• 제목/요약/키워드: 초전도 박막

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초전도 YBCO 필터의 중심 주파수 변화 연구 (A Study on the Shift of Center Frequencies of Superconducting 14 GHz YBCO Filters)

  • 송석천;이상렬
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2000년도 추계학술대회 논문집 학회본부 C
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    • pp.500-502
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    • 2000
  • 고온 초전도 YBCO 박막을 Nd:YAG 레이저를 이용하여 MgO 기판에 증착시켰다. 박막을 마이크로스트립형 통신소자로 제작하기 위해 포토리스그래피 방법으로 습식 에칭을 시켰다. 제작된 박막에 접지면을 입히기 위해 스퍼터링 방식으로 Ti 충을 30 nm 증착하고, 열 증발기로 Ag를 $2{\mu}m$ 정도로 증착을 시켰다. 소자의 주파수 응답을 측정하기 위해 캐비티를 제작하여 측정하였다. 제작된 필터의 중심 주파수는 14 GHz이다. 박막을 냉각시켜며 그 중심 주파수를 측정하여 임계 온도를 측정할 수 있었다. 필터는 두 가지 디자인을 이용하였으며, 임계 온도에서의 중심주파수가 일정하게 이동함을 관찰할 수 있었다.

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RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 제조한 (Ba,Sr)TiO$_3$ 박막의 유전 및 초전특성 (Dielectric and Pyroelectric Prooperties of (Ba,Sr)TiO$_3$ Thin Films Grown by RF Magntron Sputtering)

  • 박재석;김진섭;이정희;이용현;한석룡;이재신
    • 한국세라믹학회지
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    • 제36권4호
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    • pp.403-409
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    • 1999
  • RF 마그네트론 스퍼터링방법으로 Pt/Ti/NON/Si 기판 위에 $Ba_{0.66}$$Sr_{0.38}$$TiO_{3}$(BST) 박막을 증착한 다음 유전 및 초전특성을 살펴보았다. BST 박막을 증착할 때 기판온도를 300~-$600^{\circ}C$로 변화시킨 결과 기판온도가 증가할수록 박막의 결정성과 입도가 증가하여 유전율과 초전계수가 증가하였다. 한편 하부전극인 Pt의 증착조건이 BST 박막의 몰성에 미치는 영향도 살펴보았다. Pt의 증착온도와 Pt의 미세구조와 결정성뿐만 아니라 상부에 형성된 BST 박막의 배향성에도 큰 영향을 미쳤으며, 그 결과 BST의 초전특성에도 큰 영향을 미쳤다. BST 박막과 Pt 하부전극의 증착조건을 적정화함으로써 본 연구에엇는 상온에서 초전계수가 240 $nCcm^{-2}K^{-1}$인 BST 박막을 얻었다.

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$CeO_2$ 완충층의 두께가 $Al_2O_3$ 기판 위에 성장된 $YBa_2Cu_3O_{7-{\delta}}$ 박막의 초전도 특성에 미치는 영향 (Effect of $CeO_2$ buffer layer thickness on superconducting properties of $YBa_2Cu_3O_{7-{\delta}}$ films grown on $Al_2O_3$ substrates)

  • 임해용;김인선;김동호;박용기;박종철
    • 센서학회지
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    • 제8권2호
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    • pp.195-201
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    • 1999
  • $Al_2O_3$ (알루미나 및 R-면 사파이어)기판 위에 c-축 $YBa_2Cu_3O_{7-{\delta}}$ (YBCO) 박막을 펄스레이저 증착법을 이용하여 성장하였다. 완충층으로 사용하기 위해 $Al_2O_3$ 기판 위에 증착한 $CeO_2$ 박막의 결정성은 기판온도에 많은 영향을 받았다. $CeO_2$ 박막은 $800^{\circ}C$의 기판온도에서 $\alpha$-축방향으로 잘 성장하였으며, $CeO_2$ 완충층의 두께에 따라 YBCO/$CeO_2/Al_2O_3$ 박막의 초전도 특성은 큰 변화를 나타내었다. 알루미나 기판 위에서 $CeO_2$ 완충층의 두께는 약 $1200\;{\AA}$이하, 사파이어 기판의 경우 $100{\sim}1000\;{\AA}$ 범위에서 YBCO 박막은 양호한 초전도 특성을 나타내었으나, 그 보다 두껍게 성장시킬 경우 초전도 특성이 급격하게 나빠졌다. 알루미나 기판 위에 성장된 YBCO 박막의 임계온도는 83 K였으며, R-면 사파이어 기판 위에 성장된 YBCO 박막의 임계온도는 ${\geq}89.5\;K$였고, 임계전류밀도는 77K에서 $3{\times}10^6\;A/cm^2$로 나타났다.

