• 제목/요약/키워드: 진공게이지

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포항가속기 연구소의 진공게이지 교정시스템 (Vacuum Gauge Calibration System in Pohang Acccelerator Laboratory)

  • 김형종;조복래;이해철;박종도;최우천
    • 한국진공학회지
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    • 제3권4호
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    • pp.382-388
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    • 1994
  • 포항가속기연구소에서 사용될 진공게이지 교정시스템이 설계 제작되었다. 이 교정시스템은 동적 교정방법으로 설계되었으며 transfer standard 로서 spinning rotor gauge를 사용하였다. 포항가속기의 저장리에 사용될 모든 진공게이지는 교정시스템으로 교정을 하여 사용할 것이며, 주로 교정할 게이지로 는 Bayard-Alpert(BA) nude ionization gauge와 cold cathode gauge등이 있다. 본 논문에서는 포항가속 기의 진공게이지 교정시스템에 대해서 소개를 하였고 현재까지 BA nude ioni-zation gauge 6대 extractor gauge 1대 high pressure gauge 1대와 cold cathode gauge 5대를 10-4에서 10-4 Torr 범위내 에서 교정하여 그 결과를 보였다.

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In-situ 진공게이지 교정장치 개발 (Development of an Apparatus for In-situ Vacuum Gauge Calibration)

  • 홍승수;임인태;조문재;정원호
    • 한국진공학회지
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    • 제15권6호
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    • pp.605-611
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    • 2006
  • 정적법(constant volume method)을 이용하여 $1Pa\sim100kPa$ 영역에서 진공게이지의 직접교정 (direct calibration) 장치를 개발하였다. 이 장치는 피 교정 게이지의 이동 없이 in-situ 상태에서 비교교정(comparison calibration)도 가능하다. 이 장치가 개발됨으로서 산업체 교정기관의 생산성을 높이고 개발도상국에 국가 진공표준과 교정기술을 보급할 수 있게 되었다.

펠티어 진공게이지

  • 정대화;정윤희;정석민;박종도
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2001년도 제21회 학술발표회 초록집
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    • pp.112-112
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    • 2001
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중진공 표준기 자동화에 관한 연구 (A study on the system automation of medium-vacuum standard)

  • 홍승수;임인태;신용현;정광화
    • 한국진공학회지
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    • 제12권4호
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    • pp.207-213
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    • 2003
  • 중진공 국가표준기의 자동화를 위한 하드웨어 및 측정 프로그램 개발에 관한 연구를 수행하였다. 이 장치는 부피가 서로 다른 여러 개의 진공용기, 배기장치, 진공게이지, 온도계, 그리고 밸브 등 많은 부품들로 구성되어 있을 뿐만 아니라 복잡한 측정방법 때문에 자동화가 꼭 필요하다. 개발한 자동화 장치의 성능 평가를 위하여 진공용기의 부피율을 측정하고 용량형 격막식 진공게이지를 교정해 보았다.