• 제목/요약/키워드: 진공추출

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유기발광다이오드의 휘도 향상을 위한 용액 공정용 Nano-Structure 제작

  • 조송진;윤당모;김일구;김미영;이승현;이범주;신진국
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.238.2-238.2
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    • 2014
  • Bottom emission type의 유기발광다이오드는 ITO glass와 Al 사이에 유기물 층이 샌드위치 구조로 존재하며, 발광층에서 발생된 빛은 방사 방향으로 퍼져나간다. 이때 bottom으로 이동하는 빛은 굴절률이 서로 다른 박막을 통과하면서 초기 발생된 빛 중 20%만이 air로 빠져나온다. 특히 glass와 air사이의 굴절률이 달라 발생되는 전반사에 의해 손실되는 빛의 양은 35%에 달한다. 따라서 본 연구에서는 glass와 air사이의 전반사를 줄이고 효과적으로 발광량을 추출하기 위해 열경화성 고분자를 사용하여 nano-structure를 제작하였다. 열경화성 고분자의 nano-structure를 제작하는데 있어 영향을 주는 온도, 압력 요인을 확인하였고, 투과율 99.6%, 직경 250 nm의 고밀도 nano-structure를 제작하였으며, 유기발광다이오드의 전기 광학적 특성에 미치는 효과를 살펴보았다.

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반도체 플라즈마 이온 주입공정에서 직류 펄스 전압, 전류 감지를 통한 실시간 도즈 모니터링 시스템 개발

  • 오세진;김유신;이재원;정진욱
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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    • pp.195-195
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    • 2011
  • 플라즈마를 이용한 반도체 이온 주입 공정(Plasma Immersion Ion Implantation)에서 이온 도즈량(DOSE) 측정은 공정 신뢰성 및 재현성 확보를 위해 중요하다. 본 연구에서는 도즈량 측정을 위해 패러데이컵과 같이 측정 장비를 챔버에 직접 삽입 시키지 않고 챔버 외부에서 이온 주입을 위한 바이어스 전극의 직류 펄스 전압 및 전류 신호 측정을 통해 실시간으로 도즈량을 추출하는 방법을 개발하였다. 펄스 전압 신호에서 전압 신호 상승, 하강 시간에 의해 발생된 변위 전류와 플라즈마 발생 소스의 RF잡음등을 제거한 후 이온 포격으로 인한 2차 전자 방출 계수를 고려하여 펄스 동작 기간 추출을 통해 실시간으로 측정하는 알고리즘을 구현하였다.

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DBD 플라즈마 처리 후 산화된 적혈구 막지질의 에너지밴드 측정

  • 김태수;이진영;백구연;조상연;최은하
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.517-517
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    • 2013
  • 세포막지질의 산화는 심각한 세포막의 기능저하를 유발하고 심하면 세포를 죽음에 이르게하여 생물학적으로 중요한 지표이다. 세포막지질의 산화는 간접적인 화학적 방법으로 측정하거나, 지질을 추출해내어 질량분석기나 핵자기공명분광기 같은 물리적 방법으로 분석한다. 우리는 이온유도 이차전자 방출계수(${\gamma}$) 변화를 측정하여 세포막지질의 산화를 지질추출 없이 측정할 수 있는지 조사해 보았다. 세포막분리가 쉬운 적혈구를 모델세포로 사용하였고, 다양한 라디칼을 발생시키는 대기압 공기 DBD플라즈마 장치를 이용하였다. 적혈구를 플라즈마에 노출하는 시간으로 산화의 정도에 차이를 만들어 측정값과 비교하였다. ${\gamma}$값은 Auger의 중화이론에 바탕을 둔 이온유도 이차전자 방출빔(${\gamma}$-FIB)장비를 이용하여 측정하였다. 측정결과 적혈구가 산화됨에 따라서 ${\gamma}$값이 증가함을 볼 수 있었고, 동시에 workfunction값이 변화함을 보았으며, 그 결과를 화학적 방법과 비교해 보았다.

