Study on the Bonding Interface in Directly Bonded Si-Si and Si-$SiO_2$ Si Wafer Pairs
(직접 접합된 Si-Si, Si-$SiO_2$ /Si기판쌍의 접합 계면에 관한 연구)
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- Korean Journal of Materials Research
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- v.4 no.2
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- pp.127-135
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- 1994