• Title/Summary/Keyword: 차지펌프

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반도체 공정의 배기계통 및 진공펌프 실시간 상태진단기술 개발

  • Choe, Gyeong-Min;Song, Gyeong-Ho;Park, Sang-Hyeon;Gang, Min-Ho;Im, Seong-Gyu;Gang, Sang-U;Im, Jong-Yeon
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2015.08a
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    • pp.101.2-101.2
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    • 2015
  • 급속한 산업화로 인하여 에너지 부족 문제가 대두되고 있는 가운데 에너지 저감 기술의 개발이 요구되고 있다. 국내 반도체 공정의 배기계통에서 소비되는 에너지는 전체 공정에 소비되는 에너지중 상당량에 달하며 10%의 에너지 절감은 연간 1000억원 이상의 비용절감 효과를 기대할 수 있다. 반도체 공정 배기계통은 진공펌프의 특성, 챔버의 부피, 도관의 구조(직경, 길이, 형상), 진공재료의 기체방출 등 여러 가지 요소의 복합적인 영향으로 그 상태가 달라지므로 보다 효과적인 공정의 운용과 에너지 절감을 위해 반도체 공정의 복합 상태 진단기술 개발이 요구되고 있으며 그중 큰 비중을 차지하는 드라이펌프의 실시간 모니터링 기술의 개발이 시급하다. 본 연구에서는 반도체 공정의 복합 상태 진단기술 개발에 대한 기초 연구로서 반도체 공정 배기계통의 conductance 및 유량 변화에 대한 드라이펌프의 특성을 이론적 계산으로 얻어진 결과와 실험을 통하여 얻어진 결과를 비교, 분석하였다. 진공펌프의 기본 특성은 한국표준과학연구원에서 국제규격에 따라 도달진공도, 배기속도, 소비전력, gas load, 소음, 진동 등을 분석하였고, 나노종합기술원의 PECVD 장비(chamber A: amorphous silicon 및 loadlock chamber)에 챔버의 부피, 도관의 구조, 공정가스의 유량 등을 측정하여 simulation 하였으며, 실제 측정값은 LabVIEW 프로그래밍으로 자동화 된 MFC를 이용하여 실제 공정 상태를 모사하였다. 실험은 PECVD의 특성을 고려하여 질소분위기에서 CDG (Capacitance Diaphragm Gauge)를 사용하였다.

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Minimization of Pump Running Cost in the Large-scale Water Supply System (광역상수도 계통의 Pump 운전비용 최소화)

  • Lee, Gwang-Man;Kang, Shin-Wook;Kim, Soo-Myung
    • Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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    • 2009.05a
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    • pp.276-281
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    • 2009
  • 장거리 용수공급 시스템에서 전력비용은 전체 운영비용의 큰 부분을 차지한다. 본 연구는 시간단위의 펌프와 배수지 시스템의 최적 운영계획을 수립하기 위해 동적계획기법에 기초한 방법론을 제시하고 있다. 해석방법은 가용 가능한 펌프의 효율적 운전과 전력요금체계, 시간대별 용수수요추이 그리고 배수지 특성과 송수관로의 제약조건 등을 고려하였다. 이를 위해 적용 가능한 시스템 운영목적과 제약조건이 제시되었고 개발된 방법은 수도권 광역상수도 양주계통의 2개 가압장과 5개 배수지를 대상으로 적용되었으며, 적용결과는 상당한 수준의 펌프운전비용을 절감할 수 있는 것으로 나타났다. 이와 같은 방법은 생애주기 비용 최소화 측면에서 실제 용수공급 시설 운영과 대규모 용수공급 체계의 설계 등에 적용이 가능하다.