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레이저 홀로그램을 이용한 진공챔버 윈도우 모니터링 (Window monitoring of vacuum chamber using laser hologram)

  • 서준현;정진수;김병환
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2015년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.185-185
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    • 2015
  • 레이저 홀로그램 이미징 장치를 이용하여 진공챔버의 윈도우 면에서의 입자에너지 분포를 추출하는 센서의 성능을 보고한다. 레이저 홀로그램 센서는 윈도우 면에서의 입자수의 변화를 모니터링할 수 있음을 보였으며, 반복되는 플라즈마 공정 중에 윈도우나 챔버 벽에 증착되는 입자의 두께 변이의 모니터링에의 응용이 기대된다.

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Asymmetric 및 Symmetric MOSFET 소자의 Drain Breakdown 특성 분석

  • 최평호;김상섭;최병덕
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2013년도 제45회 하계 정기학술대회 초록집
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    • pp.232.2-232.2
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    • 2013
  • 본 연구에서는 asymmetric과 symmetric MOSFET 소자의 drain breakdown 및 snapback 특성을 분석하였다. 실험에서는 두 MOSFET 소자의 동작 영역에서 게이트와 드레인에 각각 전압을 인가하였다. 드레인 전류-전압 곡선으로 부터 drain breakdown 전압과 snapback 전압을 추출하였다. 결과 avalanche breakdown 발생 전의 드레인 전류는 asymmetric 구조의 경우 더 작은 값을 보였으며 이는 asymmetric 구조에서의 drain field 가 더 낮기 때문이다. 따라서 impact ionization은 asymmetric 구조에서 덜 발생하며, snapback 전압은 avalanche breakdown voltage가 작은 asymmetric 구조에서 크게 나타났다.

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전계방출 전자원을 이용한 극고진공 환경의 압력측정

  • 조복래
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.132-132
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    • 2012
  • 압력 $10^{-9}$ Torr 이하의 초고진공(ultrahigh vacuum) 영역에서의 압력 측정에는 수 mA의 열전자로 잔류 가스를 이온화시켜 그 이온 전류를 측정하는 이온게이지를 주로 사용한다. 압력이 $10^{-12}$ Torr영역 이하인 극고진공(extreme high vacuum: XHV) 영역에 진입하면, ESD (electron stimulated desorption) 효과 등에 의한 이온 게이지 자체의 가스방출률이 커져 정확한 압력 측정이 곤란해 진다. 극고진공 영역에서 이온 게이지는 수 와트(W) 이상의 전력을 사용하여 수 mA의 열전자를 방출시키나, 신호인 이온 전류의 양은 1pA 이하이기 때문에 열전자에 의해 발생되는 백그라운드 전류에 묻혀 신호 전류가 측정되지 않는다고 할 수 있다. 100 nm 이하의 곡률을 가진 뾰족한 금속 탐침에 강한 전기장을 걸어주면 고체 내부의 전자가 터널링 효과에 의해 진공 중으로 방출되며, 이를 전계방출(Field Electron Emission) 효과라 부른다. 전계 방출 전류량은 탐침 표면의 일함수에 의존하며, 일함수가 클수록 지수함수 적으로 감소한다. 금속 표면에 진공 중의 잔류 가스가 부착하면 일함수가 증가한다. 가열에 의해 전계방출 탐침의 표면을 세정한 후에 전자 빔을 방출 시키면, 표면에 가스 분자가 흡착하여 방출 전류량은 점점 감소한다. 감소 속도는 압력에 비례하며, W(310) 탐침의 경우 $10^{-10}$ Torr 영역에서는 수분만에 최초 전류값의 1% 이하로 감소한다. 전계방출 전류의 감소속도가 압력에 비례하는 현상을 이용하여 압력을 측정하였다. Extractor Ionization Gauge 측정값 $5{\times}10^{-12}-3{\times}10^{-10}$ Torr의 범위에서 (111) 방향으로 정렬된 텅스텐 단결정 탐침을 사용하여 방출전류의 로그값을 시간의 함수로 semilog그래프를 그리면, 그래프는 직선을 그리며 그 기울기가 압력에 비례함을 알 수 있었다. 기울기 값과 게이지 측정값은 $10^{-11}{\sim}10^{-10}$ Torr 영역에서 거의 완벽한 비례관계를 보여주었으나, $10^{-12}$ Torr 영역에서 게이지 측정값은 기울기 값에서 추출한 압력치보다 높은 값을 보여주었으며, 이는 게이지 백그라운드 전류에 의한 차이라고 생각된다. W (310) 탐침의 방출전류는 그 감소속도가 W (111) 탐침과 마찬가지로 압력에 비례하였으나, 전류-시간 그래프는 가열 세정 직후에 전류가 거의 감소하지 않는 $2{\times}10^{-10}$ Torr에서 약 10분간 지속되는 '안정 영역'이 존재함을 보여주었다. '안정 영역'은 $10^{-11}$ Torr 영역에서는 수십분, $10^{-12}$ Torr 영역에서는 수시간 이상으로 증가하였다. 초-극고진공 영역에서의 잔류가스 주성분인 수소에서 물, 일산화탄소등의 가스로 바뀌면 '안정 영역'은 사라졌고, 이는 '안정 영역'이 수소 흡착에 의해서만 나타나는 고유 현상임을 말해준다.

