• Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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• v.23 no.6
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• pp.666-674
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• 2019

In the mass spectrum of the mass spectrometer, the spectrum of the low peak adjacent to the spectrum having the high peak value is connected to each other and thus the separation is difficult. This inter-spectral overlap causes degradation of the mass spectral detection performance and resolution. In this paper, we propose a method to improve the mass spectrum detection performance and peak accuracy of residual gas analyzer. The type discrimination according to the characteristics of the ion signal block and the pre-correction for the peak position error can separate and detect the spectrum of the low peak connected to the adjacent spectra. To verify the performance of the proposed method, we compared the proposed method with the conventional method in simulations using actual ion signals obtained from the mass spectrometer under development.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2015.08a
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• pp.93.2-93.2
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• 2015

플라즈마를 포함한 반응성 가스 공정 분석용 사중극자 질량분석기의 필라멘트의 파손양상을 조사하였다. 또한 유전체 증착층이 이온원 성능에 미치는 영향을 분석하기 위하여 이온원의 일반적인 가동 전압 조건에서 Poisson방정식을 이용하여 전위를 수치 해석으로 구하였다. 사용중 파손된 필라멘트의 파단면을 주사전자현미경으로 관찰결과, 수직으로 절단되는 양상과 직경이 점차 작아지면서 erosion되는 두가지 양상을 보였다. 또한 파단면은 표면균열과 패시팅(faceting) 현상을 보였다. 필라멘트 사용시 가장 큰 문제는 패시팅(faceting)이다. 대부분의 결정에서는 다른 결정면보다 에너지 준위가 낮은 결정면이 존재한다. W 원자는 고온에서 확산 또는 증발하여 표면에서 다시 응축할 때 표면 에너지를 최소화하기 위한 독특한 평형 형상이 만들어 지는데 이것이 패시팅의 구동력이다. 이때 국부적으로 단면적이 감소하는 곳이 생기는데, 이 지점이 집중적으로 가열되고 증발이 가속화하여 파손된다. 파단면을 EDS 분석결과, 산화물을 포함한 F, Fe 및 C이 검출되었다. 이 F과 C는 공정중 사용된 CF4의 분해에 의한 것으로 생각되며, 파손된 필라멘트를 Ar 유도결합 플라즈마로 처리한 결과 이 F, Fe 및 C의 양이 감소하였다.

• Analytical Science and Technology
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• v.18 no.1
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• pp.27-34
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• 2005

$Li_2B_4O_7$ and $Na_2B_4O_7$ were synthesized with boron isotopic standard material for the measurement of boron isotopes of positive ions (PTIMS) such as $Li_2BO_2{^+}$ (mass 56, 57) and $Na_2BO_2{^+}$ (mass 88, 89) instead of boron mass 10 and 11. The negative ions (NTIMS) such as $^{10}BO_2{^-}$ and $^{11}BO_2{^-}$(mass 42와 43) were also measured with the same boron isotopic standard material. The precision and accuracy were compared between each method, and prescan of isobaric effect was studied. Good result was obtained from NTIMS method which provided the stable and enough peak intensities with good precision and accuracy. The measurement of boron isotopes were performed in ground water sample with about 8 ng-B ($5{\mu}L$ sample solution) obtained from IAEA for international inter-comparison analysis. The standard deviation was found to be 0.03%. Boron content of this ground water was measured using the NTIMS-IDMS. The result was $1.65{\pm}0.003ug-B/mL$ which was better precision compared to the ICP-AES result.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.6 no.2
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• pp.134-143
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• 2005

Collagen is the important structural proteins in mammals with various peptide composition and cross-linkings. The direct analysis of collagen protein was not suitable because of its structural complexity and diversity. In this study, we suggest the simple way of collagen analysis by introducing matrix-assisted laser desorption/ionization time-of flight mass spectrometry (MALDI-TOF MS) to identify the collagen and its trypsin-digested fragments, and by subsequent time-of-flight tandem mass spectrometry(Q-TOF MS/MS) to analyze the amino acid sequences of identified fragments. Using the collagen samples extracted from the tail of mouse, 10 separated bands were found in SDS-PAGE, and the masses of most bands could be more finely determined by MALDI-TOF MS. When each 10 separated proteins was tryptic digested and introduced to MALDI-TOF, the Gly1056-Arg1073 fragment from $\alpha_1$-chain was identified in four bands, and the Gly1056-Arg1073 fragment from $\alpha_2$-chain was identified in five bands, both in type I collagen. Although few fragments were found because of the cross-linkings left in digested collagen sample, it could be determined that the type I collagen existed at least in 7 separated bands. When the amino acid sequences of two identified fragments were analyzed by Q-TOF MS/MS, both sequences were identical with those determined by MALDI-TOF MS. It suggested that the two peaks in MALDI-TOF MS caused by the fragments identified in this work could be used as the fingerprint to simply identify type I collagen in protein samples.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2016.02a
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• pp.92-92
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• 2016

