• 한국정밀공학회지
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• 제19권10호
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• pp.15-22
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• 2002

• 전자공학회지
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• 제24권10호
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• pp.23-44
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• 1997

이 글에서는 요즘 신문이나 텔레비전을 통해서 인체 내부를 돌며 검사 및 치료를 하는 마이크로 로보트 등의 차세대 첨단기술로서 일반 국민들에게 소개되기도 하며, MEMS, 마이크로머신, 마이크로시스템, 혹은 초소형 정밀기계 등으로 불리는 기술과 이 기술에 대한 각국 (미국, 일본, 유럽, 한국)의 기술 동향을 소개한다. 이에 이어서, 현재 과기처의 선도기술개발사업 (소위 G7사업) 으로서 진행되고 있는 초소형 정밀기계 기술개발 사업에 대한 소개를 한다. 이 분야에 종사하지 않는 보통 사람들을 위해 가급적 쉬운 말로 풀어 쓰도록 노력하였다. 이 글에서 다루고 있는 크기의 기본 단위는 마이크로미터 (천분의 일 밀리미터) 이며, 사람의 머리카락의 직경이 약 100 마이크로미터 (0.1mm) 내외이다. 초소형 기계나 초소형 부품들은 대개 이 머리카락의 직경정도이며, 머리카락속에 모터나 기어 등이 들어있다고 생각해도 크게 틀리지 않을 것이다.

• 한국정밀공학회지
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• 제19권10호
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• pp.23-30
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• 2002

• 대한기계학회논문집A
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• 제34권7호
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• pp.859-866
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• 2010

본 연구에서는 다단 마이크로 구조물의 대량성형을 위하여, 모듈화된 초소형몰드 시스템(MSMS)을 이용한 초소형 사출성형 공정을 수행하였다. 본 연구에서 적용된 초소형몰드 시스템은 여러 모듈들로 구성되어 있으며, 각 모듈들은 다양한 단면 마이크로 구조물을 가지고 있다. 초소형몰드 시스템의 모듈들은 X-선 리소그래피 공정 및 니켈 전주도금 공정으로 제작되었으며, 다양한 모듈들을 조합 및 결합함으로써 복잡한 형상을 가지는 초소형몰드 시스템을 효과적으로 구현할 수 있다. 이와 같은 초소형몰드 시스템을 적용함으로써, 본 연구에서는 다단 구조물의 표면에 마이크로 삼각 프리즘이 주기적으로 배열되어 있는 다단 마이크로 구조물의 초소형 사출성형 공정을 성공적으로 수행하였다.

• 기계와재료
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• 제23권1호
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• pp.82-93
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• 2011

마이크로폰은 소리를 전기적 신호로 바꾸어주는 청각소자이며, 초소형 마이크로폰의 경우 보청기에서 사용되어 왔을 뿐만 아니라, 최근 들어 개인용 휴대전자기기가 널리 보급되면서 그 수요가 크게 증가하고 있다. 초소형 청각소자 시장에서 MEMS 마이크로폰은 반도체 공정 생산기술의 장점과 더불어 CMOS 신호변환기를 MEMS 마이크로폰의 진동막 구조물과 동일 칩에 통합할 수 있다는 점에서 크게 주목을 받아 왔다. 이 글에서는 초소형 MEMS 마이크로폰의 국내외 기술동향과 특허 동향에 대해 소개하고자 한다.

• 대한기계학회:학술대회논문집
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• 대한기계학회 2007년도 춘계학술대회B
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• pp.2238-2243
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• 2007

A new microcombustor configuration for a micro fuel-cell reformer integrated with a micro evaporator was studied experimentally and computationally. The present microcombustor is simply cylindrical to be easily fabricated but two-staged, expending downstream, to feasibly control ignition and stable burning. Results show that the aspect ratio of the first stage and the wall thickness of the microcombustors substantially affect ignition and thermal characteristics. For the optimized design conditions, a premixed microflame was easily ignited in the expanded second stage combustor, moved into the smaller first stage combustor, and finally stabilized therein. The measured and predicted temperature distributions across the microcombustor walls indicated that heat generated in the microcombustor is well transferred. Thus, the present microcombustor configuration could be applied to the practical micro reformers integrated with a micro evaporator for use of fuel cells.

• 대한기계학회:학술대회논문집
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• 대한기계학회 2007년도 춘계학술대회B
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• pp.2360-2365
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• 2007

A new microemitter (microcombustor) configuration for a micro thermophotovoltaic system in which thermal energy is directly converted into electrical energy through thermal radiation was investigated experimentally and computationally. The microemitter as a thermal heat source was designed for a few watt power-generating micro thermophotovoltaic system. In order to satisfy the primary requirements for designing the microemitter, i.e., stable burning in the small confinement and maximum heat transfer through the emitting walls but uniform distribution of temperature along the walls, the present microemitter is cylindrical with an annular-type shield for heat recirculation to apply for the excessive enthalpy concept. Results show that the heat recirculation substantially improves the performance of the microemitter: the observed and predicted thermal radiation from the microemitter walls indicated that heat generated in the microemitter is uniformly emitted.

• 기계저널
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• 제40권12호
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• pp.34-37
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• 2000

• 기계저널
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• 제40권12호
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• pp.41-45
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• 2000

• 한국공작기계학회논문집
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• 제17권5호
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• pp.64-69
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• 2008

In recent years, most of the researchers have been working on micro system manufacturing technological environment. With this international trend and one of the key researches in Korea, this paper gives the keynote on manufacturing the micro-scaled part with digital micro factory and its simulation. In order to construct and estimate reconfigurable simulation time, the digital simulation has been performed for the micro factory and for ultra small machines. From simulation result we came to know that micro factory requires less work-in space and processing time to manufacture micro-scaled part with different environment.