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A Reliability Study of Direct Flow Control Type Hydraulic Pump by the Electric Motor (전기모터에 의한 직접유량 제어방식 유압펌프의 신뢰성 연구)

  • Sung, Baek-Ju;Kim, Doh-Sik
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2011.07a
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    • pp.1033-1034
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    • 2011
  • 공작기계에 유압동력을 공급하는 유압동력발생장치의 신뢰성은 공작기계 전체의 신뢰성과 밀접한 관계를 가진다. 전기모터에 의해 유량을 직접제어하는 유압펌프의 시제품에 대한 신뢰성을 평가하기 위해서 성능시험, 내환경시험, 그리고 수명내구시험을 실시할 필요가 있다. 본 연구에서는 2단계 품질기능 전개를 통해 전기모터에 의한 직접유량 제어방식 유압펌프의 신뢰성평가 시험항목을 결정하였다. 시험항목에는 전기모터에 대한 항목, 유압펌프에 대한 항목, 하우징 및 냉각시스템에 대한 항목이 포함되어 있다. 신뢰성평가 시험 항목 중, 가장 큰 비중을 차지하는 수명내구시험에 대해 무고장수명시험을 산출하고, 시험소요시간 단축을 위한 가속모델을 제안하고, 실제 구동 조건을 적용하여 가속수명시험시간을 산출하였다.

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Design of Charge pump for Removing Spur by Input Reference (기준입력신호로 인한 Spur 제거용 차지펌프 설계)

  • 이준호;김선홍;김영랄;김재영;김동용
    • Proceedings of the IEEK Conference
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    • 2000.06b
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    • pp.209-212
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    • 2000
  • Charge pump based upon a phase locked loop(PLL) is described. This charge pump show that it is possible to overcome the issue of charge pump current mismatch by using a current subtraction circuit. Also, this charge pump can suppress reference spurs and disturbance of the VCO control voltage. HSPICE simulations are performed using 0.25$\mu\textrm{m}$ CMOS process.

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발전 설비에서의 윤활 기술의 응용

  • 김호종
    • Journal of the KSME
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    • v.32 no.11
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    • pp.955-967
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    • 1992
  • 발전 설비는 다양한 부품으로 구성되어 있으며, 많은 부분이 회전력에 의해 운전된다. 대표적인 터빈, 발전기, 펌프, 송풍기 등이 있다. 모든 회전체에는 그것을 지지하면서 마찰을 줄여 회전을 원할하게 하기 위하여 베어링을 사용한다. 베어링은 회전체의 마찰에 의한 동력 손실을 줄일 뿐 아니라 회전체의 동특성에도 영향을 준다. 또한 회전체 운전중 문제점의 원인 중 많은 경우가 베어링에 기인하므로 회전체 제작시 베어링이 적절히 선정되고 설계되어야 한다. 발전 설비에 설치되는 베어링 중 가장 큰 부분을 차지하는 것이 터빈-발전기용 베어링이다. 터빈-발전기용 베어링은 마찰에 의한 동력 손실이 발전소 용량의 약 0.5%를 차지하며, 터빈-발전기 축계의 동 특성을 고려한 설계에서 중요한 요소로도 작용한다. 여기서는 발전소의 터빈-발전기용 베어링에 대해서 언급하고자 한다.

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A Study of Manhole Bursting due to Surcharged Flow in Large Sewer System (대규모 간선에 있어서 써차지 흐름에 동반되는 맨홀뚜껑 비산현상에 관한 연구)

  • Choi, Sung-Mo
    • Journal of the Korean Society of Hazard Mitigation
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    • v.4 no.2 s.13
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    • pp.53-59
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    • 2004
  • The mechanism of manhole bursting which occurs at excess rainfall events Is studied by using both the physical model and the numerical model (SWMM ; Storm Water Management Model). The result of numerical simulation to steep pressure rising agrees well with that of the physical model at the sewer system under surcharged flow. A cause of manhole bursting is an expansion and spout of the condensed all at manhole that results from the surcharged flow and press wave propagation caused by gate operation or closure of conduit at pumping station.

Cooling performance analysis of heating and cooling system of nutrient solution bed with heat pump (히트펌프를 이용한 양액베드 냉난방시스템의 냉방성능 분석)

  • Kang, G.C.;Ryou, Y.S.;Kim, Y.J.;Paek, Y.
    • Proceedings of the Korean Society for Agricultural Machinery Conference
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    • 2002.07a
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    • pp.261-266
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    • 2002
  • 1992년 이후 우리나라 원예시설 면적은 매년 크게 증가하여 2000년 말 현재 48,853㏊에 이르고 있으며(농림부, 2001), 그중 양액재배 면적은 '92년에는 13.2㏊에 불과하였으나 연평균 64%씩 증가하여 2000년에는 700㏊에 이르렀다. 이들 양액재배 면적 중 채소류가 70%, 화훼류가 30%를 차지하고 있으며, 작물별로는 토마토가 37%로써 가장 많은 면적이 재배되고 있고, 그 다음으로 장미가 25%를 차지하고 있다. 또한 사용하는 배지별 양액재배 비율은 펄라이트 배지가 319㏊로 전체면적의 46%를 차지하고 있으며, 암면배지가 26%, 혼합배지가 17%를 차지하고 있다(농촌진흥청, 2001). (중략)

