• 제목/요약/키워드: 질화처리

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고출력 전자 패키지 기판용 고열전도 h-BN/PVA 복합필름 (High Thermal Conductivity h-BN/PVA Composite Films for High Power Electronic Packaging Substrate)

  • 이성태;김치헌;김효태
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제25권4호
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    • pp.95-99
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    • 2018
  • 최근 고집적 고출력 전자 패키지의 효율적인 열전달을 위한 기판 및 방열소재로서 절연성 고열전도 필름의 수요가 커지고 있어, 알루미나, 질화알루미늄, 질화보론, 탄소나노튜브 및 그래핀 등의 고열전도 필러소재를 사용한 고방열 복합소재에 대한 많은 연구가 이루어지고 있다. 그 중에서도 육방정 질화보론(h-BN) 나노시트가 절연성 고열전도 필러 소재로서 유력한 후보 물질로 선택되고 있다. 본 연구는 이 h-BN 나노시트와 PVA로 된 세라믹/폴리머 복합체 필름의 방열특성 향상에 관한 것이다. h-BN 나노시트는 h-BN 플레이크 원료 분말을 유기용매를 사용한 볼밀링과 초음파 처리에 의한 물리적 박리공정으로 만들었으며, 이를 사용한 h-BN/PVA 복합 필름을 제조한 결과 성형된 복합필름의 면방향과 두께방향 열전도도는 50 vol%의 필러함량에서 각각 $2.8W/m{\cdot}K$$10W/m{\cdot}K$의 높은 열전도도가 나타났다. 이 복합필름을 PVA의 유리전이온도 이상에서 일축 가압하여 h-BN 판상분말의 얼라인먼트를 향상시킴으로써 면방향 열전도도를 최대 $13.5W/m{\cdot}K$까지 증가시킬 수 있었다.

SCM 435 강의 플라즈마 질화처리시 펄스 인자의 영향 (Influence of Pulse Parameters on the Plasma Nitriding of SCM435 Steels)

  • 송동원;이인섭
    • 한국재료학회지
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    • 제11권12호
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    • pp.1063-1067
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    • 2001
  • The effect of the pulse parameters(pulse ratio and frequency) on the characteristics of the nitrided layer in the pulsed plasma nitrified SCM435 Steels was investigated. Material properties of the nitrided layer were analysed by employing optical microscope, scanning electron microscope(SEM), X-ray diffractometer(XRD) and micro-Vickers hardness tester. It was found that both the compound layer thickness and the surface hardness decreased with decreasing of pulse ratios. At high pulse ratio, the compound layer thickness and the surface hardness were rapidly decreased with decreasing frequency compared to lower pulse ratios.

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대장균을 이용한 구리 함유 ZrN 박막의 항균성 향상에 관한 연구

  • 조용기;최유리
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.319.2-319.2
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    • 2016
  • ZrN 코팅은 TiN과 특성이 유사한 옅은 금색의 질화 박막이나 내식성이 우수하여 의료용, 자동차 부품, 항공부품, 장식용으로 적용되고 있다. 스테인레스계 의료용 기구나 생활기구의 항균성 기능이 부여된 표면처리는 아직 널리 보급되고 있지 않아 장식성과 내부식성이 뛰어난ZrN 박막에 구리를 함유시킴으로서 항균성의 변화를 관찰하고자 하였다. 진공 아크 이온플레이팅 방법으로서 ZrN을 성장시키면서 스퍼터링법에 의하여 Cu를 함유시키는 방법으로 실험을 실시하였다. 기재는 SUS 304를 사용하였고, 공정온도 $400^{\circ}C$에서 질소분압 1-5 Pa, 아크전류 90 A의 조건에서 Cu 스퍼터링 타겟의 전류를 1-7A 까지 변화하여 구리함유 ZrN 박막을 합성하였다. 구리 함류량에 따른 XRD를 통한 결정구조분석과 SEM/EDX를 통한 성분변화분석을 실시하였다. 구리함유 박막에 대해서 시간에 따른 대장균을 성장을 분석하여 기재인 SUS304, ZrN, 구리 함유 ZrN에 대한 대장균 항균성을 조사하였다.