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단락 사고 검출용 고온초전도체의 초전도성 회복 시간 변화 측정 (Recovery time after quench of Au/YBCO thin film for fault accident detection)

  • 임성우;김혜림;현옥배;성태현;심정욱
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2007년도 하계학술대회 논문집 Vol.8
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    • pp.246-247
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    • 2007
  • 최근 KEPRI-LSIS가 공동 개발한 하이브리드형 초전도 한류기 동작 시, 사고 검출을 담당하는 초전도체의 최적 설계에 적용하기 위하여 Au/YBCO 박막의 ��치 회복 특성을 조사하였다. $600\;V_{rms}$, 3 ms의 사고가 초전도 박막에 인가되었을 때, ��치가 종료된 이후 초전도성을 회복하기 위해 142 ms의 시간이 소요되었다. 또한 인가 시간이 증가함에 따라 소요 시간도 비례하여 증가하여 4 ms 동안 인가되었을 때, ��치 회복 시간은 272 ms로 측정되었다.

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초전도 박막형 선재

  • 이상헌
    • 전기의세계
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    • 제53권8호
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    • pp.39-42
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    • 2004
  • 초전도 재료는 선재의 형태로 가공하면 송전선이나, 변압기, 발전기 및 전력 저장장치와 같이 전력 응용의 효율을 극대화시킬 수 있는 재료로서 널리 활용되고 있다. 1987년 개발된 고온 산화물 초전도체는 액체질소 의 비등점인 77K 이상에서 초전도 현상을 나타내어 초전도 현상의 응용에 대한 기대를 고조시켜 이에 대한 연구 개발을 더욱 향상시키고 있다. 초전도 선재에 관한 연구는 주로 PIT( Powder in Tube )공정을 이용한 Ag/Bi 2223 선재가 우수한 전기적 특성과 가공의 우수성으로 인하여 개발되어 왔다. 그러나 Ag/Bi 2223 선재는 강한 자기장 하에서 통전 특성이 현저하게 저하되는 결점이 있다. (중략)

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소재 및 표면 분석기술을 이용한 산화물 초전도재료의 특성연구

  • 윤선진;박신종
    • ETRI Journal
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    • 제10권1호
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    • pp.85-96
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    • 1988
  • 광범위한 응용가능성과 상업적 가치로 인하여 크게 주목을 받고 있는 산화물계 초전도재료의 연구는 보다 높은 임계 온도를 가진 소재의 개발과 함께 박막화, 선재화 등의 가공기술 면에서 활발히 이루어지고 있는데, 소재 및 표면분석기술은 초전도 물질의 초전도구조 및 메카니즘의 구현, 공정변수에 따른 물리, 화학적 성질의 변화 등의 연구를 위해 중요하게 이용되고 있다. 여러 분석기술들을 이용한 고온 초전도 재료 특성의 연구사례를 소개한다.

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제2세대 초전도선 개발

  • 고락길;박찬
    • 한국초전도저온공학회지:초전도와저온공학
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    • 제6권2호
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    • pp.42-46
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    • 2004
  • 금속 테이프 위에 초전도층을 박막형태로 증착시켜서 제조되는 고온초전도 선재인 coated conductor (CC)는 powder-in-tube 공정으로 제조되는 1세대 고온초전도 선재에 비해 액체 질소 온도에서 높은 임계 전류 밀도와 우수한 자장 특성을 가지면서 더 경제적으로 제조 가능하기 때문에 액체질소온도에서 작동 가능한 초전도전력기기 개발에 반드시 필요한 부분으로 인식되고 있다. 최근 국내외적으로 다양한 증착 방법을 사용하여 전력기기 응용이 가능한 장선의 CC 제조공정을 개발하려는 연구가 활발히 진행되고 있다. 특히 외국의 경우 이미 CC 선재의 상업화를 위해 기업체가 중심이 되어 집중적인 연구 개발이 이루어지고 있다.(중략)

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