• Title/Summary/Keyword: 진공게이지

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Vacuum Gauge Calibration System in Pohang Acccelerator Laboratory (포항가속기 연구소의 진공게이지 교정시스템)

  • 김형종;조복래;이해철;박종도;최우천
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.3 no.4
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    • pp.382-388
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    • 1994
  • 포항가속기연구소에서 사용될 진공게이지 교정시스템이 설계 제작되었다. 이 교정시스템은 동적 교정방법으로 설계되었으며 transfer standard 로서 spinning rotor gauge를 사용하였다. 포항가속기의 저장리에 사용될 모든 진공게이지는 교정시스템으로 교정을 하여 사용할 것이며, 주로 교정할 게이지로 는 Bayard-Alpert(BA) nude ionization gauge와 cold cathode gauge등이 있다. 본 논문에서는 포항가속 기의 진공게이지 교정시스템에 대해서 소개를 하였고 현재까지 BA nude ioni-zation gauge 6대 extractor gauge 1대 high pressure gauge 1대와 cold cathode gauge 5대를 10-4에서 10-4 Torr 범위내 에서 교정하여 그 결과를 보였다.

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Development of an Apparatus for In-situ Vacuum Gauge Calibration (In-situ 진공게이지 교정장치 개발)

  • Hong, S.S.;Lim, I.T.;Jho, M.J.;Chung, W.H.
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.15 no.6
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    • pp.605-611
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    • 2006
  • We have developed in-situ vacuum gauge calibration system in the range 1 Pa to 100 kPa by using constant volume method. The system is capable of gauge calibration by comparison method without demount the reference gauges. The system will be useful for dissemination of national vacuum standards to foreign developing countries and domestic industries.

펠티어 진공게이지

  • Jeong, Dae-Hwa;Jeong, Yun-Hui;Jeong, Seok-Min;Park, Jong-Do
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2001.07a
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    • pp.112-112
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    • 2001
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A study on the system automation of medium-vacuum standard (중진공 표준기 자동화에 관한 연구)

  • 홍승수;임인태;신용현;정광화
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.12 no.4
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    • pp.207-213
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    • 2003
  • We have developed the hardware and software for automation of the national medium vacuum standard. The automation is necessary to control and monitor the complex system consists of several vacuum chambers, pumping systems, vacuum gauges, thermometers, and valves. By using the automation program, we have measured volume ratios of the system and performed calibration of a capacitance diaphragm gauge in order to evaluate the system.