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Ti-Al 반사막을 이용한 405 nm LED의 광추출 효율 향상 (Enhancement in the light extraction efficiency of 405 nm light-emitting diodes by adoption of a Ti-Al reflection layer)

  • 김창연;권새롬;이두형;노승정
    • 한국진공학회지
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    • 제17권3호
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    • pp.211-214
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    • 2008
  • Metal organic chemical vapor deposition (MOCVD)를 이용하여 사파이어 기판 위에 405 nm의 파장을 갖는 GaN light-emitting diode (LED)를 제작하였다. LED의 InGaN 활성층에서 생성되어 칩의 후면으로 향하는 광자를 전면으로 반사시키기 위하여, 사파이어 기판 후면에 반사막을 증착하였다. 반사막으로는 Al을 사용하였으며, 사파이어 기판에 대한 Al 박막의 접착력을 개선하기 위하여 사파이어 기판 후면에 Ti를 먼저 증착한 후에 Al을 증착하였다. Ti-Al 반사막을 채용한 결과, 광추출 효율이 52 % 향상되었다.

천연 추출물 처리가 박피밤의 품질에 미치는 영향 (Effect of Natural Extracts on the Quality of Peeled Chestnut)

  • 오성일;김철우;박윤미;이욱
    • 한국산림과학회지
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    • 제106권1호
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    • pp.26-32
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    • 2017
  • 박피한 '대보' 밤을 천연 추출물(녹차, 당귀, 황기, 감초 : 각각 1% 추출물)에 침지 처리한 후 $5{\mu}m$ 두께의 PE+ Nylon재질의 7-layer 필름으로 진공포장하여 $4^{\circ}C$에 저장하면서 저장기간 동안 박피밤의 갈변 및 품질에 미치는 영향을 조사하였다. 갈변도는 무처리구보다 천연 추출물 처리구에서 다소 적게 갈변되었고, 특히 황기와 감초 추출물 처리가 갈변억제에 효과적인 것으로 나타났다. 저장 35일 후 박피밤의 색차(${\Delta}E$)는 무처리구에서 5.6으로 가장 높은 값을 보인 반면, 황기 추출물 처리구에서는 3.4로 가장 낮게 나타났다. 저장기간 동안 천연 추출물 처리는 박피밤의 중량 및 수분감소율과 경도 및 가용성 고형물 함량에 영향을 미치지 않았다. 저장 35일 후 부패율은 무처리구에서 9.0%, 녹차 추출물 처리구에서 9.0%, 당귀 추출물 처리구에서 9.0%, 황기 추출물 처리구에서 21.0%, 감초 추출물 처리구에서 7.0%로 나타났다. 종합적 관능평가에서는 황기 추출물 처리가 향 때문에 가장 낮은 점수를 받았으며, 감초 추출물 처리구가 저장기간 중 가장 우수한 것으로 나타났다. 따라서 박피밤의 천연 추출물 처리는 갈변을 억제시킴으로써 박피밤의 관능적 품질유지에 효과적이였고, 특히 감초 추출물 처리 후 진공포장하는 것이 박피밤의 품질유지와 갈변억제에 가장 효과적인 것으로 판단된다.