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Al-Cr의 동시확산과 플라즈마 질화의 복합처리에의한 표면향상에 관한연구 (A Study on the Duplex Treatment of Simultaneous Aluminizing-Chromizing and Plasma Nitriding for Improvement of Surface Properties)

  • 양준혁;이상률;한전건
    • 한국표면공학회지
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    • 제31권6호
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    • pp.325-333
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    • 1998
  • A duplex surface treatment process of simultaneous aluminizing-chromizing process followed by plasma nitriding was performed on AISI HI3 steel and STS 403 steel. The properties of these duplex-treated steels were investigated and were compared with those of steels treated by single process of either simultaneous aluminizing-chromizing or plasma nilriding, in terms of microstructure, microhardness and high temperature wear resistance. Sim~dtaneous alumizing-chromizing process was done using a 2-step coating cycle and plasma nitriding process was done at $530^{\circ}C$ for 1.5 hour. AISI HI3 steel and STS 403 steel showed a FeA1 compound layer of approximately 350$\mu\textrm{m}$ thickness on the surface after simultaneous diffusion coating and nitrided layer of approximately 70-80$\mu\textrm{m}$ formed after the subsequent plasma nitriding process. The microhardness was improved much more by the duplex surface heatment than only by plasma nitriding. In addition the duplex treated specimens showed an improved high temperature wear resistance.

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소결조건의 변화에 따른 질화규소계 탄화규소질 탈황분사 슬러리 노즐의 제조 및 특성 (Fabrication and Characteristics of Silicon Nitride Bonded Silicon Carbide-based Slurry Nozzle for Desulfurization with Variation of Sintering Conditions)

  • 우상국;한인섭;서두원;이기성;홍기석;배강;임광현
    • 한국에너지공학회:학술대회논문집
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    • 한국에너지공학회 2002년도 추계 학술발표회 논문집
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    • pp.201-207
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    • 2002
  • 배가스 탈황 공정은 흡수제의 형태에 따라 습식과 건식, 반응생성물로부터 흡수제의 회수여부에 따라 재생법과 비재생법으로 분류할 수 있으며, 현재 전 세계적으로 상용화되고 있는 처리공정은 비재생 습식 석회석-석고 공정이 채택되어 전체 설치용량의 80% 이상을 점유하고 있다.(중략)

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알루미나에서 강도에 미치는 마모의 영향

  • 박성길;허용학;조성재
    • 한국윤활학회:학술대회논문집
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    • 한국윤활학회 1990년도 제12회 학술강연회초록집
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    • pp.36-40
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    • 1990
  • 세라믹재료는 ductility가 작아 그 강도가 균열의 가혹성, 즉 크기와 모양에 의하여 결정되는 특징을 가지고 있다. 한편 마모는 표면에 균열을 생성시킬 수 있기 때문에 강도에 큰 영향을 미칠 수 있다. 그러나 지금까지 강도에 미치는 마모의 영향은 잘 밝혀져 있지 않다. 따라서 본 연구에서는 세라믹재료중에서도 물리적 성질들이 잘 알려져 있는 알루미나를 택하여 마모기구를 관찰하고 마모가 강도에 미치는 영향을 관찰하였다. 소결후 고온등방가압 처리된 알루미나 소결체를 입수하여 3mmX4mmX40mm크기의 굽힘시험시편으로 가공하였다. 두개의 4mmX40mm면중에서 한명을 diamond paste $1\mu m$까지 사용하여 polishing하였다. 시편의 polishing된 면위에 질화규소 볼을 올려 놓고, 하중을 가한 상태에서 볼을 와복운동시켰다. 시편위에 형성되는 마모흔적의 길이를 16mm이상이 되도록 하였다. 왕복속도는 약 2 헤르쯔도 하였다. 하중은 300, 600, 900N으로 하였다. 윤활유로는 paraffin oil을 사용하였다. 마모시험이 끝난 시편을 광학현미경 및 주사전자현미경으로 관찰한 후, 4-점굽힘시험하여 강도를 구하였다. 4-점굽힘시험시 외부 및 내부 지지점간의 거리는 30mm, 10mm로 하였으며, cross head speed는 분당 0.5mm로 하였다.