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Horning Equipment Development of Internal Combustion Engine Fuel Pump for PUNGER & BARREL Efficiency Evaluation (내연기관 연료펌프의 PUNGER & BARREL 성능향상을 위한 HORNING 장치 및 가속화 시험모델 개발)

  • Kim, Tae-Hyeong;Cha, Ji-Hyub;Jeong, Ho-Seung;Kim, Jeong-Ryeol;Lee, Seung-Ho
    • Proceedings of the Korean Society of Marine Engineers Conference
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    • 2006.06a
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    • pp.331-332
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    • 2006
  • 연료 분사펌프는 600bar 이상의 고압 연료를 분사밸브를 통하여 디젤기관의 연소실에 연속적으로 공급하는 장치이며, PLUNGER&BARREL 은 분사펌프의 핵심 부품으로 작동하고 고온 고압의 환경에서 $4{\mu}m$ 미만의 초정밀 간극을 유지해야 한다. 이러한 정밀한 가공 상태를 유지하기 위해선 내마모성 및 내열성에 적합한 재료와 열처리가 필수 요소이다. 현재 주로 사용되고 있는 방식은 DIAMOND STONE 에 의한 HORNIG 가공을 주로 사용하기 있다. 하지만, 연삭 가공과는 달리 별도의 치수 보정 장치가 없는 관계로, STONE 마모와 그에 따르는 마모량 공차에 의한 정밀 치수 확보의 어려움으로 인해, 고비용 저효율의 약점을 가지고 있다. 그러므로 기존의 HORNING STONE 방식을 대체한 PIN 방식의 HORNING MACHINE 개발을 목표로 한다.

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Optimal design and operation of water transmission system (상수도 송·배수시스템의 최적 설계 및 운영 모형 개발)

  • Choi, Jeongwook;Jeong, Gimoon;Kim, Kangmin;Kang, Doosun
    • Journal of Korea Water Resources Association
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    • v.51 no.12
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    • pp.1171-1180
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    • 2018
  • Korea's water transmission system is operated by the nonpressure flow method that flows from highlands to lowlands due to the nature of Korea with many mountainous areas. In order to store water in the highlands, the water pumps are installed and operated. However, In this process, a lot of electrical energy is consumed. therefore, it is necessary to minimize the energy consumption by optimizing the size and operation schedule of the water pumps. The optimal capacity and operation method of the water pump are affected by the size of the tank (distributing reservoir). Therefore, in order to economically design and operate the water transmission system, it is reasonable to consider both the construction cost of the water pump and the tank and the long-term operation cost of the water pump at the step of determining the scale of the initial facilities. In this study, the optimum design model was developed that can optimize both the optimal size of the water pump and the tank and the operation scheduling of the water pump by using the genetic algorithm (GA). The developed model was verified by applying it to the water transmission systems operated in Korea. It is expected that this study will help to estimate the optimal size of the water pump and the tank in the initial design of the water transmission system.

Development of Pilot Injection Plant for CO2 Underground Storage (이산화탄소 지중저장용 파일럿 주입플랜트 개발)

  • Yoon, Seok-Ho;Kim, Young;Lee, Jun-Ho;Lee, Kong-Hoon
    • Plant Journal
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    • v.9 no.2
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    • pp.42-45
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    • 2013
  • The worldwide issue of greenhouse gas reduction has recently drawn great attention to carbon capture and storage(CCS). In this study, we developed a 10,000 ton/year pilot injection plant for geological storage of carbon dioxide. Major components of the pilot plant include a pressure pump, a booster pump, and an inline heater to bring liquid carbon dioxide into its supercritical state. The test results show that the pilot plant readily achieves the injection pressure and temperature, showing satisfactory control performance. The overall power consumption is 2,000 ~ 2,500 W, more than 75% of which consumed by the pressure pump. This study will facilitate varied research on greenhouse gas reduction as the only domestically developed system for geological injection.

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