• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
• /
• 2012.02a
• /
• pp.296-296
• /
• 2012

LCD panel 검사를 위한 Probe unit은 대형 TV 및 모바일용 스마트폰을 중심으로 각광을 받고 있는 소모성 부품으로 최근 pitch의 미세패턴화가 급속히 진행되고 있다. 본 연구에서는 Slit Wafer 제작 공정을 최적화하기 위해 25 um pitch의 마스크를 설계, 제작하였다. 단공과 장공을 staggered 형태로 배열하여 25 um/25 um line/space pitch로 설계하였다. 또한 단위실험을 위해 직접 25 um pitch로 설계하여, 동일한 실험조건을 적용하여 최적 조건을 찾고자 하였다. 반응변수는 Etch rate 및 profile angle로 결정하였으며, 약 200~400 um 에칭된 slit의 상단과 하단의 폭, 그리고 식각깊이를 SEM 측정사진을 통해 정한 후 etch rate 및 profile angle을 결정하였다. 인자는 식각속도 및 wall의 각도를 결정하는 식각 및 passivation 가스의 유량, chamber 압력(etching/passivation), 식각시간 등으로 정하였으며, 이들의 최대값과 최소값 2 수준으로 실험계획을 설계하였다. 식각 조건에 따라 8회의 실험을 수행하였다. 가스의 유량은 SF6 400 sccm, C4F8 400 sccm, 식각 싸이클 시간은 5.2~10.4 sec, passivation 싸이클시간 4 sec로 하였으며, 압력은 식각시 7.5 Pa, passivation 시 10 Pa로 할 경우가 가장 sharp하게 나타났다. Coil power 와 platen power는 각각 2.6 KW, 0.14 KW로 하였으며, 최적화를 위한 인자의 값들은 이 범위에서 조절하였다. 이러한 인자의 조건 조절을 통해 etch rate는 5.6 um/min~6.4 um/min, $88.9{\sim}89.1^{\circ}$의 profile angle을 얻을 수 있었다.

• Journal of the Computational Structural Engineering Institute of Korea
• /
• v.25 no.6
• /
• pp.477-485
• /
• 2012

Geometric configurations such as hull shape, wall thickness, stiffener layout, and type of construction materials are the key factors influencing the structural performance of pressure hulls. Traditional theoretical approach provides quick and acceptable solutions for the design of pressure hulls within specific geometric configuration and material. In this paper, alternative approaches that can be used to obtain optimal geometric shape, wall thickness, construction material configuration and stiffener layout of a pressure hull are presented. CAE(Computer Aided Engineering) based design optimization tools are utilized in order to obtain the required structural responses and optimal design parameters. Optimal elliptical meridional profile is determined for a cylindrical pressure hull design using metamodel-based optimization technique implemented in a fully-integrated parametric modeler-CAE platform in ANSYS. While the optimal composite laminate layup and the design of ring stiffener for a thin-walled pressure hull are obtained using gradient-based optimization method in OptiStruct. It is noted that the proposed alternative approaches are potentially effective for pressure hull design.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
• /
• v.34 no.6
• /
• pp.629-634
• /
• 2010

Natural gas is a promising alternative fuel that can be used to satisfy the strict engine emission regulations in many countries. To develop natural-gas engines, low emission, efficient fuel consumption, and increased power ratings have to be realized. In this study, a cylindrical constant-volume combustion chamber (CVCC) was used to investigate natural-gas combustion characteristics for different prechamber design parameters and equivalence ratios. In particular, the maximum combustion pressure and mass fraction of the burned gas were evaluated by considering orifice diameter, volume ratio of prechamber and equivalence ratio. Using this result and by analyzing the changes in combustion characteristics with variations in design parameters, the optimum prechamber parameters were determined.

• Proceedings of the KAIS Fall Conference
• /
• 2011.05b
• /
• pp.962-965
• /
• 2011

본 논문에서는 37kw이하 공용코어용 고효율 유도전동기 시제품 제작하였다. 시제품을 제작하기위해서는 전동기설계 및 해석이 필요하다. 방법으로는 전동기기본설계, 실험계획법, 등가회로법, 유한요소법 등이 있다. 이중에서 실험계획법에는 최적설계, 주요인자, 최적영역 등으로 나누어 분석할 수 있다. 설계 및 해석한 결과를 가지고 특성을 분석하고 재료비 및 효율을 비교하게 된다. 이를 바탕으로 5.5kw, 7.5kw, 11kw, 15kw 4극, 6극 공용코어용 고효율 유도전동기 시제품을 제작하였다.

• Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers
• /
• v.18 no.2
• /
• pp.278-291
• /
• 1994

A computer-aided robust design (CARD) technique is developed to search for the design variables, optimal as well as robust in the sense of Taguchi method. The CARD technique can effectively handle inequality problems by employing the variable penalty method, and dynamic problems with many design variables and/or with mixed discrete and continuous variables. It is also capable of providing contributions of each design variables to the object funtion and information for future designs. As the illustrative examples, two dynamic systems, engine mounting system and in-line feeder, are treated.

• Proceedings of the Korea Concrete Institute Conference
• /
• 1994.04a
• /
• pp.42-46
• /
• 1994

본 연구에서는 프리캐스트 PC 세그멘탈 교량 접합부의 전단거동을 파악하기 위하여 전단키 접합부의 전단거동과 전단강도 특성을 실험적으로 연구하였다. 본 연구를 통하여 접합부 형상에 따른 하중-변위 관계, 균열거동, 파괴모드, 전단강도 등을 규명하고, 접합부의 역학적 거동에 영향을 미치는 여러인자들에 대해 분석한다. 또한 이로부터 최적의 접합부 형상을 도출하고, 이에 따른 최적의 접합방식을 검토함으로써 접합부 설계의 지침과 해석의 근거를 제시한다.

• Proceedings of the Korean Operations and Management Science Society Conference
• /
• 1992.04b
• /
• pp.188-197
• /
• 1992

제품 개발에 관한 응용 연구 혹은 개발 연구의 실험 결과가 품질특성의 본질적인 성격이나 측정시의 편의때문에 순차 범주형 자료(ordered categorical data)로 분류되는 경우가 있다. 본 논문에서는 망목 특성 문제(nominal-the-best type problem)를 분석하는데 있어서 기존의 다구찌 누적법이 순차 범주형 자료분석법이 안고 있는 문제점들을 고찰하고, 이를 개선하기 위해 품질손실에 근거한 목표 누적법을 제시한다. 본 논문에서 제시한 기법을 post-etch contact window데이타에 적용해 본 결과 인자의 최적수준을 결정하는데 용이하였다.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
• /
• 2005.09a
• /
• pp.178-182
• /
• 2005

품질 관리의 목표는 최종제품의 품질 보증에 있다. 이러한 목표를 달성하기 위해서는 품질 특성이 명확해야 하며, 동시에 품질 특성치에 영향을 주는 공정의 여러 변동 요인을 분명히 해야 한다. 실험계획법(Design of Experiments)은 특성에 영향을 미치는 여러 인자를 선정하며, 또한 이들의 관계를 알아보기 위한 실험을 실시하여 제품의 최적 제조조건을 경제적으로 찾아내는 기법이다. 본 연구에서는 실험계획법을 사용하여 유량을 최적화하는 요인을 선정, 얻어진 데이터를 통계적 방법으로 분석하여 최적의 조건을 나타내었다.

• Journal of the Korea institute for structural maintenance and inspection
• /
• v.19 no.5
• /
• pp.92-103
• /
• 2015

Box-Wilson experimental design method, known as central composite design, is the design of any information-gathering exercises where variation is present. This method was devised to gather as much data as possible in spite of the low design cost. This method was employed to model the effect of mixing factors on several performances of 60 MPa high strength self compacting concrete and to numerically calculate the optimal mix proportion. The nonlinear relations between factors and responses of HSSCC were approximated in the form of second order polynomial equation. In order to characterize five performances like compressive strength, passing ability, segregation resistance, manufacturing cost and density depending on five factors like water-binder ratio, cement content, fine aggregate percentage, fly ash content and superplasticizer content, the experiments were made at the total 52 experimental points composed of 32 factorial points, 10 axial points and 10 center points. The study results showed that Box-Wilson experimental design was really effective in designing the experiments and analyzing the relation between factor and response.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
• /
• v.7 no.2
• /
• pp.101-106
• /
• 2006

The optimum design of turbine blade at minimized fatigue life can be derived by the statistical fatigue analysis in this study, The optimum value of positions in the axes of X and Y at turbine blade can be found by design of experiments on the condition that the value of fillet radius is fixed to minimize the fatigue life. The degree of uncertainty about process at the factors in the axes of X and Y can be calculated by six sigma analysis. The optimum value of fillet radius is determined by utilizing the robust design at uncertain condition. It is concluded that maximum von Mises stress can decreased by 20% and the fatigue life can be double.