The Magazine of the IEIE (전자공학회지)

The Institute of Electronics and Information Engineers (대한전자공학회)
권호 표지

MEMS(Micro Electro Mechanical System)기술의 동향

  • 신상모 (전자부품 종합기술 연구소)
  • Published : 1997.10.01
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Abstract

이 글에서는 요즘 신문이나 텔레비전을 통해서 인체 내부를 돌며 검사 및 치료를 하는 마이크로 로보트 등의 차세대 첨단기술로서 일반 국민들에게 소개되기도 하며, MEMS, 마이크로머신, 마이크로시스템, 혹은 초소형 정밀기계 등으로 불리는 기술과 이 기술에 대한 각국 (미국, 일본, 유럽, 한국)의 기술 동향을 소개한다. 이에 이어서, 현재 과기처의 선도기술개발사업 (소위 G7사업) 으로서 진행되고 있는 초소형 정밀기계 기술개발 사업에 대한 소개를 한다. 이 분야에 종사하지 않는 보통 사람들을 위해 가급적 쉬운 말로 풀어 쓰도록 노력하였다. 이 글에서 다루고 있는 크기의 기본 단위는 마이크로미터 (천분의 일 밀리미터) 이며, 사람의 머리카락의 직경이 약 100 마이크로미터 (0.1mm) 내외이다. 초소형 기계나 초소형 부품들은 대개 이 머리카락의 직경정도이며, 머리카락속에 모터나 기어 등이 들어있다고 생각해도 크게 틀리지 않을 것이다.

Keywords

References

  1. IEEE Transactions on Electron Devices v.ED-25 no.10 Special Issue on Three Dimensional Semiconductor Device Structures
  2. IEEE Transactions on Electron Devices v.ED-25 no.10 Fabrication of Novel Three-Dimensional Microstructures by the Anisotropic Etching of (100) and (110) Silicon Ernest Bassous
  3. Brochure Introduction for The LIGA Technique form Microparts
  4. 마이크로머신의 세계 H. Fujita;김용권(역)
  5. 초소형 정밀기계기술개발 기획보고서 전자부품연구소