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플라즈마 이온 질화 표면처리의 윤활 및 마모 특성 (Tribological Characteristics of Plasma Ion Nitriding Surface Treatment)

  • 좌성훈;김선교;박주승
    • Tribology and Lubricants
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    • 제12권4호
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    • pp.60-70
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    • 1996
  • Scuffing and severe wear of the highly stressed sliding components have been very critical problems in the development of a rotary compressor. In order to improve durability and reliability of the compressor, plasma ion-nitriding was applied on the shaft and the vane surface. The effects of different treatment conditions on the mechanical and tribological properties of the ion-nitrided surfaces were investigated. Ion-nitrided surfaces showed better tribological performances than untreated surfaces. The best wear performance was observed when the shaft was nitrided in the condition of 450$\circ$C, 7 hours, $N_2:H_2=1:4$ gas mixture by forming a ductile nitrided layer which has $\gamma'$ phase microstructure. As nitrogen gas pressure increased, $\varepsilon$ phase layer was formed. This hard phase layer was observed to be more beneficial for the vane in reducing friction and wear.

스팀처리된 소결강의 플리즈마 질화 및 연질화 특성 (Characteristics of Plasma Nitriding and Nitrocarburizing of Steam Treated Sintered Steels)

  • 박주승
    • 한국분말재료학회지
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    • 제4권4호
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    • pp.268-274
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    • 1997
  • Characteristics of plasma nitriding and nitrocarburizing for steam treated sintered steels were studied. Fe-0.8%C powder containing Ni, Cu were sintered at 112$0^{\circ}C$ and steamed at 52$0^{\circ}C$. Temperature of plasma nitriding and nitrocarburizing was varied from 50$0^{\circ}C$ to $600^{\circ}C$. Gas mixture of nitriding was set at $N_2$ : $H_2$ =80:20 (vol.%), but $CH_4gas$ was added 1~2 vol.% for nitrocarburizing. Steam treatment for sintered steels brought not only the formation of oxide layer but also decarburizing near the surface. Decrease in hardness near the surface resulted from the formation of ferrite due to decarburizing. Thus, the low hardness was recovered not with plasma nitriding but with plasma nitrocarburixing. Wear resistance properties of steamed specimens and ni-trocarburized specimens were better than those of nitrided specimens according to the pin-on-disk wear test. On the other hand, the fatigue life of steamed specimen was shorter than that of nitrocaiburized specimen.

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$SiO_2$$NH_3$ 급속열처리에 의한 nitroxide 박막의 전기적 특성 (Electrical Characteristics of Thin Nitroxide Films Prepared by $NH_3$ Rapid Themal Annealing of $SiO_2$)

  • 박찬원
    • E2M - 전기 전자와 첨단 소재
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    • 제3권2호
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    • pp.105-114
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    • 1990
  • SiO$_{2}$막을 NH$_{3}$분위기에서 급속열처리 하여 nitroxide막을 생성시키고 그 전기적 특성을 조사하였다. 굴절율과 유전율은 열처리시간과 온도에 따라 증가 하였으며 IR스펙트럼분석으로 SiO$_{2}$박이 질화된 것을 확인하였다. 절연파괴내력은 대체로 SiO$_{2}$막보다 우수하였으며 .+-.BT 처리와 C-V측정의 결과 nitroxide막이 초기 산화막보다 고전계 stress에 대해 안정한 특성이 나타났다. MIS 다이오드의 1/f 잡음 특성은 C-V 측정결과와 비슷한 경향을 나타내어 1/f 잡음특성이 박막의 계면특성과 밀접한 관련성이 있음을 알 수 있었다.

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이온질화 및 질탄화 처리된 SCr430B 박판강의 인장 및 피로특성 (Tensile and High Cycle Fatigue Properties of Ion-nitrided and Nitro-carburized SCr430B Steels)

  • 박성혁;이종수
    • 소성∙가공
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    • 제21권6호
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    • pp.354-359
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    • 2012
  • Effects of a nitriding treatment on the tensile and high cycle fatigue properties were investigated by conducting ion-nitriding and gas nitro-caburizing treatments on the spheroidized SCr430B medium-carbon steel and performing tensile and tension-tension high cycle fatigue tests. The nitrided samples showed much lower strength and ductility compared to those in the initial as-spheroidized state and premature fracture occurred at the hardened layers. The micro-voids in the compound layer caused fatigue crack initiation. Thus, the removal of the compound layer with micro-voids remarkably improved the fatigue resistance to even beyond that of the as-spheroidized sample.