전기방전의 기본적인 특성을 가지고 있는 플라즈마를 이용하여 재료를 가공하는 증착, 식각, 표면처리 공정에 있어서 플라즈마 내의 전자 충돌 반응에 의한 이온, 라디칼의 생성과 재료 표면의 반응을 분석하는 도구로써 분압 측정은 일반적인 화학 조성 분석에 기원한 오랜 역사를 가지고 있다. 1 amu 정도의 분해능을 가지고 있고 크기가 30 cm 정도에 불과한 사중극자 질량 분석기는 적절한 질량 스캔 시간과 넓은 이온 전류 측정 범위를 가지므로 소형 차등 배기 시스템과 조합하면 1 mTorr 영역의 스퍼터링 시스템에서 1 Torr 영역의 PECVD/PEALD 시스템 진단에도 쉽게 적용이 가능하다. Inficon사의 CPM-300과 Pfeiffer사의 Prisma80을 이용한 플라즈마 식각 공정 분석 결과를 보면 동위원소까지 분석이 가능하다. 또한 전자충돌 이온화 에너지를 조절하여 m/q(질량전하비율)가 중첩되는 경우의 해석도 가능하다. 다중 오리피스를 갖는 compact design의 밸브 블록을 이용한 설계에서는 line-of-sight 입사가 불가능하여 이온 전류를 분석할 수 없다는 단점이 있으나 표준 가스를 이용한 정량화 등의 큰 장점들이 있다. 최근 이루어진 연구의 내용으로는 유도 결합 플라즈마 장치에서 전도성 메쉬를 이용한 라디칼 거동 관찰을 위해서 두 대의 CPM-300을 메쉬 전 후에 설치하여 라디칼의 양 변화를 전류 프로브와 같이 사용하여 조사하였다.

• Analytical Science and Technology
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• v.6 no.1
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• pp.93-106
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• 1993

Fragmentation patterns on electron impact of 8 chlorinated organophosphorus pesticides were investigated. In most cases, characteristic ions could e identified and the peak clusters due to the $^{35}Cl$ and $^{37}Cl$ isotopes in the fragment ions were found to be highly characteristic. The fragmentation patterns of phosphorus moiety were coincident with previous report in the aspect of mechanism.

• Journal of Astronomy and Space Sciences
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• v.16 no.1
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• pp.11-20
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• 1999

In this paper all the photoelectric times of minimum for the triple star SW Lyn have been analyzed in terms of light-time effect due to the third-body and secular period decreases induced by mass transfer process. The light-time orbit determined recently by Ogloza et al.(1998) were modified and improved. And it is found that the orbital period of SW Lyn have been decreasing secularly. The third-body revolves around the mass center of triple stars every $5^y.77$ in a highly eccentric elliptical orbit(e=0.61). The third-body with a minimum mass of $1.13M_{odot}$ may be a binary or a white dwarf. The rate of secular period-decrease were obtained as ${Delta}P/P=-12.45{ imes}10^{-11}$, implying the mass-transfer from the massive primary star to the secondary. The mass losing rate from the primary were calculated as about $1.24{ imes}10^{-8}M_{odot}/y$. It is noticed that the mass-transfer in SW Lyn system is opposite in direction to that deduced from it's Roche geometry by previous investigators.

• The Bulletin of The Korean Astronomical Society
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• v.38 no.1
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• pp.54.1-54.1
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• 2013

이 연구는 질량이 낮은 별탄생 지역에서 '에피소딕 질량수축 이론'을 관측과 수치모델로 테스트하였다. 스피쳐 우주망원경을 비롯한 여러 망원경으로 별 탄생 지역을 관측한 결과, 어린 별의 광도는 0.01 태양광도에 불과한 매우 낮은 값에서부터 높은 값까지 넓은 영역에 걸쳐 분포한다는 것이 알려졌다. 이 관측 결과는 70년대부터 있어 온 소위 표준 별탄생 모델의 예측과는 다른 결과이다. 관측과 표준 별탄생 모델의 차이를 풀기 위해서 에피소딕 질량수축 모델이 제안되었다. 테스트를 통하여 광도가 낮은 어린 별의 관측적 특성이 에피소딕 질량수축 모델로 한꺼번에 설명될 수 있음을 보였다. 우선, 카르마 전파 간섭계를 사용하여 전체 어린 별의 광도 분포에 해당하는 별 샘플을 선택하여 관측하였다. 표준 별탄생 모형은 중력수축이 진행됨에 따라 디스크 질량이 점진적으로 증가하지만 에피소딕 중력수축 모델은 디스크 질량과 별의 진화상태 사이에 특별한 연관관계가 없음을 예측한다. 여섯 개의 측정된 디스크 질량은 별의 진화상태와 상관없음을 보여주었다. 다음으로, 열아홉 개 어린 별의 이산화탄소 얼음을 적외선으로 분광 관측하고 분석하였다. 관측대상별 중 절반은 다른 분자와 섞이지 않은 순수한 이산화탄소 얼음이 존재한다는 증거를 보였고, 그 중 여섯 개는 순수 이산화탄소 얼음 존재의 강력한 증거인 두개의 픽이 나온 흡수선 형태를 보였다. 순수 이산화탄소 얼음 성분이 현재 광도가 낮은 별에서 존재한다는 것은 과거에 광도가 밝았던 시기, 즉 중력수축속도가 높았던 시기가 있었다는 것을 뒷받침한다. 화학진화모델에 에피소딕 중력수축 모델과, 일산화탄소 얼음이 이산화탄소 얼음으로 전환될 수 있다는 새로운 화학 네트워크를 포함한 모델로 광도가 낮은 어린 별에서의 순수 이산화탄소의 존재, 총 이산화탄소의 양, 그리고 관측된 일산화탄소 가스의 양을 모두 설명할 수 있었다.

• Applied Biological Chemistry
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• v.21 no.1
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• pp.11-15
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• 1978

Alloisoleucine from the plasma of maple syrup disease affected patients was separated from isolecine and identified by gas liquid chromatography and mass spectrometry.

• ETRI Journal
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• v.10 no.2
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• pp.63-69
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• 1988

SIMS(Secondary Ion Mass Spectrometry) 분석 데이터의 정량화 방법으로 이온주입에 의한 실험적 접근법과 LTE(Local Thermal Equilibrium) 모델을 사용한 준이론적 접근법 2가지가 주로 논의되고 있다. 본 고에서는 LTE 모델을 사용, SIMS data를 정량화하는 방법에 대하여 기술하였으며 아울러 BASIC language로 된 간단한 LTE 프로그램을 제시하였다.