막분리에 의한 자색고구마 색소의 농축 (Concentration of Pigment Extracted from Purple Sweet Potato by Nanofiltration)

  • 김선재;임종환
    • 한국식품과학회지
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    • 제29권3호
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    • pp.492-496
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    • 1997
  • 자색고구마 색소추출액을 막분리법과 진공농축법을 사용하여 농축하였다. 초기 anthocyanin함량이 1.6 g/L인 색소추출액을 막분리법을 이용하여 5시간 동안 연속 농축시켜 부피의 비로 25배 농축시켰으며, 이 때 조색소의 함량은 10.7 g/L이었다. 농축이 진행되는 동안 고형분의 농도는 계속 증가하였으며, frux는 계속 감소하였다. 막분리에 의한 색소 추출액의 농축과정 중 degradation index (DI)의 변화는 미미하였는데, 이는 이 농축방법이 색소의 변색에 아무 영향을 미치지 않음을 의미한다. 비교실험으로서 진공농축법을 사용하여 부피의 비가 5배로 농축될 때까지 농축하였다. DI값은 $40^{\circ}C$보다 $60^{\circ}C$에서 더 증가하는 경향을 나타냈다. 농축색소액의 total color difference값은 막분리법을 사용하는 경우 그 변화가 미미하였으며, 진공농축법을 사용했을 때에는 $40^{\circ}C$보다 $60^{\circ}C$농축에서 더 증가하였다. 이러한 사실들을 자색고구마색소 추출액을 농축시키는데 낮은 온도의 진공농축법이 효과적이며 ethanol및 citric acid의 재사용 등 경제적인 면으로는 막분리법이 효율적인 방법임을 입증한다.

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자몽 종자 추출물을 첨가한 저지방 세절 소시지의 이화학적, 조직적 특성 및 향균 효과 (Physicochemical and Textural Properties, and Antimicrobial Effects of Low-fat Comminuted Sausages Manufactured with Grapefruit Seed Extract)

  • 진구복;김화영;김광현
    • 한국축산식품학회지
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    • 제25권2호
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    • pp.141-148
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    • 2005
  • 본 연구는 젖산나트륨과 자몽 종자 추출물의 첨가량을 달리하여 저지방 소시지에 첨가하여 제조한 후 냉장$(4^{\circ}C)$저장 중 이화학적 및 조직적 성상과 항균 효과에 미치는 영향을 관찰하기 위하여 실시하였다. 수분, 지방 그리고 단백질의 범위는 각각 $73.9\~75.9\%,\;1.3\~2.4\%$ 그리고 $15.8\~17.1\%$이었으며 pH는 $6.09\~6.26$의 범위로 젖산나트륨의 처리구가 저지방 대조구와 자몽 종자 추출물에 비해 비교적 높은 값을 보였다. 보수력과 진공감량은 젖산나트륨과 자몽 종자 추출물의 첨가에 따라 뚜렷한 변화를 보이지 않았다. 저장별 효과에서 보수력은 저장기간이 길어져도 차이를 보이지 않은 반면 진공감량은 저장기간이 길어질수록 증가하는 경향을 보였다. 보수력과 진공감량에서와 마찬가지로 젖산나트륨과 자몽종자 추출물의 첨가는 소시지의 보수력과 진공감량에 변화를 주지 못하였다. 명도와 적색도는 소시지의 제조시의 값이 10주차 때까지 유지되었으며 다만 황색도만 저장기간이 길어질수록 증가하였다. 젖산나트륨과 자몽 종자 추출물 첨가에 따른 조직감 검사에서 자몽 종자 추출물은 조직감에 뚜렷한 영향을 주지 않은 반면 젖산나트륨은 조직감에 영향을 주어 저지방 대조구에 비해 높은 경도와 저작성을 나타내었다. 조직감에 대한저장별 효과에서 다만 응집성만 저장기간이 길어짐에 따라 증가하는 경향을 보였을 뿐 나머지는 조직적 특성의 큰 변화를 보이지 않았다. 자몽 종자 추출물을 $0.2\%$ 첨가할 때부터 항균 효과를 보여 $0.3\%$의 자몽 종자 추출물 첨가로 10주 때까지 $10^3\;CFU/g$을 유지하여 젖산나트륨의 처리구와 유사한 항균효과를 보여주었다. 본 연구에서 얻은 결과를 종합해 보면 천연 식물 첨가물인 자몽 종자 추출물을 $0.3\%$ 정도 첨가하는 것이 천연의 젖산나트륨 $(3.3\%)$을 사용할 때와 비교하여 저지방 대조구와 유사한 물성을 가지며 항균효과를 보여 합성 보존료의 대체제로사용 할 수 있을 것으로 판단된다.