811.5 nm/750.4 nm는 아르곤 준안정 준위 밀도(1s5)에 대한 정보를 제공하게 된다. 수행된 실험 조건하에서, 측정된 준안정 준위 밀도는 E-H 모드 전이 영역에서 최대값을 나타내었고 바이어스 전압 및 N2 기체 혼합 비율이 증가함에 따라 감소하는 결과를 얻었다. 유효 전자온도의 경우 광방사 세기비법과 정전 탐침법 모두 같은 결과를 보여 주었는데, E-H 모드 전이 영역에서는 전자온도는 거의 일정하였고 바이어스 전압 및 N2 기체 혼합 비율이 증가함에 따라 전자온도는 증가하였다. 이러한 실험 결과는 방전 모드 전이, 바이어스 인가 그리고 혼합 기체 사용하는 공정 플라즈마를 이해하는데 있어 이들 변수의 진단이 중요한 요소임을 보여준다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.180-180
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• 2013

반도체, 디스플레이와 같이 저압, 극청정 조건에서 진행되는 공정에서 발생한 오염입자는 수 율에 큰 영향을 미친다. 따라서 공정 중에 발생한 오염입자를 실시간으로 모니터링할 수 있는 장비에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. Particle Beam Mass Spectrometer (PBMS)는 저압에서 실시간으로 나노 입자의 크기를 측정할 수 있는 대표적인 장비 중 하나이다. 입자를 포함한 가스 유동이 PBMS로 유입되면, 우선 입자를 입자빔의 형태로 집속하는 공기역학렌즈를 통과하게 된다. 집속된 입자는 노즐에 의해서 가속되며, 이로 인해 충분한 관성을 가지게 된 입자는 양극과 음극, 필라멘트로 구성된 electron gun에서 전자충돌에 의해 포화상태로 하전된다. 하전한 입자는 electrostatic deflector에서 크기에 따라 분류되어 Faraday detector와 electrometer에 의해 측정된다. 그러나 공기역학렌즈는 입자의 크기가 작아질수록 집속 효율이 급격히 낮아진다는 문제점을 지니고 있다. 이는 입자가 작아질수록 점성에 의한 영향이 관성에 의한 영향보다 커짐으로써 나타나는 현상이다. 최근 이러한 문제점을 해결하기 위해 사중극자를 사용하여 입자를 집속시키는 방법이 대안으로 제시되었다. 사중극자는 서로 마주보는 쌍곡선 형태의 전극구조에 AC 전기장을 인가하는 방식을 사용한다. 사중극자의 중심은 정확히 평형점을 가지게 되며 입자는 사중극자 내에서 진동을 반복하며 평형점을 향해 모이게 된다. 입자의 크기가 작을수록 전기력에 의한 영향을 크게 받으므로 사중극자를 이용한 입자집속 방법은 나노입자의 집속에 있어 공기역학렌즈를 이용한 집속에 비해 이점을 지닌다. 또한 집속 하고자 하는 입자 대상이 바뀔 경우 구조를 바꿔야 하는 공기역학렌즈와 달리 사중극자를 이용한 방법은 AC 전기장을 조절하는 것 만으로 제어가 가능하다. 본 연구에서는 저압 조건에서 나노입자를 집속하기 위한 사중극자의 전극 구조를 이론적인 계산을 통하여 구하였다. 그 결과 0.1 torr의 압력 조건하에서 5~100 nm 범위의 기본 입자를 AC 전압과 진동수를 조절하여 집속할 수 있는 사중극자 형태를 설계하였다.

• Korean Journal of Legislative Studies
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• v.24 no.3
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• pp.5-28
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• 2018

The recent changes in Korean elections are mainly characterized as the downfall of the Conservative party. It is surprising, considering that the conservative party gained the historical support from the electorate in 2012, just several years ago. This paper claims that the downfall of the Conservative party is mostly derived from the perceptual conflicts and inconsistencies in the mind of the conservatives. The findings show clearly both attitude conflicts for the conservatives and its effect of asymmetrical (in)activation of participation. As their preferences to the conservative candidate and party became weaken, the conservatives remained to be inactive participants in elections. On the other hand, the liberals could make political decisions easily, having popular candidate and preferable political party. It suggests that, in order to participate, the electorate needs attractive candidate as well as parties to support in election. To revive as an active political actor, the conservative party should focus on the search of attractive candidates for the conservative electorate and reform the party in accordance with ideological preference of the electorate.